技術(shù)總結(jié)
激光加工裝置(300)具備：射出激光(L)的激光光源(202)、將激光(L)聚光于加工對象物(1)的聚光光學(xué)系統(tǒng)(204)、對激光(L)進(jìn)行調(diào)制以使激光(L)被分支成至少包含第1加工光及第2加工光的0次光及±n次光(n為自然數(shù))并且第1加工光被聚光于第1聚光點(diǎn)且第2加工光被聚光于第2聚光點(diǎn)的反射型空間光調(diào)制器(203)、以及將被聚光于加工對象物(1)的0次光及±n次光中相對于第1加工光及第2加工光而被聚光于外側(cè)的光遮斷的光遮斷部(220)。
技術(shù)研發(fā)人員：坂本剛志;伊崎泰則;松永麻美子
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浜松光子學(xué)株式會(huì)社
文檔號碼：201580028163
技術(shù)研發(fā)日：2015.03.30
技術(shù)公布日：2017.02.15