專利名稱：介質(zhì)阻擋放電燈裝置及紫外線照射裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種介質(zhì)阻擋放電燈裝置以及使用該裝置的紫外線照射裝置。
背景技術(shù)：
氙等稀有氣體或者是氙或氪等稀有氣體與氯等混合氣體做無聲放電，產(chǎn)生接近固有單色放射的準(zhǔn)分子放電燈，即介質(zhì)阻擋放電燈，已經(jīng)記載于很多文獻(xiàn)中而在以前已被大家所公知。介質(zhì)阻擋放電是通過所謂的無聲放電形成脈沖電流的流動(dòng)。該脈沖電流具有高速的電子流，且由于休止期間多，使得如氙那樣的放出紫外線的物質(zhì)暫時(shí)結(jié)合成分子狀態(tài)(準(zhǔn)分子狀態(tài))，在返回基態(tài)時(shí)，有效地放出一種再吸收較少的紫外線。
在第一現(xiàn)有專利技術(shù)中，日本特開平11-111235號(hào)公報(bào)公開了采用細(xì)長的管狀容器進(jìn)行介質(zhì)阻擋放電的介質(zhì)阻擋放電燈。
在第二現(xiàn)有專利技術(shù)中，日本特開平7-272692號(hào)公報(bào)公開了一種透明且呈細(xì)長管狀的介質(zhì)阻擋放電燈，包括設(shè)置于兼做介質(zhì)阻擋放電的第一電介質(zhì)的放電容器外部的透光性外部電極，以及由內(nèi)側(cè)長L與直徑D比L/D為30或30以上的金屬棒或金屬管所構(gòu)成的內(nèi)側(cè)電極。
在第三現(xiàn)有專利技術(shù)中，日本特開2001-084966號(hào)公報(bào)中公開了一種由本發(fā)明人所發(fā)明的介質(zhì)阻擋放電燈，通過張力作用配置內(nèi)部電極，通過在內(nèi)部電極上安裝限位組件(即錨狀物)，防止內(nèi)部電極下垂。在該燈中，錨狀物由導(dǎo)電金屬構(gòu)成，由于錨狀物作為內(nèi)部電極的一部分而起作用，使得內(nèi)外電極間的距離變小，從而提高了激活性能。
在第一～第三現(xiàn)有技術(shù)中，形成的發(fā)光管包括細(xì)長的氣密容器、沿氣密容器的軸方向延伸的內(nèi)部電極、以及封入氣密容器內(nèi)的受激準(zhǔn)分子生成氣體(以下簡稱準(zhǔn)分子生成氣體)，并具有冷卻功能，同時(shí)為了氣密容器外面一部分的嵌合，將上述燈管壓接在凹陷的燈體上，而且，通過在兩者間設(shè)置外部電極，將外部電極緊密接觸在氣密容器的外面，沿管軸方向使其產(chǎn)生均勻的介質(zhì)阻擋放電的同時(shí)，使發(fā)光管所產(chǎn)生的熱快速地發(fā)散，從而可將發(fā)光效率維持在較高的狀態(tài)。
不過，第一個(gè)問題點(diǎn)是外部電極不易均一地沿發(fā)光管的管軸方向與細(xì)長發(fā)光管外面緊密接觸。因此，就會(huì)產(chǎn)生沿管軸方向的受激準(zhǔn)分子放電(以下簡稱準(zhǔn)分子放電)的分布不均勻的現(xiàn)象。特別是當(dāng)發(fā)光管為全長超過1000mm的長尺狀時(shí)，該傾向變得更明顯。
調(diào)查結(jié)果顯示，其主要原因?yàn)橥獠侩姌O沒有均一地沿氣密容器的管軸方向與其緊密接觸。
另外，如由石英玻璃這種紫外線穿透性材料所構(gòu)成的細(xì)長氣密容器要想做成筆直的是比較困難的，所以氣密容器的彎曲是外部電極難以均一地沿管軸方向與發(fā)光管外面緊密接觸的原因之一。
另一方面，在將準(zhǔn)分子生成氣體封入細(xì)長的氣密容器內(nèi)部時(shí)，需要事先將氣密容器內(nèi)部的氣體排出。并且，在封入準(zhǔn)分子生成氣體之后，需要將氣密容器封住。過去，將連通于氣密容器內(nèi)部的排氣用細(xì)管玻璃熔接在氣密容器的側(cè)面，進(jìn)行上述的排氣和封入。然后，當(dāng)封入準(zhǔn)分子生成氣體后封閉切斷排氣用細(xì)管時(shí)，形成由肚臍般的小突起構(gòu)成的拆焊部(tip-off)。為了將氣體從氣密容器的內(nèi)部在兩端部均一的且快速地排出，以前一般將排氣用細(xì)管設(shè)在氣密容器的管軸方向的中央部。
然而，第二個(gè)問題點(diǎn)為若使排氣拆焊部向照射面?zhèn)韧怀?，為了降低該部分的紫外線照射量，沿管軸方向的紫外線照射特性則不均一。于是，被認(rèn)為可將排氣拆焊部相對(duì)于照射面向背面?zhèn)扰渲谩榇?，須在發(fā)光體背面?zhèn)葻醾鲗?dǎo)接觸的燈體的表面上，形成嵌合排氣拆焊部的凹部。這樣一來，不但燈體構(gòu)造變得復(fù)雜，也產(chǎn)生組裝變得困難的新問題。
另外，第三個(gè)問題點(diǎn)是，具有上述細(xì)長氣密容器的介質(zhì)阻擋放電燈，由于伴隨氣密容器的長尺化及高輸出化，燈的變形及亮燈所產(chǎn)生的熱應(yīng)力變大，因此外部電極無法以所希望的狀態(tài)緊密接觸在氣密容器外面，并且無法適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行燈體的冷卻。若外部電極無法以所希望的狀態(tài)緊密接觸在氣密容器外面，放電電流就會(huì)減少而無法投入所希望的亮燈電力。而且，若無法適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行燈體的冷卻，就會(huì)造成溫度上升而發(fā)光效率降低。甚至，在燈的變形及亮燈所產(chǎn)生的熱應(yīng)力很大時(shí)，氣密容器會(huì)由于熱應(yīng)力而破裂。
本發(fā)明的第一目的是提供一種介質(zhì)阻擋放電燈裝置以及使用該裝置的紫外線照射裝置，外部電極沿著發(fā)光管外面的管軸方向均一地與發(fā)光管緊密接觸，而沿管軸方向的準(zhǔn)分子放電分布呈均一分布。
本發(fā)明的第二目的是提供一種介質(zhì)阻擋放電燈裝置以及使用該裝置的紫外線照射裝置，燈體的構(gòu)造簡單且組裝容易。
本發(fā)明的第三目的是提供一種改良的介質(zhì)阻擋放電燈裝置以及使用該裝置的紫外線照射裝置，不會(huì)產(chǎn)生由于氣密容器的變形及熱應(yīng)力所導(dǎo)致的不合適。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種介質(zhì)阻擋放電裝置包括一支撐裝置，它通過將彈力作用在發(fā)光管兩端的至少其中一端來支撐發(fā)光管，從而使氣密容器與外部電極(OE)相互壓接。
該介質(zhì)阻擋放電燈裝置包括具有發(fā)光管及外部電極的介質(zhì)阻擋放電燈，以及將外部電極壓接在氣密容器外面的支撐裝置。
<支撐裝置>
支撐裝置是通過支撐發(fā)光管的氣密容器的兩端，以彈力作用將氣密容器與設(shè)于其外面的外部電極相互壓接的裝置。彈力至少作用在氣密容器的一端，作用在兩端更為合適。提供彈力作用的具體裝置并無特別限定，例如可通過彈簧支撐氣密容器。并且，也可以使用包括支撐氣密容器的支撐部，以及與該支撐部并排提供彈力作用的彈簧部的支撐裝置。
對(duì)于通過彈簧支撐氣密容器的支撐裝置來說，該支撐裝置是將彈簧介于支撐裝置的固定部與氣密容器之間。彈簧可以是用板狀、棒狀等形狀的彈簧材料加工而成的各種構(gòu)造、形狀。將使彈簧力產(chǎn)生作用的支撐裝置配置在氣密容器的一端，使彈簧力作用在氣密容器的全長上，并將外部電極壓接在氣密容器的外面，將氣密容器的一端用鉸鏈構(gòu)成的支撐裝置可轉(zhuǎn)動(dòng)地固定在固定部上，另一端則可由彈力作用的支撐裝置安裝于固定部上。
為了將外部電極壓接在氣密容器的外面，可配置具有沿氣密容器長度方向延伸的剛性的燈體作為固定部。這樣，可壓緊對(duì)著燈體的氣密容器，由于此時(shí)在燈體與氣密容器之間可夾持外部電極，便于外部電極緊密接觸在氣密容器的外面。在這種情況下，外部電極可由柔軟的構(gòu)件形成，使用紫外線反射性高的構(gòu)件容易得到較廉價(jià)的外部電極。并且，通過將適當(dāng)?shù)睦鋮s裝置配置在燈體上，經(jīng)由外部電極除去氣密容器上的熱，有效地將紫外線放射效率保持在較高的狀態(tài)。作為冷卻裝置的冷卻介質(zhì)，例如可以讓水等在燈體內(nèi)部流動(dòng)。
<外部電極>
外部電極相對(duì)于介質(zhì)阻擋放電燈的發(fā)光管可拆裝地設(shè)置在氣密容器的外面。這樣一來，在氣密容器的內(nèi)部，可以產(chǎn)生在與封裝于氣密容器內(nèi)部的內(nèi)部電極之間，將氣密容器的壁面作為電介質(zhì)的介質(zhì)阻擋放電。而且，為了便于例如僅僅交換發(fā)光管等，外部電極通常具有相對(duì)于發(fā)光管的氣密容器外面，可拆裝的結(jié)構(gòu)。不過，也可將外部電極不可拆裝地設(shè)置在氣密容器的外面。
另外，外部電極大體上對(duì)應(yīng)于內(nèi)部電極而具有與其管軸方向相同的長度。這樣，沿發(fā)光管的管軸方向可產(chǎn)生介質(zhì)阻擋放電。而且，與外部電極管軸垂直方向的寬度一般而言在以氣密容器的管軸為中心夾角呈60～300°的范圍內(nèi)為佳。因此，在未配置外部電極的狀態(tài)下，由于發(fā)光管的氣密容器露出外部的部分約在300～60°的范圍內(nèi)形成，使得透過氣密容器壁面的紫外線從上述露出部分向外部，而且沿發(fā)光管的管軸方向跨越比較長的距離照射，可作各種不同目的利用。但是，通過介質(zhì)阻擋放電放射大量紫外線的同時(shí)，為了將放射的紫外線以較佳的角度照射，與外部電極的管軸正交方向的角度范圍最好在90～240°的范圍內(nèi)。而且，為了外部電極的拆裝較為容易，以及在支撐裝置的彈力作用下可得到相對(duì)于氣密容器外面的較強(qiáng)壓接，在240°以下的范圍內(nèi)較佳。然而，為了同時(shí)滿足外部電極的可拆裝性與紫外線的放射性，60～240°的范圍最合適。
同時(shí)，在外部電極可拆裝地設(shè)于氣密容器外面的情況下，可以采用薄而有彈性的導(dǎo)電性金屬箔、板或金屬線等材質(zhì)，也可以采用較厚的剛性體。無論采用上述哪一種材質(zhì)，對(duì)于面向外部電極的氣密容器的內(nèi)面來說，在其對(duì)紫外線的反射率比較高的情況下，由于具有作為反射裝置的作用，因此對(duì)于獲取更多的向外方向的紫外線量有一定效果。紫外線反射率高的材質(zhì)可用例如高純度鋁或銀等。外部電極由剛性體構(gòu)成的情況下，也可作為燈體使用。
另外，外部電極為連續(xù)面狀或網(wǎng)格狀的任一種狀態(tài)皆可。而且，所謂網(wǎng)格狀就是，將大量單位網(wǎng)格狀部分分別相隔一定間隙配置在氣密容器軸方向上，而且單位網(wǎng)格狀部分接近氣密容器的內(nèi)壁面，另外雖然在氣密容器的軸方向相互分離，但還是處于導(dǎo)電連接的狀態(tài)。單位網(wǎng)格部分，相對(duì)于圓周方向可以連續(xù)，也可分?jǐn)?。因此，在具體情況下，該單位網(wǎng)格部分也可呈網(wǎng)眼狀。
<本發(fā)明的作用>
在本發(fā)明中，通過具備上述的構(gòu)造，當(dāng)施加適當(dāng)?shù)母哳l電壓作為封裝在氣密容器內(nèi)部的內(nèi)部電極與可拆裝地設(shè)于氣密容器外面的外部電極之間的電壓時(shí)，在氣密容器內(nèi)部產(chǎn)生準(zhǔn)分子生成氣體的準(zhǔn)分子放電。外部電極由于通過支撐裝置在氣密容器的外面靠彈力作用壓接，因此在氣密容器的外面與外部電極之間難以形成空隙，從而沿氣密容器的管軸方向形成均勻的準(zhǔn)分子放電。
<氣密容器>
由紫外線穿透材料所構(gòu)成的氣密容器，一般而言可用合成石英玻璃制作。但是，對(duì)于本發(fā)明來說，只要是對(duì)于波長為真空中的紫外線都具有可穿透性的材料都可以使用。
氣密容器要想多輸出紫外線，外徑為12mm或12mm以上較佳。另外，要想降低放電起始電壓，內(nèi)徑在25mm或25mm以下較佳。更進(jìn)一步，可使壁厚為2mm或2mm以下，在0.3mm～1mm的范圍更佳。對(duì)此，氣密容器的長度并無限制，可以為對(duì)應(yīng)于所需的紫外線照射長度的任意長度，例如可為大約1m。特別是在本發(fā)明中，因?yàn)橥ㄟ^支撐裝置能更容易使外部電極在氣密容器的管軸方向均一地壓接，因此長度也可以為1m或1m以上。
作為在對(duì)氣密容器的內(nèi)部進(jìn)行排氣后將準(zhǔn)分子生成氣體封入的方法，一般是將排氣管連接在氣密容器上。在本發(fā)明中，雖然排氣管連接在氣密容器的任意部分皆可，但連接在側(cè)面會(huì)使排氣管的連接作業(yè)以及排氣、封入作業(yè)變得容易。并且，通過排氣管排氣后，將準(zhǔn)分子生成氣體從排氣管封入氣密容器內(nèi)，通過拆焊排氣管而形成排氣拆焊部。
另外，氣密容器若為管狀，除了筆直的直管外，稍有彎曲也可。實(shí)際上，在形成細(xì)長管時(shí)，容易形成一些彎曲，例如相對(duì)于全長約1200mm，會(huì)形成最大1mm或1mm以下的彎曲。但是，這種程度的彎曲，大體上被認(rèn)可為直管。在本發(fā)明中，可對(duì)外部電極進(jìn)行壓接。氣密容器例如在呈圓弧狀彎曲的情況下，將圓弧的背部面向外部電極配置較佳。也可將圓弧的側(cè)面部分面向外部電極配置。因此，在上述中間任意角度范圍內(nèi)，通過外部電極面向氣密容器配置，外部電極能良好地與氣密容器的外部壓接。而且，管的截面形狀一般為圓形，也可采用橢圓形、四角形等所想要的截面形狀。
<內(nèi)部電極>
內(nèi)部電極可為任何一種構(gòu)造，例如多個(gè)單位網(wǎng)格部分可以為在氣密容器的軸方向上分別通過空隙配置成的網(wǎng)格狀，也可任意采用上述現(xiàn)有技術(shù)中的各種構(gòu)造的內(nèi)部電極。但是，由于內(nèi)部電極形成網(wǎng)格狀，可使產(chǎn)生紫外線的量相對(duì)地變多，所以較為合適。另外，所謂「多個(gè)單位網(wǎng)格部分可以為在氣密容器的軸方向上分別通過空隙配置成的網(wǎng)格狀」，是指單位網(wǎng)格部分接近氣密容器的內(nèi)壁面，且雖然在氣密容器的軸方向上相互分離，也仍為導(dǎo)電連接的狀態(tài)。而且，單位網(wǎng)格部分相對(duì)于圓周方向可以連續(xù)，也可斷開。因此，該單位網(wǎng)格部分具體可以為環(huán)狀(前者的狀態(tài))、螺旋狀或繞線狀(后者的狀態(tài))、或網(wǎng)眼狀等。在網(wǎng)眼狀的狀況下，根據(jù)該網(wǎng)眼的構(gòu)造決定屬于前者或后者。
在單位網(wǎng)格部分為環(huán)狀的情況下，通過使其具有沿氣密容器的軸方向延伸的連結(jié)部分，可使多個(gè)單位網(wǎng)格部分以既定的節(jié)距(pitch)連結(jié)，且具有導(dǎo)電連接。另外，通過將連結(jié)部分沿氣密容器的中心軸延伸的構(gòu)造，內(nèi)部電極的整體呈具有多個(gè)環(huán)鏈(ring anchor)(相當(dāng)于單位網(wǎng)格部分)的復(fù)印用鹵素?zé)襞轃艚z那樣的形狀，可利用設(shè)備進(jìn)行制造而使制造變得容易。但是，避開氣密容器的中心軸而采用將連結(jié)部分直接與網(wǎng)格狀部分的環(huán)狀部分連接也可。而且，連結(jié)部分為單線的直線狀也可，外徑相對(duì)于氣密容器的內(nèi)徑為20％或20％以下的繞線狀也可。另外，可對(duì)連結(jié)部分施以適當(dāng)?shù)?、最好?kg或2kg以上的張力，在該張力作用于中心軸方向的狀態(tài)下進(jìn)行封裝。在使張力作用時(shí)，內(nèi)部電極最好做成繞線狀。即使不是繞線狀，也可使中心軸方向的張力作用于連結(jié)部分。不論連結(jié)部分為何種形狀，通過在氣密容器的兩端側(cè)密封連結(jié)部分的兩端，使張力容易作用在連結(jié)部分。但是，如果連結(jié)部分僅在氣密容器的一端密封連結(jié)，而在氣密容器的另一端通過適當(dāng)?shù)氖侄卫缫灾尉€固定于密封部上的情況下，也可使張力作用在連結(jié)部分。
對(duì)此，單位網(wǎng)格部分為螺旋狀及網(wǎng)眼狀的情況下，該螺旋及網(wǎng)眼部分具有作為連結(jié)部分的功能，多個(gè)單位網(wǎng)格部分相互地做機(jī)械及導(dǎo)電性連結(jié)。但是，在螺旋狀及網(wǎng)眼狀單位網(wǎng)格部分上，焊接有由單一或多個(gè)棒狀體所構(gòu)成的連結(jié)部分，這樣可給予內(nèi)部電極更佳的保形性?；蚴褂镁砜蛉〈魻铙w的連結(jié)部分，形成螺旋狀及網(wǎng)眼狀的單位網(wǎng)格部分，可得良好的保形性。而且，卷框的絕緣性及導(dǎo)電性均良好。對(duì)于網(wǎng)格部分，若采用上述任何一種的構(gòu)造，則可給予內(nèi)部電極整體形狀的穩(wěn)定性，使安裝變得容易。
并且，內(nèi)部電極是以相對(duì)于該單位網(wǎng)格部分的軸向節(jié)距P(m)與后述的準(zhǔn)分子生成氣體的壓強(qiáng)p(Pa)的積p·P在所確定的范圍內(nèi)這種方式形成的。
另外，在本發(fā)明中，如后述那樣即使在提高準(zhǔn)分子生成氣體的封入壓強(qiáng)而使燈效率提高的情況下，也可使單位網(wǎng)格部分與氣密容器內(nèi)壁面之間的距離為3mm或3mm以下。上述距離若在3mm或3mm以下，在此條件下，放電維持電壓可抑制在1000V或1000V以下。
另外，構(gòu)成內(nèi)部電極的材料并無特別限定，例如可使用鎢、鉬以及鎳等耐火性的金屬，而鎢和鉬的功函數(shù)相對(duì)較小，容易放出電子，所以具有降低啟動(dòng)電壓的效果。
另外，當(dāng)內(nèi)部電極密封在由石英玻璃所構(gòu)成的氣密容器的端部時(shí)，可采用使用密封金屬箔的密封構(gòu)造，此密封金屬箔多用于緊密地密封石英玻璃的場(chǎng)合。同時(shí)，通過將石英玻璃夾鉗密封，可將密封金屬箔做氣密性密封。
<準(zhǔn)分子生成氣體>
準(zhǔn)分子生成氣體可用氙、氪、氬或氦等稀有氣體的一種或多種混合，或者是稀有氣體與氟、氯、溴或碘等鹵素的混合氣體，例如XeCl、KrCl等。而且，也可將氖等不產(chǎn)生準(zhǔn)分子的氣體添加在準(zhǔn)分子生成氣體中。
另外，準(zhǔn)分子生成氣體的壓力可達(dá)20000Pa或20000Pa以上。伴隨壓力變大燈效率提高而紫外線輸出增加。但是，燈的效率隨著壓力的增加會(huì)顯示出飽和的傾向。
<其它構(gòu)造>
雖然不是本發(fā)明的必須構(gòu)成要素，可根據(jù)需要選擇性地添加以下的構(gòu)造。
1.(有關(guān)燈座)為了使介質(zhì)阻擋放電燈容易通電，可在氣密容器兩端安裝適當(dāng)形狀及構(gòu)造的燈座。進(jìn)而，可經(jīng)由燈座，通過支撐裝置支撐發(fā)光管。
2.(有關(guān)燈體)燈體如在說明支撐裝置時(shí)說明的那樣，是以使外部電極夾持在氣密容器之間的方式進(jìn)行配置的。并且，因?yàn)闊趔w與介質(zhì)阻擋放電燈之間是設(shè)置成可進(jìn)行熱傳導(dǎo)的狀態(tài)下的，所以可將其作為一種除去介質(zhì)阻擋放電燈亮燈時(shí)所產(chǎn)生的熱的裝置來加以利用。為加強(qiáng)這種燈體的作用，可強(qiáng)制地冷卻燈體。例如，可使冷卻劑例如水在燈體內(nèi)部流動(dòng)。或者是，在燈體的外面形成易于放熱的凹凸構(gòu)造，以及/或使用使空氣強(qiáng)制通過的風(fēng)扇裝置等，恰當(dāng)?shù)厥褂矛F(xiàn)有技術(shù)的冷卻裝置。
本發(fā)明還提供一種紫外線照射裝置，包括上述的介質(zhì)阻擋放電燈裝置，和配置有介質(zhì)阻擋放電燈裝置的紫外線照射裝置本體，和連接在介質(zhì)阻擋放電燈裝置上、點(diǎn)亮介質(zhì)阻擋放電燈裝置的高頻點(diǎn)燈電路。
在本發(fā)明中，所謂「紫外線照射裝置」是指所有利用介質(zhì)阻擋放電燈裝置產(chǎn)生紫外線的裝置。例如，半導(dǎo)體步進(jìn)機(jī)、光洗凈裝置、光硬化裝置以及光干燥裝置等。而「紫外線照射裝置本體」是指紫外線照射裝置中除了介質(zhì)阻擋放電燈裝置以及高頻生成裝置之外的其余的部分。
另外，介質(zhì)阻擋放電燈裝置可根據(jù)需要使用一個(gè)或多個(gè)。
為了點(diǎn)亮介質(zhì)阻擋放電燈裝置而使用高頻點(diǎn)燈電路。高頻點(diǎn)燈電路包含高頻生成裝置產(chǎn)生高頻電壓，將該亮燈所需的高頻電力供給介質(zhì)阻擋放電燈裝置。所謂「高頻」是指10kHz或10kHz以上的頻率。但最好為100kHz～2MHz。并且，高頻亮燈電路在介質(zhì)阻擋放電燈裝置穩(wěn)定亮燈時(shí)施加1500V或1500V以下，最好是700～1000V的高頻電壓。更進(jìn)一步說，介質(zhì)阻擋放電燈裝置的啟動(dòng)電壓為2～2.3kVp-p，通過將高頻亮燈電路的二次開放電壓提高至啟動(dòng)電壓，而使其容易啟動(dòng)。這種情況下，作為產(chǎn)生高頻的手段將并聯(lián)反相器作為主體構(gòu)成時(shí)，由于容易得到高升壓比而比較合適。這樣一來，由于高頻輸出波形為正弦波，在介質(zhì)阻擋放電燈裝置亮燈時(shí)產(chǎn)生的噪音就比較少。不過，除高頻生成裝置以外也可同時(shí)采用起始用脈沖電壓生成裝置。更進(jìn)一步說，雖然介質(zhì)阻擋放電燈裝置與高頻亮燈電路配置在接近的位置較佳，但配置成相互分離的位置也可。介質(zhì)阻擋放電燈裝置與一般的放電燈不同，無須以限流裝置串聯(lián)。但是，為了將燈電流調(diào)節(jié)至既定值，可根據(jù)需求，將適當(dāng)值的阻抗串聯(lián)而亮燈。并且，將介質(zhì)阻擋放電燈裝置連接在高頻亮燈電路時(shí)，只要使外部電極接地，產(chǎn)生的噪音就會(huì)減少。
由于內(nèi)部電極形成網(wǎng)格狀，而且為陽極，外部電極在陰極介質(zhì)阻擋放電中，從內(nèi)部電極的單位網(wǎng)格部分附近放射的紫外線變多，從鄰接的單位網(wǎng)格部分中間放射的紫外線變少。因此，當(dāng)單位網(wǎng)格部分的節(jié)距較大時(shí)，不僅氣密容器的軸方向上紫外線照度的均整度變差，同時(shí)，紫外線照度也會(huì)降低。而在內(nèi)部電極與外部電極相位相反的狀況下，則不會(huì)產(chǎn)生如上所述的狀況。若將內(nèi)部電極的單位網(wǎng)格部分的節(jié)距設(shè)定在4mm或4mm以下，則由于單位網(wǎng)格部分間紫外線照度低的谷間部分會(huì)分別被各單位網(wǎng)格部分所產(chǎn)生的紫外線強(qiáng)度強(qiáng)的區(qū)域所掩蓋，因此氣密容器的軸方向的紫外線照度的均整度在得到顯著提高的同時(shí)，紫外線照度也會(huì)提高。
并且，由于脈沖點(diǎn)燈可以產(chǎn)生強(qiáng)的余暉發(fā)光，所以有助于提高紫外線的照度。
高頻亮燈電路若輸出脈沖電壓，不論其余的構(gòu)造為何，例如通過使用矩形波輸出的反相器，可得矩形波脈沖。但是，使用正弦波輸出的反相器，也可得正弦波的脈沖。
本發(fā)明還提供一種介質(zhì)阻擋放電燈照明裝置，包括一介質(zhì)阻擋放電燈，具有紫外線穿透材料所構(gòu)成的細(xì)長管，在其一端附近具有向側(cè)邊突出的排氣拆焊部的氣密容器，在氣密容器內(nèi)沿軸向設(shè)置的內(nèi)部電極，封入氣密容器內(nèi)的準(zhǔn)分子生成氣體，以及設(shè)于氣密容器外面、通過與內(nèi)部電極的協(xié)同工作、在氣密容器內(nèi)產(chǎn)生介質(zhì)放電的外部電極。其特征在于氣密容器的拆焊部從燈體的一端露出外部，同時(shí)介質(zhì)阻擋放電燈以與燈體間成熱傳導(dǎo)狀態(tài)的方式設(shè)置在燈體上。
在這種介質(zhì)阻擋放電燈照明裝置的發(fā)明中，作為讓氣密容器的內(nèi)部排氣后將準(zhǔn)分子生成氣體封入的裝置，是將排氣管連接在氣密容器上的。在本發(fā)明中，是將排氣管連接于氣密容器一端的附近且從燈體向外露出部位的側(cè)面上的。而且，排氣管進(jìn)行排氣后，將準(zhǔn)分子生成氣體從排氣管封入氣密容器內(nèi)，通過將排氣管做拆焊而形成排氣拆焊部。將氣體通過形成在氣密容器一端側(cè)的排氣管排出時(shí)，特別是氣密容器在1m或1m以上的情況下，要想作充分的排氣，時(shí)間有些許變長的傾向。為此，也可在氣密容器的兩端附近形成一對(duì)排氣管同時(shí)進(jìn)行排氣。然而，在該情況下，會(huì)形成一對(duì)排氣拆焊部。
由于有以上所述的構(gòu)造，氣密容器的排氣拆焊部就容易配置在紫外線配光為90％以下的非有效紫外線照射區(qū)域外的位置上，所以介質(zhì)阻擋放電燈在面向燈體的區(qū)域中，可得較高的均整度。因此，容易在管軸方向上得到均一的紫外線照度分布。而且，由于排氣管是位于從氣密容器的中央部向端部側(cè)偏倚的位置上的，所以在形成單一排氣拆焊部的狀況下，排氣時(shí)間有稍許變長的傾向，但無本質(zhì)上的問題。不過，如前所述，也可配置多個(gè)排氣拆焊部在上述既定的位置上。
另外，不需要將排氣拆焊部收容在燈體上的構(gòu)造。這樣，可避免燈體構(gòu)造的復(fù)雜化，維持燈體的廉價(jià)。
更進(jìn)一步說，將介質(zhì)阻擋放電燈設(shè)在燈體時(shí)，氣密容器的排氣拆焊部的方向不必限制在既定的方向上，這樣，介質(zhì)阻擋放電燈容易安裝在燈體上。
本發(fā)明還提供一種紫外線照射裝置，包括上述的介質(zhì)阻擋放電燈裝置，配置有介質(zhì)阻擋放電燈裝置的紫外線照射裝置本體，連接于介質(zhì)阻擋放電燈裝置、點(diǎn)亮介質(zhì)阻擋放電燈裝置的高頻點(diǎn)燈電路。
本發(fā)明還提供一種介質(zhì)阻擋放電燈裝置，包括介質(zhì)阻擋放電燈，由紫外線穿透材料所構(gòu)成的細(xì)長管狀的氣密容器，設(shè)于氣密容器內(nèi)的內(nèi)部電極，連接于內(nèi)部電極、從氣密容器的一端向外部導(dǎo)出的供電導(dǎo)體，封入于氣密容器內(nèi)的準(zhǔn)分子生成氣體，以及設(shè)于氣密容器的外面、通過與內(nèi)部電極的協(xié)同動(dòng)作在氣密容器內(nèi)產(chǎn)生介質(zhì)阻擋放電而作用的外部電極等構(gòu)成；安裝在介質(zhì)阻擋放電燈兩端部的第一及第二燈頭；以及通過支撐第一及第二燈頭、支撐介質(zhì)阻擋放電燈的第一及第二燈頭支撐裝置。上述第一燈頭通過包圍導(dǎo)出介質(zhì)阻擋放電燈供電導(dǎo)體的一端部而機(jī)械地保護(hù)該端部的同時(shí)，保持與供電導(dǎo)體的絕緣關(guān)系，第二燈頭通過包圍阻抗放電燈的另一端部而機(jī)械地保護(hù)該端部的同時(shí)，具有連接在外部電極的導(dǎo)電體部分。第一燈頭支撐裝置固定地支撐第一燈頭，第二燈頭支撐裝置在介質(zhì)阻擋放電燈的管軸方向可移動(dòng)地支撐第二燈頭的同時(shí)，具有與第二燈頭的導(dǎo)電體部分導(dǎo)電連接的特征。
以下，針對(duì)上述的介質(zhì)阻擋放電燈裝置的構(gòu)成要素作最初說明，接著針對(duì)其它的構(gòu)成要素作說明。
<第一燈頭>第一燈頭包圍介質(zhì)阻擋放電燈的后述供電導(dǎo)體被導(dǎo)出側(cè)的一端部而機(jī)械地保護(hù)該端部。并且，第一燈頭與上述供電導(dǎo)體保持絕緣關(guān)系。若滿足以上的條件，第一燈頭以導(dǎo)電物質(zhì)或絕緣物質(zhì)形成皆可。甚至，第一燈頭根據(jù)需求，在包圍介質(zhì)阻擋放電燈一端部的同時(shí)，包圍設(shè)于介質(zhì)阻擋放電燈的氣密容器外部的外部電極的端部。在此構(gòu)造中，第一燈頭的至少一部分是由導(dǎo)電物質(zhì)所形成，使第一燈頭與外部電極導(dǎo)通，可對(duì)外部電極供電。
<第二燈頭>第二燈頭包圍介質(zhì)阻擋放電燈的另一端而機(jī)械地保護(hù)該端部。并且，第二燈頭具有與介質(zhì)阻擋放電燈的外部電極連接的導(dǎo)電體部分。若滿足上述條件，第二燈頭以導(dǎo)電物質(zhì)或絕緣物質(zhì)形成皆可。而以導(dǎo)電物質(zhì)形成時(shí)，容易與外部電極連接，構(gòu)造也簡單。
<第一燈頭支撐裝置>第一燈頭支撐裝置固定地支撐第一燈頭，從而支撐介質(zhì)阻擋放電燈的一端部。
<第二燈頭支撐裝置>第二燈頭支撐裝置是在介質(zhì)阻擋放電燈的管軸方向可移動(dòng)地支撐第二燈頭，同時(shí)與第二燈頭的導(dǎo)電體部分導(dǎo)電連接。上述可移動(dòng)的狀態(tài)對(duì)應(yīng)于預(yù)計(jì)可能產(chǎn)生的變形及熱應(yīng)力所造成的伸縮，可在既定的范圍內(nèi)移動(dòng)。第二燈頭支撐裝置與第二燈頭的導(dǎo)電體部分導(dǎo)電連接的關(guān)系為，即使第二燈頭相對(duì)于第二燈頭支撐裝置在介質(zhì)阻擋放電燈的管軸方向移動(dòng)時(shí)，也必須保持連接。
針對(duì)第二燈頭的上述構(gòu)造，在介質(zhì)阻擋放電燈的管軸方向可移動(dòng)地支撐第二燈頭的具體構(gòu)造在本發(fā)明中并無特別的限定。例如，通過松弛地支撐介質(zhì)阻擋放電燈另一端側(cè)，可滿足上述的條件。但是，當(dāng)介質(zhì)阻擋放電燈脫落時(shí)，必須不會(huì)產(chǎn)生錯(cuò)位。因此在使彈力產(chǎn)生作用的同時(shí)，能對(duì)第二燈頭進(jìn)行支撐則更佳。作為使彈力產(chǎn)生作用的裝置，比如說可配置第一滑接機(jī)構(gòu)。
另外，針對(duì)第二燈頭支撐裝置的上述構(gòu)造，就第二燈頭對(duì)于第二燈頭支撐裝置在介質(zhì)阻擋放電燈的管軸方向移動(dòng)時(shí)，第二燈頭支撐裝置與第二燈頭的上述導(dǎo)電體部分導(dǎo)電連接的關(guān)系仍然維持這一條件得以滿足的具體構(gòu)造來說，在本發(fā)明中并無特別限定。比如說可通過在第二燈頭支撐裝置及第二燈頭之間配置第二滑接機(jī)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)。而第二滑接機(jī)構(gòu)可適當(dāng)?shù)夭捎矛F(xiàn)有的各種構(gòu)造。
另外，第二滑接機(jī)構(gòu)最好是面向外部電極，通過壓接力作用于介質(zhì)阻擋放電燈而構(gòu)成滑接，并發(fā)揮以下所示的特別作用。即，具有這種細(xì)長氣密容器的介質(zhì)阻擋放電燈，一般抵接于紫外線反射性燈體的內(nèi)面，通過流通于燈體內(nèi)的冷卻劑實(shí)現(xiàn)冷卻并點(diǎn)燈。當(dāng)外部電極的構(gòu)成是將薄金屬板接觸在氣密容器外表面時(shí)，該外部電極由于介于上述燈體的內(nèi)面與氣密容器之間，第二滑接機(jī)構(gòu)在兩者間施加壓接力。這樣，外部電極緊密接觸在氣密容器的外面，可進(jìn)行既定的動(dòng)作。由此，介質(zhì)阻擋放電燈以既定的發(fā)光率亮燈。
在本發(fā)明中，上述第一滑接機(jī)構(gòu)與第二滑接機(jī)構(gòu)可用單一的滑接機(jī)構(gòu)兼用。但是，毫無疑問也可另外配置。
<本發(fā)明的作用>在本發(fā)明中，由于具備了上述的構(gòu)造，通過在介質(zhì)阻擋放電燈的內(nèi)部電極與外部電極間施加所需的高頻脈沖電壓或交流電壓，在氣密容器的內(nèi)部發(fā)生介質(zhì)阻擋放電，而產(chǎn)生短波長的紫外線。上述的放電電壓通過供電導(dǎo)體施加給內(nèi)部電極，至少經(jīng)由第二燈頭支撐裝置及第二燈頭施加給外部電極。根據(jù)需要，也可通過第一燈頭支撐裝置及第一燈頭與上述第二燈頭和第二燈頭支撐裝置同時(shí)使用，即從外部電極的兩端施加上述電壓，構(gòu)成如前述所知的構(gòu)造。
介質(zhì)阻擋放電燈從熄燈的冷卻狀態(tài)到點(diǎn)燈而溫度上升，氣密容器會(huì)因熱膨脹而伸長。此時(shí)，配置在一端的第一燈頭與第一燈頭支撐裝置之間為固定關(guān)系，而第二燈頭與第二燈頭支撐裝置之間可相對(duì)移動(dòng)，因此，對(duì)應(yīng)于不同的伸長程度，第二燈頭相對(duì)于第二燈頭支撐裝置產(chǎn)生不同的偏移。但是，即使產(chǎn)生偏移，由于第二燈頭的導(dǎo)電體部分與第二燈頭支撐裝置之間仍保持導(dǎo)電連接，內(nèi)部電極與外部電極之間的介質(zhì)阻擋放電仍能持續(xù)進(jìn)行。
然而，在本發(fā)明中，介質(zhì)阻擋放電燈的氣密容器為長尺形，為了提高輸出，伴隨亮燈滅燈，即使介質(zhì)阻擋放電燈變形并產(chǎn)生熱應(yīng)力，也能在第二燈頭與第二燈頭支撐裝置之間被自動(dòng)地吸收，以既定的點(diǎn)燈狀態(tài)持續(xù)點(diǎn)燈。其結(jié)果，可防止燈破壞，及冷卻條件惡化而導(dǎo)致的發(fā)光效率降低。
更進(jìn)一步說，在第二燈頭支撐裝置為如上所述的對(duì)應(yīng)于第二燈頭的導(dǎo)電體部分配置第二滑接機(jī)構(gòu)的情況下，由于時(shí)常面向外部電極，壓接力作用于介質(zhì)阻擋放電燈而滑接，從而依靠燈體的良好冷卻能得以維持。
以下，雖然不是上述記載的發(fā)明所必需的構(gòu)成要素，但可根據(jù)需求選擇性地添加燈體。
本發(fā)明還提供一種紫外線照射裝置，包括上述的介質(zhì)阻擋放電燈裝置，配置有介質(zhì)阻擋放電燈裝置的紫外線照射裝置本體，點(diǎn)亮介質(zhì)阻擋放電燈裝置的高頻點(diǎn)燈電路。
圖1為表示本發(fā)明介質(zhì)阻擋放電燈裝置的第一實(shí)施例的一部分切割正視圖及左右側(cè)視圖。
圖2為第一實(shí)施例的發(fā)光管的正視圖。
圖3為第一實(shí)施例的放大部位中央剖面的正視圖。
圖4為第一實(shí)施例的非供電端側(cè)的燈座及支撐裝置的放大部分正剖視圖。
圖5為第一實(shí)施例的沿圖4的V-V’線的剖視圖。
圖6為第一實(shí)施例的燈體的放大縱剖面圖。
圖7為第一實(shí)施例的燈體的右視圖。
圖8為本發(fā)明介質(zhì)阻擋放電燈裝置第二實(shí)施例的示意剖視圖。
圖9為本發(fā)明介質(zhì)阻擋放電燈裝置第三實(shí)施例的示意剖視圖。
圖10為作為本發(fā)明紫外線照射裝置的一實(shí)施例的紫外線洗凈裝置的正剖視圖。
圖11為同一紫外線洗凈裝置的仰視圖。
圖12為沿圖11的XII-XII’線的剖視圖。
圖13表示本發(fā)明介質(zhì)阻擋放電燈裝置的第四實(shí)施例的一部分切割正視圖及左右側(cè)視圖。
圖14為第四實(shí)施例的發(fā)光管的正視圖。
圖15為第四實(shí)施例的放大部分的中央正剖視圖。
圖16為本發(fā)明介質(zhì)阻擋放電燈裝置的第五實(shí)施例的介質(zhì)阻擋放電燈裝置及燈體的部分切割的一部分正剖視圖。
圖17為介質(zhì)阻擋放電燈裝置及第一燈座支撐裝置的正視圖及右視圖。
圖18為表示介質(zhì)阻擋放電燈的第一及第二燈座的部分切割的一部分正剖視圖。
圖19為本發(fā)明的介質(zhì)阻擋放電燈裝置的第六實(shí)施例的介質(zhì)阻擋放電燈裝置及燈體的部分切割的一部分正剖視圖。
圖20為作為本發(fā)明的紫外線照射裝置的一實(shí)施例的紫外線洗凈裝置的正剖視圖。
圖21為同一紫外線洗凈裝置的仰視圖。
圖22為沿圖21的XIII-XIII’線的剖視圖。
符號(hào)說明1～氣密容器；1a～中空部；1b～密封部；1b1～鉬箔；2～內(nèi)部電極；2a～連結(jié)部；2b～網(wǎng)格部分；2c～直線部；3、4～導(dǎo)入線；11～電極主體部分；12～加強(qiáng)環(huán)部；13～密封圈；14～燈座筒體；15～夾環(huán)部；16～線管；17～絕緣盤片；18～絕緣保護(hù)部；19～絕緣接頭；20～板彈簧；21～第一臂；22～第二臂；23～安裝/端子裝置；23a～安裝/端子配件；23b～支撐螺栓；30～燈座筒體；31～夾緊環(huán)部；32～絕緣盤片；35～安裝/端子裝置；35a～安裝/端子配件；35b～螺栓；35c～安裝螺栓；36～板彈簧；37～臂；40～凹陷部；41～冷卻劑通道；41a～流入口；51～紫外線照射裝置本體；51a～紫外線照射室；51b～電源室；51c～鉸鏈；51b1～把手；51b2～把手；51b3～保護(hù)器；52～點(diǎn)燈電路；114～燈頭筒體；114a～小開口；115～夾緊環(huán)部；116～線管；117～支撐臂；118～絕緣體；119～安裝/端子部；119a～導(dǎo)電板；119b～端子螺栓；119c～安裝孔；121～支撐臺(tái)；121a～燈體安裝部；121b～絕緣套筒安裝部；122～絕緣套筒；123～安裝螺栓；130～燈頭筒體；131～夾緊環(huán)部；141～支撐臺(tái)；142～滑接機(jī)構(gòu)；141a～底端；141b～燈頭容納部；142a～燈頭支撐部；142b～滑接部；145～安裝臺(tái)；EXL～介質(zhì)阻擋放電燈裝置；LT～發(fā)光管；OE～外部電極；LS1～供電側(cè)的燈座；SS1～第一支撐裝置；LS2～非供電端側(cè)的燈座；SS2～第二支撐裝置；CB～燈體；EU～介質(zhì)阻擋放電燈裝置單元；UVW～紫外線照射裝置；EU2～介質(zhì)阻擋放電燈裝置；B1、B2～第一及第二燈頭；BS1、BS2～第一及第二燈頭支撐裝置；LB～燈體；T～電壓側(cè)電源端子臺(tái)。
具體實(shí)施例方式
以下，參照
本發(fā)明的具體實(shí)施方式
。
圖1至圖7表示本發(fā)明介質(zhì)阻擋放電燈裝置的第一實(shí)施例，圖1為部分切割正視圖及左右側(cè)視圖，圖2為發(fā)光管的正視圖。圖3為放大部分中央正剖視圖。圖4為非供電端側(cè)的燈座及支撐裝置的放大部分正剖視圖。圖5為沿圖4的V-V’線的剖視圖。圖6為燈體的放大縱剖視圖。圖7為燈體的放大的右視圖。在各圖中，介質(zhì)阻擋放電燈裝置EXL由發(fā)光管LT、外部電極OE、供電端側(cè)的燈座LS1、第一支撐裝置SS1、非供電端側(cè)的燈座LS2以及第二支撐裝置SS2等構(gòu)成。介質(zhì)阻擋放電燈裝置EXL與燈體CB組合而構(gòu)成介質(zhì)阻擋放電燈裝置單元EU。圖3中的T為電壓側(cè)電源端子臺(tái)。以下對(duì)各構(gòu)成要素作說明。
<發(fā)光管LT>發(fā)光管LT如圖2所示由氣密容器1、內(nèi)部電極2以及一對(duì)導(dǎo)入線3、4所構(gòu)成。
氣密容器1全長約1200mm，由紫外線穿透性材料所構(gòu)成，包括細(xì)長圓筒狀的中空部1a以及形成于中空部1a兩端的密封部1b。密封部1b為內(nèi)部埋設(shè)鉬箔1b1的沖壓密封構(gòu)造。
氣密容器1的中空部1a的內(nèi)部封入準(zhǔn)分子生成氣體。
內(nèi)部電極2由連結(jié)部2a、多個(gè)單元網(wǎng)格部分2b以及兩端直線部2c所構(gòu)成。連結(jié)部2a是由線徑0.26mm的鎢線形成的金屬細(xì)線卷繞而形成外徑1.2mm的線圈2a作為主體的構(gòu)造。單元網(wǎng)格部分2b以一定節(jié)距為間隔例如15mm多個(gè)配置于連結(jié)部2a的環(huán)狀部分或環(huán)狀的鏈接部。兩端直線部2c是在連結(jié)部2a的兩端拉伸而形成。然后，內(nèi)部電極2在約2kg的張力作用的狀態(tài)下，將兩端直線部2c焊接在形成于氣密容器1兩端的密封部1b的鉬箔1b1的一端。內(nèi)部電極2的連結(jié)部2a安裝在氣密容器1的狀態(tài)下，靠張力拉伸。
一對(duì)導(dǎo)入線3、4與埋設(shè)在內(nèi)端形成于氣密容器1兩端的密封部1b的鉬箔1b1焊接，底端從密封部1b向外部露出。但是，導(dǎo)入線4由于形成非供電端，氣密容器1封止后切斷外部露出部而變成較短的尺寸。而且，根據(jù)需要，涂敷耐熱性絕緣體而隱藏導(dǎo)入線4切斷后的露出部。
<外部電極OE>外部電極OE主要如圖3所示，包括電極主要部分11、加強(qiáng)環(huán)部12以及密封圈13。并且，電極主體部分11的橫截面開口角約220°，以高純度的鋁板彎曲成大體上為圓弧形的槽狀體，跨越面向發(fā)光管LT的氣密容器1的內(nèi)部電極2區(qū)域的大略全長，嵌合于氣密容器1的外面。加強(qiáng)環(huán)部12由導(dǎo)電性金屬構(gòu)成，一端從上側(cè)重疊于電極主體部分11的端部，另一端插入后述供電端燈座LS1的開口內(nèi)。密封圈13介于加強(qiáng)環(huán)部12與面向氣密容器1的外面，對(duì)供電端燈座LS1的內(nèi)部做防水、保濕的密封。
<供電端的燈座LS1>供電端的燈座LS1主要如圖3所示，具有對(duì)發(fā)光管LT的內(nèi)部電極2供電的功能，由燈座筒體14、夾環(huán)部15、線管16、絕緣盤片17以及絕緣保護(hù)部18所構(gòu)成。燈座筒體14為有底筒體，包持發(fā)光管LT供電側(cè)的端部。并且，在底部中央具有小開口。夾緊環(huán)部15導(dǎo)電及機(jī)械地固定在燈座筒體14的開口部，經(jīng)由外部電極OE的加強(qiáng)環(huán)部12以及密封圈13，夾緊發(fā)光管LT的供電側(cè)端部而固定在燈座筒體14上。
線管16導(dǎo)電連接在從發(fā)光管LT導(dǎo)出的導(dǎo)入線3和后述的安裝/端子裝置23之間。絕緣盤片17為中央具有比較小的開口的陶瓷圓盤，從燈座筒體14絕緣地保護(hù)從燈座筒體14的底部經(jīng)由上述開口導(dǎo)入的線管16。絕緣保護(hù)部18為陶瓷筒體狀，通過導(dǎo)入燈座筒體14內(nèi)的線管16在內(nèi)部貫通，保持固定并絕緣。
<第一支撐裝置SS1>第一支撐裝置SS1主要如圖3所示，通過彈力支撐供電端的燈座LS1。然后，第一支撐裝置SS1是由絕緣接頭19、板彈簧20、第一臂21、第二臂22、安裝/端子裝置23所構(gòu)成。
絕緣接頭19一端固定在第二臂22的前端，結(jié)合板19a從另一端突出。而且，結(jié)合板19a對(duì)第二臂22絕緣。
板彈簧20整個(gè)呈L字形，形成中間部彎曲的彈力施加部20a。并且，板彈簧20的一端經(jīng)由絕緣接頭19及第二臂22與供電端側(cè)的燈座LS1的燈座筒體14絕緣地連接。然后，板彈簧20的另一端固定在安裝/端子裝置23上。
第一臂21的底端焊接在燈座筒體14的后端部，供電端的燈座LS1的絕緣保護(hù)部18固定在燈座筒體14上。
第二臂22主要如圖3所示，其底端焊接在供電端的燈座LS1的燈座筒體14的前端部。
安裝/端子裝置23在從燈座筒體15分離的位置與燈座筒體15結(jié)合，經(jīng)由供電端的燈座LS1以及第一支撐裝置SS1將彈力施加給發(fā)光管LT及外部電極OE，同時(shí)也具有固定在電壓側(cè)電源端子臺(tái)T上的功能。安裝/端子裝置23包括安裝/端子配件23a、支撐螺栓23b以及安裝螺栓23c。安裝/端子配件23a一端通過支撐螺栓23b連接在板彈簧20以及線管16上，另一端通過安裝螺栓23c以如圖標(biāo)的垂直狀態(tài)安裝在電壓側(cè)電源端子臺(tái)T上。支撐螺栓23b經(jīng)由供電端側(cè)的燈座LS1支撐介質(zhì)阻擋放電燈裝置EXL的供電端，同時(shí)由于具有端子配件的功能，其板面與介質(zhì)阻擋放電燈裝置EXL大約平行地延伸。支撐螺栓23b將線管16的另一端與板彈簧20一同機(jī)械及導(dǎo)電性地連接在安裝/端子配件23a上。
<非供電端側(cè)的燈座LS2>非供電端側(cè)的燈座LS2主要如圖4所示，雖然構(gòu)造大體上與供電端的燈座LS1類似，但無法對(duì)內(nèi)部電極2進(jìn)行供電，由燈座筒體30、夾緊環(huán)部31以及絕緣盤片32構(gòu)成，可使外部電極OE接地。
燈座筒體30為有底筒狀，包持發(fā)光管LT的非供電側(cè)端部。
夾緊環(huán)部31如圖5所示，由兩個(gè)分割的構(gòu)造所構(gòu)成，通過一對(duì)夾緊螺栓31a連結(jié)，外部電極的加強(qiáng)環(huán)部以及密封圈(未標(biāo)示)導(dǎo)電性地及機(jī)械地連接在燈座筒體30的開口部，同時(shí)在發(fā)光管LT的非供電側(cè)端部上防水、防濕地夾緊固定燈座筒體30。
絕緣盤片32配置在燈座筒體30底部的內(nèi)側(cè)，絕緣的保護(hù)使連接于發(fā)光管LT的內(nèi)部電極2的導(dǎo)入線4接地的燈座筒體30。
<第二支撐裝置SS2>第二支撐裝置SS2主要如圖4所示，通過彈力支撐供電端側(cè)的燈座LS2。第二支撐裝置SS2是由安裝/端子裝置35、板彈簧36以及臂37構(gòu)成。
安裝/端子裝置35包括安裝/端子配件35a、螺栓35b以及安裝螺栓35c。安裝/端子配件35a通過非供電端側(cè)的燈座LS2，將介質(zhì)阻擋放電燈裝置EXL的外部電極OE導(dǎo)電性地連接在接地電源端子臺(tái)的同時(shí)，由于支撐介質(zhì)阻擋放電燈裝置EXL的非供電端，板面與介質(zhì)阻擋放電燈裝置EXL大略平行地延伸。螺栓35b將板彈簧36連接在安裝/端子配件35a的一端。安裝螺栓35c將安裝/端子配件35a的另一端機(jī)械及導(dǎo)電性地安裝在未標(biāo)示的接地電源端子臺(tái)上。
板彈簧36整體呈L字形，其中間部形成彎曲的彈力施加部36a。并且，板彈簧36的一端通過臂37連接在非供電端側(cè)的燈座LS2的燈座筒體30上。同時(shí)，板彈簧36的另一端通過端子螺栓35b固定在安裝/端子配件35a上。臂37的底端焊接在燈座筒體30的前端部，其前端連接在板彈簧36上。
<介質(zhì)阻擋放電燈裝置單元EU>介質(zhì)阻擋放電燈裝置單元EU是由介質(zhì)阻擋放電燈裝置EXL與燈體CB組合而成。
燈體CB如圖6及圖7所示，沿發(fā)光管LT為細(xì)長狀，氣密容器1約一半埋設(shè)于它的下面形成剖面為半圓形的凹陷部40，同時(shí)在內(nèi)部形成中空的冷卻劑通道41。冷卻劑通道41是從配置于燈體CB的一端側(cè)的流入口41a流入，從配置于另一端側(cè)的流出口(未標(biāo)示)流出。并且，燈體CB的長度對(duì)應(yīng)于發(fā)光管LT的有效發(fā)光長度。
<動(dòng)作>介質(zhì)阻擋放電燈裝置EXL，在其上半部是埋設(shè)在介質(zhì)阻擋放電燈裝置單元EU的燈體CB的凹陷部40的情況下，由第一及第二支撐裝置SS1、SS2，通過彈力安裝在電壓側(cè)電源端子臺(tái)T與接地側(cè)電源端子臺(tái)(未標(biāo)示)上。相應(yīng)的，外部電極OE為了緊緊的夾持在燈體CB的凹陷部40的內(nèi)面與氣密容器1的外面之間，外部電極OE在整個(gè)管軸方向上均一地壓接在以氣密容器1為主的上半部的外面。即，第一和第二支撐裝置SS1、SS2在氣密容器1彎曲的情況下，通過彈力作用使氣密容器1與外部電極OE相互壓接來修正其彎曲。結(jié)果，在氣密容器1的內(nèi)部，沿管軸方向產(chǎn)生均勻的介質(zhì)阻擋放電，從介質(zhì)阻擋放電燈裝置EXL所得到的紫外線強(qiáng)度的均整度，在介質(zhì)阻擋放電燈裝置EXL的全長范圍內(nèi)得到提高。
以下，參照?qǐng)D8及圖9針對(duì)介質(zhì)阻擋放電燈裝置的其它實(shí)施例進(jìn)行說明。而且，在各圖中，與圖1至圖7相同的部分給予相同的符號(hào)而省略說明。
圖8表示本發(fā)明的介質(zhì)阻擋放電燈裝置第二實(shí)施例的示意剖視圖。本實(shí)施例為氣密容器1稍微有點(diǎn)彎曲的一較好的構(gòu)造。而且，為了容易理解，圖中將彎曲夸張地表示。
即，氣密容器1以圖中實(shí)線表示稍微作弓形彎曲的情況下，制造介質(zhì)阻擋放電燈裝置EXL，使圓弧背面位置彎曲的外側(cè)抵接于燈體CB。
因此，若將介質(zhì)阻擋放電燈裝置EXL的兩端向燈體CB壓擠安裝，氣密容器的彎曲則為彈性變形。相應(yīng)的，介質(zhì)阻擋放電燈裝置EXL的全長如圖中鎖線所示真的矯正直了時(shí)，由于外部電極壓接在氣密容器1的外面，在管軸方向的有效發(fā)光部的全長范圍內(nèi)，紫外線產(chǎn)生的均整度提高。
圖9為本發(fā)明的介質(zhì)阻擋放電燈裝置第三實(shí)施例的示意底面圖。本實(shí)施例為氣密容器1稍微有點(diǎn)彎曲的另一較好的構(gòu)造。而且，為了容易理解，圖中將彎曲夸張地表示。
即，氣密容器1以圖中實(shí)線表示稍微作弓形彎曲的狀況下，制造介質(zhì)阻擋放電燈裝置EXL，使圓弧部分橫向抵接在燈體CB上。
因此，若介質(zhì)阻擋放電燈裝置EXL的兩端向燈體CB壓擠安裝，介質(zhì)阻擋放電燈裝置EXL在其全長上如圖中鎖線所示，相對(duì)于燈體CB筆直的狀態(tài)，由于外部電極壓接在氣密容器1的外面，在管軸方向有效發(fā)光部的全長上，紫外線產(chǎn)生的均整度提高。
圖10至圖12是本發(fā)明紫外線照射裝置的一個(gè)實(shí)施例紫外線洗凈裝置，圖10為正剖視圖，圖11為仰視圖，圖12為沿圖11的XII-XII’線的剖視圖。在各圖中，與圖1至圖7相同的部分給予相同的符號(hào)而省略說明。紫外線照射裝置UVW包括紫外線照射裝置本體51、點(diǎn)燈電路52以及多個(gè)介質(zhì)阻擋放電燈裝置單元EU。
紫外線照射裝置本體51整體為箱形，內(nèi)部上下區(qū)分為紫外線照射室51a以及電源室51b。紫外線照射室51a與電源室51b，一端可通過鉸鏈51c開閉。
在紫外線照射室51a內(nèi)，并列配置有后述的多個(gè)介質(zhì)阻擋放電燈裝置單元EU。紫外線照射室51a固定地配置在工件洗凈裝置的搬運(yùn)裝置上方，同時(shí)下面為開放，對(duì)通過下面下方的工件(未標(biāo)示)照射紫外線。在圖11中，加上斜線的部位是表示紫外線有效照射區(qū)域。
電源室51b在內(nèi)部收容有點(diǎn)燈電路52以及省略圖示的控制電路，以鉸鏈51c作為旋轉(zhuǎn)中心，在圖10中可向上方轉(zhuǎn)動(dòng)。并且，51b1為電源室51b轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)把持的把手，51b2為搬運(yùn)紫外線照射裝置或電源室51b時(shí)的把手，51b3為電源配線的保護(hù)器。
點(diǎn)燈電路52收容在電源室51b內(nèi)，經(jīng)過電源配線的保護(hù)器51b3，將由電源室51b導(dǎo)入的電源進(jìn)行變換，產(chǎn)生高頻電壓，并對(duì)多個(gè)介質(zhì)阻擋放電燈裝置單元EU的個(gè)別介質(zhì)阻擋放電燈裝置供電。
多個(gè)介質(zhì)阻擋放電燈裝置單元EU在紫外線照射室51a內(nèi)以相互鄰接的狀態(tài)配置。但是，為了便于制造，以及清潔維護(hù)的需要，介質(zhì)阻擋放電燈裝置單元EU為可拆裝。
并且，為使冷卻水在燈體CB的冷卻劑通道內(nèi)流通，在流入口連接有供給冷卻水的配管，在流出口連接有供排水的配管。
圖13至圖15表示本發(fā)明的介質(zhì)阻擋放電燈照明裝置的第四實(shí)施例。圖13為部分切割的正視圖及左右側(cè)視圖。圖14為發(fā)光管的正視圖，圖15為放大部位的中央剖面正視圖。在各圖中，介質(zhì)阻擋放電燈照明裝置EU由介質(zhì)阻擋放電燈EXL以及燈體CB所構(gòu)成。介質(zhì)阻擋放電燈EXL全長為1295mm，有效發(fā)光長1130mm。
發(fā)光管LT的氣密容器1由外徑18mm、內(nèi)徑16mm的細(xì)長圓筒形中空部1a，以及在中空部1a兩端形成的密封部1b構(gòu)成。在中空部1a的一端部附近，排氣拆焊部1c從側(cè)面突出。而且，排氣拆焊部1c形成在離氣密容器1的一端40mm的位置上。即，圖13及圖15所示的排氣拆焊部1c配置在從燈體CB一端露出的位置上。排氣拆焊部1c也可配置在氣密容器1的外圍任意角度的位置。在氣密容器1的中空部1a的內(nèi)部，將作為準(zhǔn)分子生成氣體的氙氣封入。
由于排氣拆焊部1c配置在從燈體CB一端露出的位置上，在介質(zhì)阻擋放電燈EXL面向燈體CB的位置，可得到高的均整度。因此，在管軸方向上，容易得到均勻的紫外線照度。并且，無須將排氣拆焊部作為燈體CB的構(gòu)造部分。這樣，可避免燈體構(gòu)造的復(fù)雜化，維持燈體的廉價(jià)。甚至，介質(zhì)阻擋放電燈EXL設(shè)在燈體CB上時(shí)，氣密容器1的排氣拆焊部1c的方向無須限制在既定的方向。這樣，介質(zhì)阻擋放電燈EXL易于安裝在燈體CB上。
而且，本發(fā)明的第四實(shí)施例的介質(zhì)阻擋放電燈照明裝置EU如圖10至圖12所示，也可裝入紫外線照射裝置UVW而具體化。
圖16至圖18是本發(fā)明的介質(zhì)阻擋放電燈裝置的第五實(shí)施例。圖16為介質(zhì)阻擋放電燈裝置及燈體部分切割的一部分正剖視圖。圖17為介質(zhì)阻擋放電燈的第一燈座支撐裝置的正視圖及右視圖。圖18為介質(zhì)阻擋放電燈的第一及第二燈座的部分切割的一部分正剖視圖。
在各圖中，介質(zhì)阻擋放電燈裝置EU2是由介質(zhì)阻擋放電燈EXL、第一及第二燈頭B1、B2以及第一及第二燈頭支撐裝置BS1、BS2所構(gòu)成。介質(zhì)阻擋放電燈裝置EU2以接觸狀態(tài)支撐在燈體CB的下面。而且，介質(zhì)阻擋放電燈裝置EU2除去第一及第二燈頭支撐裝置BS1、BS2時(shí)的全長為1115mm，有效發(fā)光長為950mm。以下，針對(duì)各構(gòu)成要素作說明。
介質(zhì)阻擋放電燈EXL是由發(fā)光管LT以及外部電極OE所構(gòu)成。由于發(fā)光管LT以及外部電極OE的構(gòu)造實(shí)質(zhì)上與第一至第四實(shí)施例相同，省略其詳細(xì)的說明。而且，在第五實(shí)施例中，并且，電極主體部分11的橫截面開口角約220°，以高純度的鋁板彎曲成大體上為圓弧形的槽狀體。并且外部電極OE的密封圈13介于加強(qiáng)環(huán)部12與氣密容器1所面對(duì)的外面，對(duì)第一燈頭B1的內(nèi)部做防水、防濕的密封。
<第一燈頭B1>第一燈頭B1，主要如圖16及圖18所示，具有對(duì)發(fā)光管LT的內(nèi)部電極供電的功能，由燈頭筒體114、夾緊環(huán)部115、線管116、支撐臂117、絕緣體118以及安裝/端子部119所構(gòu)成。
燈頭筒體114為有底筒形，包圍發(fā)光管LT的供電側(cè)的一端部從而機(jī)械地保護(hù)該端部。并且，在底部中央設(shè)有小開口114a。夾緊環(huán)部115固定在燈頭筒體114的開口部，經(jīng)由外部電極OE的加強(qiáng)環(huán)部12以及密封圈13，夾緊發(fā)光管LT的一端部而固定在燈頭筒體114上。在圖16中，省略了夾緊環(huán)部115的圖標(biāo)。
線管116連接在一端從發(fā)光管LT導(dǎo)出的導(dǎo)入線3上，從燈頭筒體114底部的開口114a導(dǎo)出至外部，與安裝/端子部119導(dǎo)電連接。支撐臂117緊固在燈頭筒體114的開口端附近。絕緣體118機(jī)械地連接在支撐臂117和安裝/端子部119之間并使其絕緣。安裝/端子部119包括細(xì)長的導(dǎo)電板119a、端子螺栓119b以及安裝孔119c，細(xì)長的導(dǎo)電板119a的一端安裝在絕緣體118上。端子螺栓119b螺入于細(xì)長的導(dǎo)電板119a，連接線管116的另一端以及未標(biāo)示的電源側(cè)端子。安裝孔119c形成于細(xì)長導(dǎo)電板119a的另一端側(cè)，通過下述的第一燈頭支撐裝置BS1而具有對(duì)第一燈頭B1的支撐作用。
<第一燈頭支撐裝置BS1>第一燈頭支撐裝置BS1，如圖16所示，為支撐第一燈頭的裝置，由支撐臺(tái)121、絕緣套筒122以及安裝螺栓123所構(gòu)成。
支撐臺(tái)121一端做直角彎曲而形成燈體安裝部121a，在另一端形成絕緣套筒安裝部121b。另外，燈體安裝部121a固定在后述的燈體LB上，絕緣套筒安裝部121b從燈體LB的一端部豎立著。絕緣套筒122一端固定在支撐臺(tái)121的絕緣套筒安裝部121b，而向介質(zhì)阻擋放電燈EXL的管軸方向的外側(cè)突出。安裝螺栓123安裝在第一燈頭B1的安裝/端子部119上。
因此，第一燈頭支撐裝置BS1通過支撐臂117、絕緣體118、安裝螺栓123、絕緣套筒122以及支撐臺(tái)121而機(jī)械地支撐在介質(zhì)阻擋放電燈EXL的一端部上，即支撐第一燈頭B1。并且，與內(nèi)部電極2連接的線管116通過端子螺栓119b連接在未標(biāo)示的高頻電源的高壓側(cè)輸出端。
<第二燈頭B2>第二燈頭B2主要如圖18所示，構(gòu)造大略類似于供電端的燈頭B1，雖然不對(duì)內(nèi)部電極2供電，但形成外部電極OE接地，由燈頭筒體130以及夾緊環(huán)部131構(gòu)成。
燈頭筒體130由導(dǎo)電性金屬構(gòu)成，為一有底筒體，包圍發(fā)光管LT的非供電側(cè)的端部而提供機(jī)械地保護(hù)。夾緊環(huán)部131是由緊固螺栓(未標(biāo)示)緊固，將外部電極OE的加強(qiáng)環(huán)部12以及密封圈13電性及機(jī)械地連接在燈頭筒體130開口部的同時(shí)，將發(fā)光管LT的非供電側(cè)的端部防水防濕地緊固在燈頭筒體130上。在圖16中，省略了夾緊環(huán)部131的圖標(biāo)。
<第二燈頭支撐裝置BS2>第二燈頭支撐裝置BS2，如圖16所示，包括支撐臺(tái)141以及滑接機(jī)構(gòu)142，在管軸方向可移動(dòng)地支撐第二燈頭B2。并且，第二燈頭支撐裝置BS2在圖16中以剖面圖表示。
支撐臺(tái)141的底端141a固定在后述的燈體LB上，前端部從燈體LB在管軸方向延伸，在前端部的下部形成容納第二燈頭B2的燈頭容納部141b?；訖C(jī)構(gòu)142由板彈簧所構(gòu)成，底端141a固定于支撐臺(tái)141而與燈頭容納部141b協(xié)同動(dòng)作而構(gòu)成燈頭支撐部142a。并且，在上述板彈簧的前端部上形成滑接部142b?；硬?42b，滑接在第二燈頭B2的燈頭筒體130的下面，通過壓接力作用將第二燈頭B2抵接在燈體LB的下面。
因此，第二燈頭支撐體BS2的燈頭容納部141b是在管軸方向可移動(dòng)地支撐第二燈頭B2，并且，不論第二燈頭支撐體BS2有無移動(dòng)，滑接機(jī)構(gòu)142時(shí)常保持第二燈頭B2導(dǎo)電連接的狀態(tài)。甚至，滑接機(jī)構(gòu)142通過將第二燈頭B2壓在第二燈頭支撐體BS2的上面，將介質(zhì)阻擋放電燈EXL的外部電極OE抵接在燈體LB的下面。
<燈體CB>燈體CB為支撐介質(zhì)阻擋放電燈EXL的裝置，從垂直于第16圖的紙面的剖面看，下面為橫剖面半球狀的凹形，在凹形的部分，從下方以壓接介質(zhì)阻擋放電燈EXL的狀態(tài)支撐該介質(zhì)阻擋放電燈EXL。并且，燈體CB的內(nèi)部為中空，構(gòu)成冷卻劑(比如水)的流通通路。冷卻劑的流通比如說可以從燈體CB的長度方向的一端流向另一端。
進(jìn)一步說，為了在燈體CB的下面支撐介質(zhì)阻擋放電燈EXL，第一及第二燈頭支撐體BS1、BS2安裝在兩端部既定的位置。即，在圖16中燈體CB右側(cè)的一端部上面，安裝有第一燈頭支撐體BS1的支撐臺(tái)21的安裝部21a。借此，介質(zhì)阻擋放電燈EXL的一端部被燈體CB支撐。并且，在圖16的左側(cè)的另一端部的上面，安裝有第二燈頭支撐體BS2的支撐臺(tái)141的底端141a。借此，介質(zhì)阻擋放電燈EXL的另一端部在管軸方向可移動(dòng)地支撐燈體CB。
圖19為本發(fā)明的介質(zhì)阻擋放電燈裝置的第六實(shí)施例的介質(zhì)阻擋放電燈裝置及燈體的部分切割的一部分正剖視圖。在圖中，與圖16相同的部分給予相同的符號(hào)而省略說明。
在第五實(shí)施例中，介質(zhì)阻擋放電燈EXL的氣密容器1為長尺狀，為了使輸出變高，伴隨著點(diǎn)燈和滅燈，即使介質(zhì)阻擋放電燈EXL變形并產(chǎn)生熱應(yīng)力，其第二燈頭B2與第二燈頭支撐體BS2仍維持導(dǎo)電連接狀態(tài)而作相對(duì)的移動(dòng)，從而變形及熱應(yīng)力被吸收，以既定的點(diǎn)燈姿勢(shì)持續(xù)點(diǎn)燈。其結(jié)果，可抑制燈的破損以及因冷卻條件惡化而導(dǎo)致的發(fā)光效率降低。
第六實(shí)施例與第二燈頭支撐體BS2的構(gòu)造不同。即，支撐臺(tái)141的燈頭容納部141b成為環(huán)狀。并且，滑接機(jī)構(gòu)142的底端141a螺栓固定在燈頭容納部141b。而且，圖中，符號(hào)145為用來將第二燈頭支撐體BS2的支撐臺(tái)141的底端141a安裝在燈體CB上的安裝臺(tái)。
圖20至圖22表示作為本發(fā)明的紫外線照射裝置的一實(shí)施例的紫外線洗凈裝置。圖20為正剖視圖，圖21為仰視圖，圖22為沿圖21的XIII-XIII’線的剖視圖。在各圖中，與圖16至圖19相同部分給予相同符號(hào)而省略說明。紫外線照射裝置UVW2包括紫外線照射裝置本體51、點(diǎn)燈電路52以及多個(gè)介質(zhì)阻擋放電燈裝置單元EU2。紫外線照射裝置本體51及點(diǎn)燈電路52的構(gòu)造，由于與圖10至圖12的紫外線照射裝置本體51及點(diǎn)燈電路52相同，省略詳細(xì)的說明。
權(quán)利要求
1.一種介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其特征在于，包括發(fā)光管，包含由紫外線穿透性材料構(gòu)成的細(xì)長管狀氣密容器、在氣密容器內(nèi)沿其軸方向設(shè)置的內(nèi)部電極、以及封入在氣密容器內(nèi)的準(zhǔn)分子生成氣體；外部電極，設(shè)于氣密容器外面，與內(nèi)部電極協(xié)同動(dòng)作在發(fā)光管內(nèi)產(chǎn)生介質(zhì)阻擋放電；以及支撐裝置，通過彈力作用在發(fā)光管兩端的至少一端上來支撐發(fā)光管，將氣密容器及外部電極相互壓接。
2.一種紫外線照射裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1所述的介質(zhì)阻擋放電燈裝置；配置有上述介質(zhì)阻擋放電燈裝置的紫外線照射裝置本體；連接于上述介質(zhì)阻擋放電燈裝置，使上述介質(zhì)阻擋放電燈裝置點(diǎn)燈的高頻點(diǎn)燈電路。
3.一種介質(zhì)阻擋放電燈照明裝置，其特征在于，包括燈體；介質(zhì)阻擋放電燈，包含由紫外線穿透性材料構(gòu)成的細(xì)長管狀、在其一端附近有向側(cè)方突出的排氣拆焊部的氣密容器；在氣密容器內(nèi)沿其軸方向設(shè)置的內(nèi)部電極；封入在氣密容器內(nèi)的準(zhǔn)分子生成氣體；以及設(shè)于氣密容器外面，與內(nèi)部電極協(xié)同動(dòng)作而在氣密容器內(nèi)產(chǎn)生介質(zhì)阻擋放電的外部電極；其中氣密容器的排氣拆焊部從燈體的一端露出外部，同時(shí)上述介質(zhì)阻擋放電燈以與燈體間成熱傳導(dǎo)狀態(tài)的方式設(shè)置在燈體上。
4.一種紫外線照射裝置，包括如權(quán)利要求3所述的介質(zhì)阻擋放電燈照明裝置；配置上述介質(zhì)阻擋放電燈照明裝置的紫外線照射裝置本體；連接于上述介質(zhì)阻擋放電燈，點(diǎn)亮介質(zhì)阻擋放電燈的高頻點(diǎn)燈電路。
5.一種介質(zhì)阻擋放電燈裝置，包括介質(zhì)阻擋放電燈，具有由紫外線穿透性材料構(gòu)成的細(xì)長管狀的氣密容器；設(shè)在氣密容器內(nèi)的內(nèi)部電極；從氣密容器的一端向外部導(dǎo)出的供電導(dǎo)體；封入在氣密容器內(nèi)的準(zhǔn)分子生成氣體；以及設(shè)于氣密容器外面，與內(nèi)部電極協(xié)同動(dòng)作而在氣密容器內(nèi)產(chǎn)生介質(zhì)阻擋放電的外部電極；第一燈頭，包圍介質(zhì)阻擋放電燈導(dǎo)出的供電導(dǎo)體的一端部而機(jī)械地保護(hù)該端部，并與供電導(dǎo)體保持絕緣關(guān)系；第二燈頭，包圍介質(zhì)阻擋放電燈導(dǎo)出的供電導(dǎo)體的另一端部而機(jī)械地保護(hù)該端部，并具有與外部電極連接的導(dǎo)電體部分；第一燈頭支撐裝置，固定地支撐第一燈頭；第二燈頭支撐裝置，在介質(zhì)阻擋放電燈的管軸方向可移動(dòng)地支撐第二燈頭，同時(shí)與第二燈頭的導(dǎo)電體部分導(dǎo)電連接。
6.一種紫外線照射裝置，包括如權(quán)利要求5所述的介質(zhì)阻擋放電燈裝置；配置上述介質(zhì)阻擋放電燈照明裝置的紫外線照射裝置本體；連接于上述介質(zhì)阻擋放電燈，點(diǎn)亮介質(zhì)阻擋放電燈的高頻點(diǎn)燈電路。
全文摘要
本發(fā)明提供一種介質(zhì)阻擋放電燈裝置，其外部電極沿著發(fā)光管外面的管軸方向均一地與發(fā)光管緊密接觸，而沿管軸方向的準(zhǔn)分子放電分布呈均一分布。介質(zhì)阻擋放電燈裝置(EXL)包括在氣密容器(1)內(nèi)沿軸方向所設(shè)置的內(nèi)部電極(2)；包含封入在氣密容器(1)內(nèi)的準(zhǔn)分子生成氣體的發(fā)光管(LT)；設(shè)在氣密容器(1)外面，與內(nèi)部電極(2)協(xié)同動(dòng)作而在發(fā)光管(LT)內(nèi)產(chǎn)生介質(zhì)阻擋放電的外部電極(OE)；通過將彈力作用在發(fā)光管(LT)兩端的至少其中一端來支撐發(fā)光管(LT)，從而使氣密容器(1)及外部電極(OE)相互壓接的支撐裝置(SS1、SS2)。
文檔編號(hào)H01J65/00GK1531008SQ200410028438
公開日2004年9月22日 申請(qǐng)日期2004年3月11日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月12日
發(fā)明者吉川和彥, 山田哲夫, 田內(nèi)亮彥, 白石和寬, 夫, 寬, 彥 申請(qǐng)人:哈利盛東芝照明有限公司