皮秒激光加工設備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種皮秒激光加工設備，所述皮秒激光加工設備包括：皮秒激光器，被構造為輸出皮秒激光束；相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路徑上，所述相位差控制器被構造為改變所述皮秒激光束的相位差。
【專利說明】皮秒激光加工設備
[0001]本申請要求于2013年3月13日提交到韓國知識產(chǎn)權局的第10-2013-0026829號韓國專利申請的優(yōu)先權，所述韓國專利申請的公開內(nèi)容通過引用被全部包含于此。
【技術領域】
[0002]本發(fā)明的實施例涉及一種皮秒激光加工設備。
【背景技術】
[0003]由于電子產(chǎn)品或在電子產(chǎn)品中使用的部件的尺寸變得更小，所以對高精度加工技術的需求正在增加。另外，所使用的制造工藝的類型和材料的類型變得更加多樣化。為了實現(xiàn)各種具有高精度的加工并為了加工各種材料，激光加工設備正在被廣泛地使用。
[0004]激光加工設備使用脈沖激光器。根據(jù)脈沖寬度，脈沖激光器可被分為納秒激光器、皮秒激光器和飛秒激光器。根據(jù)脈沖激光器的設計和類型，與其它脈沖激光器相比，從皮秒激光器發(fā)射的激光束可具有相對優(yōu)良的線性偏振特性。然而，根據(jù)激光束的振幅的變化，在工件上可形成波紋。通常，當激光束具有較短的脈沖寬度時，產(chǎn)生較少的熱量并形成較少的波紋。
[0005]當工件由利用皮秒激光器的激光加工設備加工時，在所述工件上可形成波紋。因為所述工件的被照射部分由于相對少的熱量的產(chǎn)生而不會融化，所以所述波紋會殘留。結果，所述工件的表面狀況會變差。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0006]本發(fā)明的實施例提供一種皮秒激光加工設備，所述皮秒激光加工設備能減少工件上波紋的形成。
[0007]本發(fā)明的實施例還提供一種皮秒激光加工設備，所述皮秒激光加工設備能改善工件的表面狀況。
[0008]然而，本發(fā)明的實施例并不局限于這里所闡述的一個。通過參照下面給出的本發(fā)明的詳細描述，對于本發(fā)明所屬領域的普通技術人員來說，本發(fā)明的以上和其它方面將變得更加清楚。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的實施例，提供一種皮秒激光加工設備，所述皮秒激光加工設備包括:皮秒激光器，被構造為輸出皮秒激光束；相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路徑上，所述相位差控制器被構造為改變所述皮秒激光束的相位差。
[0010]所述相位差控制器可包括相位延遲膜。
[0011]所述相位延遲膜可被構造為將所述皮秒激光束的相位差改變?yōu)榇蠹s四分之一波長的相位差。
[0012]所述相位差控制器可被構造為將所述皮秒激光束的相位差改變?yōu)榇蠹s四分之一波長的相位差。
[0013]所述皮秒激光加工設備可包括:工作臺，用于安裝工件，所述工件被穿過所述相位差控制器的所述皮秒激光束照射。
[0014]所述皮秒激光加工設備可包括:固定器，被構造為固定所述工件。
[0015]所述皮秒激光器可被構造為輸出所述皮秒激光束，使得所述皮秒激光束是基本線偏振的。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種皮秒激光加工設備，所述皮秒激光加工設備包括:皮秒激光器，被構造為輸出皮秒激光束；相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路徑上，并且被構造為連續(xù)地改變所述皮秒激光束的相位差。
[0017]所述相位差控制器可包括相位延遲膜。
[0018]所述相位延遲膜可被構造為旋轉。
[0019]所述相位延遲膜可被構造為每分鐘旋轉800到1600次。
[0020]所述相位延遲膜的旋轉軸可基本平行于所述皮秒激光束的傳播方向。
[0021]所述相位延遲膜可被構造為將所述皮秒激光束的相位差改變?yōu)樗姆种徊ㄩL的相位差。
[0022]所述相位延遲膜可被構造為沿第一方向和不同于第一方向的第二方向繞著旋轉軸反復地旋轉。
[0023]根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種皮秒激光加工設備，所述皮秒激光加工設備包括:皮秒激光器，被構造為輸出皮秒激光束并連續(xù)地改變所述皮秒激光束的振蕩方向；相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路徑上。
[0024]所述皮秒激光器可被構造為繞著所述皮秒激光束被輸出的方向旋轉。
[0025]所述皮秒激光器可被構造為每分鐘旋轉800到1600次。
[0026]所述相位差控制器被構造為將所述皮秒激光束的相位差改變?yōu)樗姆种徊ㄩL的相位差。
[0027]根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種皮秒激光加工設備，所述皮秒激光加工設備包括:皮秒激光器，被構造為輸出皮秒激光束；振蕩方向控制器，位于所述皮秒激光束的路徑上，所述振蕩方向控制器被構造為連續(xù)地改變所述皮秒激光束的振蕩方向；相位差控制器，位于穿過所述振蕩方向控制器的所述皮秒激光束的路徑上。
[0028]所述振蕩方向控制器可包括:第一電極；第二電極，面對所述第一電極；扭曲向列(TN)液晶層，位于第一電極和第二電極之間，其中，所述振蕩方向控制器被構造為連續(xù)地改變第一電極和第二電極之間的電勢差。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0029]下面結合附圖對本發(fā)明的示例性實施例進行詳細描述，本發(fā)明的實施例的以上和其它方面及特點將變得更加清楚，附圖中:
[0030]圖1是根據(jù)本發(fā)明的實施例的皮秒激光加工設備的側視圖；
[0031]圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的第一皮秒激光束的偏振分量的曲線圖；
[0032]圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的第一皮秒激光束的振蕩方向的曲線圖；
[0033]圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的第二皮秒激光束的偏振分量的曲線圖；
[0034]圖5是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的第二皮秒激光束的振蕩方向的曲線圖；
[0035]圖6是根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的相位差控制器的透視圖；
[0036]圖7是示出根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的入射到相位差控制器的第一皮秒激光束的振蕩方向的曲線圖；
[0037]圖8是根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的相位差控制器的透視圖；
[0038]圖9是根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的皮秒激光加工設備的側視圖；
[0039]圖10是根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的皮秒激光加工設備的側視圖；
[0040]圖11是圖10中所示的振蕩方向控制器的剖視圖。
【具體實施方式】
[0041]通過參照下面對附圖和各種實施例的詳細描述，本發(fā)明的實施例的方面和特點以及實現(xiàn)所述實施例的方法將會變得更容易理解。然而，本發(fā)明可以以許多不同的形式來實施，并且不應該被理解成限于這里闡述的實施例。更確切地說，提供這些實施例以便本公開將是徹底的和完全的，并且將本發(fā)明構思充分地傳達給本領域的技術人員，本發(fā)明的實施例僅由權利要求及其等同物所限定。因此，在一些實施例中，公知的結構和裝置未被示出，以便不必要的細節(jié)不會使得本發(fā)明的描述模糊。相同的標號始終表示相同的部件。在附圖中，為了清晰度而夸大了層和區(qū)域的厚度。
[0042]應該理解，當部件或層被稱為“在另一部件或層上”或者“連接到另一部件或層”，所述部件或層可以直接在另一部件或層上或者連接到另一部件或層，或者也可以存在中間部件或層。相反，當部件被稱為“直接在另一部件或層上”或者“直接連接到另一部件或層”時，不存在中間部件或層。這里所使用的諸如“和/或”的術語包括一個或多個相關的列出項的任意組合和全部組合。
[0043]應該理解，雖然在此可使用“第一”、“第二”等術語來描述各種部件，但是這些部件不被這些術語限制。這些術語僅僅用于將一個部件與另一部件進行區(qū)分。因此，例如，在不脫離本發(fā)明的教導的情況下，下面討論的第一部件、第一組件或第一部分也可以被稱為第二部件、第二組件或第二部分。
[0044]現(xiàn)在將參照附圖對本發(fā)明的實施例進行更充分地描述，在附圖中示出了本發(fā)明的示例性實施例。
[0045]圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的皮秒激光加工設備的側視圖。參照圖1，所述皮秒激光加工設備包括皮秒激光器10和相位差控制器20。
[0046]皮秒激光器10輸出第一皮秒激光束LI。第一皮秒激光束LI可以是具有皮秒級的脈沖寬度的脈沖激光束。第一皮秒激光束LI的脈沖寬度可以是幾皮秒到幾十皮秒，但不限于幾皮秒到幾十皮秒。第一皮秒激光束LI可具有相對優(yōu)良的線性偏振特性，并且可以是基本線偏振的。
[0047]現(xiàn)在將參照圖2和圖3對第一皮秒激光束LI進行更詳細地描述。圖2是示出根據(jù)本發(fā)明實施例的第一皮秒激光束LI的偏振分量的曲線圖。圖3是示出根據(jù)本發(fā)明實施例的第一皮秒激光束LI的振蕩方向的曲線圖。
[0048]參照圖2,第一皮秒激光束LI可以被分為第一水平偏振分量Llx和第一豎直偏振分量Lly。第一水平偏振分量Llx和第一豎直偏振分量Lly彼此垂直。因為第一皮秒激光束LI具有相對優(yōu)良的線性偏振特性，所以在第一水平偏振分量Llx和第一豎直偏振分量Lly之間可以基本上無相位差。在這種情況下，如圖3中所示，第一皮秒激光束LI的振幅可穿過x-y坐標系的第二象限和第四象限線性地振蕩。
[0049]根據(jù)一些實施例，第一水平偏振分量Llx和第一豎直偏振分量Lly可具有半波長的相位差。在這種情況下，第一皮秒激光束LI的振幅可穿過χ-y坐標系的第一象限和第三象限線性地振蕩。
[0050]返回參照圖1，相位差控制器20可被放置在第一皮秒激光束LI的光路上，以改變第一皮秒激光束LI的相位差。相位差控制器20可改變第一皮秒激光束LI的相位差，并輸出第二皮秒激光束L2。這里，所述相位差是指電磁波的水平偏振分量和豎直偏振分量之間的相位的差異。作為第一水平偏振分量Llx和第一豎直偏振分量Lly之間的相位差的改變的結果，可產(chǎn)生第二皮秒激光束L2。根據(jù)一些實施例，相位差控制器20可包括相位延遲膜。
[0051]現(xiàn)在將參照圖4和圖5對第二皮秒激光束L2進行更詳細地描述。圖4是示出根據(jù)本發(fā)明實施例的第二皮秒激光束L2的偏振分量的曲線圖。圖5是示出根據(jù)本發(fā)明實施例的第二皮秒激光束L2的振蕩方向的曲線圖。
[0052]參照圖4，第二皮秒激光束L2可以被分為第二水平偏振分量L2x和第二豎直偏振分量L2y。第二水平偏振分量L2x和第二豎直偏振分量L2y彼此垂直。第二水平偏振分量L2x和第二豎直偏振分量L2y可以存在除了半波長的倍數(shù)之外的相位差。
[0053]在圖4中，第二水平偏振分量L2x的相位比第二豎直偏振分量L2y的相位超前四分之一波長。然而，本發(fā)明不限于此。當?shù)诙狡穹至縇2x的相位比第二豎直偏振分量L2y的相位超前四分之一波長時,相位差控制器20可將第一皮秒激光束LI的相位差改變?yōu)樗姆种徊ㄩL的相位差。也就是說，相位差控制器20可延遲第一豎直偏振分量Lly，以使其滯后于第一水平偏振分量Llx四分之一波長。根據(jù)一些實施例，相位差控制器20可以是相位延遲膜，所述相位延遲膜延遲第一豎直偏振分量Lly，以使其滯后于第一水平偏振分量Llx四分之一波長。
[0054]如圖5中所示，當?shù)诙狡穹至縇2x的相位超前于第二豎直偏振分量L2y的相位四分之一波長時，第二皮秒激光束L2的振幅可以逆時針作圓周旋轉。因此，第二皮秒激光束L2的振幅的變化幅度可比第一皮秒激光束LI的振幅的變化幅度更小。當通過將第一皮秒激光束LI直接照射到工件PA而加工所述工件PA時，根據(jù)線性偏振的具有指向性的第一皮秒激光束LI的振幅的變化，波紋可形成在所述工件PA上。在本發(fā)明的當前實施例中，所述皮秒激光加工設備不是將第一皮秒激光束LI直接照射到工件PA，而是通過相位差控制器20將第一皮秒激光束LI照射到工件PA。從而，減小了第一皮秒激光束LI的振幅的變化，進而減少形成在工件PA上的波紋。因此，所述皮秒激光加工設備能改善工件PA的表面狀況。
[0055]根據(jù)一些實施例,相位差控制器20可延遲第一豎直偏振分量Llx以使其滯后于第一水平偏振分量Lly四分之一波長。因此,第二豎直偏振分量L2y可超前于第二水平偏振分量L2x四分之一波長，第二皮秒激光束L2的振幅可以順時針作圓周轉動。在這種情況下，如圖4和圖5中所示，第二皮秒激光束L2的振幅的變化幅度可比第一皮秒激光束LI的振幅的變化幅度更小。因此，所述皮秒激光加工設備能減少形成在工件PA上的波紋，從而改善工件PA的表面狀況。
[0056]根據(jù)另一些實施例，相位差控制器20可將第一豎直偏振分量Lly延遲除了四分之一波長的倍數(shù)之外的相位差。在這種情況下，第二皮秒激光束L2可以是橢圓偏振的。即使當?shù)诙っ爰す馐鳯2是橢圓偏振的時，第二皮秒激光束L2的振幅的變化也可比基本線偏振的第一皮秒激光束LI的振幅的變化更小。因此，即使當相位差控制器20將第一皮秒激光束LI延遲除了四分之一波長的倍數(shù)之外的相位差時，因為第二皮秒激光束L2的振幅的變化比第一皮秒激光束LI的振幅的變化更小，所以所述皮秒激光加工設備也能減少形成在工件PA上的波紋，從而改善工件PA的表面狀況。
[0057]返回參照圖1，所述皮秒激光加工設備還可包括工作臺30和固定器40。工件PA可被安裝在工作臺30上。工作臺30可被移動，以便第二皮秒激光束L2能照射工件PA的期望部分。根據(jù)一些實施例，工作臺30可不被移動(例如，工作臺30可相對于皮秒激光器10是固定的或牢固的)。相反，皮秒激光器10可被移動，以便第二皮秒激光束L2可被照射到工件PA的期望部分。根據(jù)其它實施例，工作臺30和皮秒激光器10都可被移動。固定器40可固定住工件PA，以防止或基本上防止工件PA相對工作臺30的運動。圖1中示出的固定器40的形狀僅是示例，并且固定器40的形狀可以被改變?yōu)楸景l(fā)明的實施例所屬領域的普通技術人員已知的其他形狀。
[0058]以下，將參照圖6和圖7對本發(fā)明的另一實施例進行描述。圖6是根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的相位差控制器21的透視圖。圖7是示出根據(jù)本發(fā)明另一實施例的入射到相位差控制器21的第一皮秒激光束LI的振蕩方向的曲線圖。雖然在圖6和圖7中未示出，但是根據(jù)當前的實施例的皮秒激光器10、工作臺30和固定器40與圖1中那些利用相同名稱標識的構件基本相同或基本相似。
[0059]參照圖6，相位差控制器21可以由相位延遲膜形成。相位差控制器21可沿著第一方向rl旋轉。當從相位差控制器21的第二皮秒激光束L2所出射的表面的方向看時，第一方向rl可以是順時針方向。相位差控制器21的旋轉軸可以基本平行于第一皮秒激光束LI或第二皮秒激光束L2的傳播方向，但不限于此。
[0060]如圖7中所示，當相位差控制器21沿著第一方向rl旋轉時，入射到相位差控制器21的第一皮秒激光束LI的振蕩方向可沿著關于相位差控制器21的逆時針方向旋轉。在這種情況下，第二皮秒激光束L2的相位差連續(xù)地變化，從而導致第二皮秒激光束L2的偏振狀態(tài)連續(xù)地變化。例如，第二皮秒激光束L2的偏振狀態(tài)可按照線偏振、橢圓偏振、圓偏振和線偏振的順序連續(xù)地變化。如果第二皮秒激光束L2的偏振狀態(tài)連續(xù)地變化，則第二皮秒激光束L2的振蕩方向不具有指向性。因此，當?shù)诙っ爰す馐鳯2照射到工件PA時，能減少波紋的形成，從而改善工件PA的表面狀況。
[0061]根據(jù)一些實施例，相位差控制器21每分鐘可旋轉800到1600次。當相位差控制器21緩慢地旋轉時，第二皮秒激光束L2的偏振狀態(tài)可緩慢地變化。這可減小第二皮秒激光束L2的振蕩方向對于抑制波紋的形成的影響。當相位差控制器21旋轉過快時，由于相位差控制器21的旋轉產(chǎn)生的振動可破壞工件PA的表面狀況。因此，相位差控制器21每分鐘旋轉800到1600次能夠通過連續(xù)改變第二皮秒激光束L2的偏振狀態(tài)而減小波紋的形成，并能夠降低來自相位差控制器21的振動的影響。結果，可改善工件PA的表面狀況。
[0062]根據(jù)一些實施例，相位差控制器21可沿著與第一方向rl相反的方向旋轉。即使當相位差控制器21沿著與第一方向rl相反的方向旋轉時，第二皮秒激光束L2的相位差也連續(xù)地變化，從而連續(xù)地改變第二皮秒激光束L2的偏振狀態(tài)。在這種情況下，第二皮秒激光束L2的振蕩方向不具有指向性。因此，當?shù)诙っ爰す馐鳯2照射到工件PA時，能減少波紋的形成，從而改善工件PA的表面狀況。
[0063]在圖6和圖7中，由相位延遲膜形成的相位差控制器21被旋轉，以連續(xù)改變第二皮秒激光束L2的相位差。然而，這僅僅是示例，第二皮秒激光束L2的相位差可通過利用本領域普通技術人員已知的其它方法被連續(xù)地改變。例如，在第一皮秒激光束LI被分為第一水平偏振分量Llx和第一豎直偏振分量Lly之后，如果通過連續(xù)地改變第一水平偏振分量Llx和第一豎直偏振分量Lly之間的路程差而將第一水平偏振分量Llx和第一豎直偏振分量Lly結合，則能產(chǎn)生相位差連續(xù)變化的第二皮秒激光束L2。
[0064]以下，將參照圖8對本發(fā)明的另一實施例進行描述。圖8是根據(jù)本發(fā)明另一實施例的相位差控制器22的透視圖。雖然在圖8中未示出，但是根據(jù)當前的實施例的皮秒激光器10、工作臺30和固定器40與圖1中那些利用相同名稱標識的構件基本相同或基本相似。
[0065]參照圖8，相位差控制器22可以由相位延遲膜形成。相位差控制器22可沿著第一方向rl和第二方向r2反復地旋轉。也就是說，在相位差控制器22沿著第一方向rl旋轉特定的角度之后，它可沿著第二方向r2旋轉特定的角度,然后再沿著第一方向rl旋轉特定的角度。當從相位差控制器21的第二皮秒激光束L2所出射的表面的方向看時，第一方向rl可以是順時針方向，第二方向r2可以是逆時針方向。即使當相位差控制器21沿著第一方向rl和第二方向r2反復地旋轉時，第二皮秒激光束L2的偏振態(tài)狀也可連續(xù)地變化，從而導致第二皮秒激光束L2的振蕩方向不具有指向性。因此，當?shù)诙っ爰す馐鳯2照射到工件PA時，可減少波紋的形成，從而改善工件PA的表面狀況。
[0066]以下，將參照圖9對本發(fā)明的另一實施例進行描述。圖9是根據(jù)本發(fā)明另一實施例的皮秒激光加工設備的側視圖。
[0067]參照圖9，皮秒激光器11可連續(xù)改變第一皮秒激光束LI的振蕩方向。第一皮秒激光束LI的振蕩方向可沿著如圖7中所示的逆時針方向或者沿著順時針方向旋轉。如果第一皮秒激光束LI的振蕩方向被連續(xù)地改變，則具有連續(xù)變化的振蕩方向的第一皮秒激光束LI可進入相位差控制器20，從而引起第二皮秒激光束L2的相位差連續(xù)地變化。在這種情況下，第二皮秒激光束L2的偏振狀態(tài)可連續(xù)地變化，從而導致第二皮秒激光束L2的振蕩方向不具有指向性。因此，當?shù)诙っ爰す馐鳯2照射到工件PA時，可減少波紋的形成，從而改善工件PA的表面狀況。
[0068]皮秒激光器11可旋轉，以連續(xù)地改變第一皮秒激光束LI的振蕩方向。第一皮秒激光束LI可繞著平行于第一皮秒激光束LI被輸出的方向而旋轉。根據(jù)一些實施例，第一皮秒激光束LI可以以每分鐘800到1600次的速度旋轉。
[0069]在圖9中，皮秒激光器11旋轉，以連續(xù)地改變第一皮秒激光束LI的振蕩方向。然而，這僅僅是示例，皮秒激光器11可輸出通過本領域的普通技術人員已知的其他方法而連續(xù)地改變振蕩方向的第一皮秒激光束LI。
[0070]根據(jù)當前的實施例的皮秒激光器10、工作臺30和固定器40與圖1中那些利用相同名稱標識的構件基本相同或基本相似，因此忽略對它們的描述。
[0071]以下，參照圖10和圖11對本發(fā)明的另一實施例進行描述。圖10是根據(jù)本發(fā)明另一實施例的皮秒激光加工設備的側視圖。圖11是圖10中所示的振蕩方向控制器50的剖視圖。
[0072]參照圖10，所述皮秒激光加工設備包括皮秒激光器10、相位差控制器20和振蕩方向控制器50。振蕩方向控制器50被放置在第一皮秒激光束LI的路徑上。振蕩方向控制器50可通過連續(xù)地改變第一皮秒激光束LI的振蕩方向而輸出第三皮秒激光束L3。
[0073]第三皮秒激光束L3的振蕩方向可沿著如圖7中所示的逆時針方向旋轉，或者沿著順時針方向旋轉，或者沿著順時針方向和逆時針方向反復地旋轉。相位差控制器20可被放置在第三皮秒激光束L3的路徑上，并通過連續(xù)地改變第三皮秒激光束L3的相位差而輸出第二皮秒激光束L2。當?shù)谌っ爰す馐鳯3的相位差連續(xù)地變化時，第二皮秒激光束L2的相位差也連續(xù)地變化，因此導致第二皮秒激光束L2的偏振狀態(tài)連續(xù)地變化，并使第二皮秒激光束L2的振蕩方向不具有指向性。因此，當?shù)诙っ爰す馐鳯2照射到工件PA時，可減少波紋的形成，從而改善工件PA的表面狀況。
[0074]皮秒激光器10和相位差控制器20的其它特點和方面與圖1中那些利用相同名稱標識的對應物的特點和方面基本相同或基本相似，因此它們的詳細描述被忽略。
[0075]現(xiàn)在將參照圖11對振蕩方向控制器50進行更詳細地描述。參照圖11，振蕩方向控制器50可包括第一電極51、第二電極52和扭曲向列(TN)液晶層53。第一電極51和第二電極52可被彼此面對地設置在TN液晶層53的相對表面上。第一電極51和第二電極52可由透明的導電材料形成。例如，第一電極51和第二電極52可由氧化銦錫(ITO)或氧化銦鋅(IZO)組成，但是不限于由氧化銦錫(ITO)或氧化銦鋅(IZO)組成。電壓可被加到第一電極51和第二電極52中的每個，以使在第一電極51和第二電極52之間產(chǎn)生電勢差V。所述電勢差V可連續(xù)地變化。第一皮秒激光束LI可進入第一電極51，第三皮秒激光束L3可從第二電極52出射。
[0076]TN液晶層53可被設置在第一電極51和第二電極52之間。TN液晶層53可根據(jù)電勢差V而改變穿過其中的電磁波的振蕩方向。由于TN液晶層53可根據(jù)電勢差V而改變穿過其中的電磁波的振蕩方向，所以當電勢差V連續(xù)地變化時，第三皮秒激光束L3的振蕩方向可連續(xù)地變化。當?shù)谌っ爰す馐鳯3的振蕩方向連續(xù)地變化時，第二皮秒激光束L2的相位差可連續(xù)變化，導致第二皮秒激光束L2的偏振狀態(tài)連續(xù)地變化，并使第二皮秒激光束L2的振蕩方向不具有指向性。因此，當?shù)诙っ爰す馐鳯2照射到工件PA時，可減少波紋的形成，從而改善工件PA的表面狀況。
[0077]返回參照圖10，皮秒激光加工設備還可包括工作臺30和固定器40。根據(jù)當前的實施例的工作臺30和固定器40可與圖1中那些利用相同名稱標識的構件基本相同或基本相似，因此忽略對它們的描述。
[0078]本發(fā)明的實施例提供下面的優(yōu)點中的至少一個。
[0079]S卩，可減少工件PA上的波紋的形成。
[0080]另外，可改善工件PA的表面狀況。
[0081]然而，本發(fā)明的效果并不局限于在此所闡述的一個。通過參照權利要求及其等同物，對于本發(fā)明所屬領域的普通技術人員來說，本發(fā)明的以上和其它方面將變得更加清楚。
【權利要求】
1.一種皮秒激光加工設備，包括: 皮秒激光器，被構造為輸出皮秒激光束； 相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路徑上，所述相位差控制器被構造為改變所述皮秒激光束的相位差。
2.根據(jù)權利要求1所述的皮秒激光加工設備，其中，所述相位差控制器包括相位延遲膜。
3.根據(jù)權利要求2所述的皮秒激光加工設備，其中，所述相位延遲膜被構造為將所述皮秒激光束的相位差改變?yōu)榇蠹s四分之一波長的相位差。
4.根據(jù)權利要求1所述的皮秒激光加工設備，其中，所述相位差控制器被構造為將所述皮秒激光束的相位差改變?yōu)榇蠹s四分之一波長的相位差。
5.根據(jù)權利要求1所述的皮秒激光加工設備，所述皮秒激光加工設備還包括:工作臺，用于安裝工件，所述工件被穿過所述相位差控制器的所述皮秒激光束照射。
6.根據(jù)權利要求5所述的皮秒激光加工設備，所述皮秒激光加工設備還包括:固定器，被構造為固定所述工件。
7.根據(jù)權利要求1所述的皮秒激光加工設備，其中，所述皮秒激光器被構造為輸出所述皮秒激光束，使得所述 皮秒激光束是基本線偏振的。
8.—種皮秒激光加工設備，包括: 皮秒激光器，被構造為輸出皮秒激光束； 相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路徑上，并且所述相位差控制器被構造為連續(xù)地改變所述皮秒激光束的相位差。
9.根據(jù)權利要求8所述的皮秒激光加工設備，其中，所述相位差控制器包括相位延遲膜。
10.根據(jù)權利要求9所述的皮秒激光加工設備，其中，所述相位延遲膜被構造為旋轉。
11.根據(jù)權利要求10所述的皮秒激光加工設備，其中，所述相位延遲膜被構造為每分鐘旋轉800到1600次。
12.根據(jù)權利要求11所述的皮秒激光加工設備，其中，所述相位延遲膜的旋轉軸基本平行于所述皮秒激光束的傳播方向。
13.根據(jù)權利要求9所述的皮秒激光加工設備，其中，所述相位延遲膜被構造為將所述皮秒激光束的相位差改變?yōu)樗姆种徊ㄩL的相位差。
14.根據(jù)權利要求9所述的皮秒激光加工設備，其中，所述相位延遲膜被構造為沿第一方向和不同于第一方向的第二方向繞著旋轉軸反復地旋轉。
15.一種皮秒激光加工設備，包括: 皮秒激光器，被構造為輸出皮秒激光束并連續(xù)地改變所述皮秒激光束的振蕩方向； 相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路徑上。
16.根據(jù)權利要求15所述的皮秒激光加工設備，其中，所述皮秒激光器被構造為繞著所述皮秒激光束被輸出的方向旋轉。
17.根據(jù)權利要求16所述的皮秒激光加工設備，其中，所述皮秒激光器被構造為每分鐘旋轉800到1600次。
18.根據(jù)權利要求15所述的皮秒激光加工設備，其中，所述相位差控制器被構造為將所述皮秒激光束的相位差改變?yōu)樗姆种徊ㄩL的相位差。
19.一種皮秒激光加工設備,包括: 皮秒激光器，被構造為輸出皮秒激光束； 振蕩方向控制器，位于所述皮秒激光束的路徑上，所述振蕩方向控制器被構造為連續(xù)地改變所述皮秒激光束的振蕩方向； 相位差控制器，位于穿過所述振蕩方向控制器的所述皮秒激光束的路徑上。
20.根據(jù)權利要求19所述的皮秒激光加工設備，其中，所述振蕩方向控制器還包括: 第一電極； 第二電極，面對所述第一電極； 扭曲向列(TN)液晶層,位于第一電極和第二電極之間， 其中，所述振蕩方向控制 器被構造為連續(xù)地改變第一電極和第二電極之間的電勢差。
【文檔編號】B23K26/00GK104043899SQ201310527097
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2013年10月30日 優(yōu)先權日:2013年3月13日
【發(fā)明者】尹永俊, 金志勛, 田民鎬, 金英培 申請人:三星顯示有限公司