技術(shù)特征：
技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種微納米光場實時構(gòu)建調(diào)制系統(tǒng)和方法，該系統(tǒng)包括光源、空間過濾單元、4F光學(xué)系統(tǒng)和光波調(diào)制單元，所述4F光學(xué)系統(tǒng)包括沿光路依次設(shè)置的第一透鏡(組)和第二透鏡(組)，本發(fā)明通過位相元件或位相元件組實現(xiàn)對入射波面實時的調(diào)控，通過空間過濾單元實現(xiàn)對入射光子波面、光波調(diào)制光學(xué)元器件像素選擇、像素有效區(qū)域、成像面光場空間濾波等參數(shù)調(diào)控，最終利用空間濾波/空間分時濾波和/或位相元件的相對位置變化，實現(xiàn)圖案、圖案分布區(qū)域以及圖案的空頻、取向、占空比以及相位或相移量等結(jié)構(gòu)參數(shù)的連續(xù)調(diào)制。該系統(tǒng)可靈活集成于各種光刻或顯微系統(tǒng)中，實現(xiàn)任意微納米結(jié)構(gòu)的實時寫入和可調(diào)制微納米結(jié)構(gòu)光檢測。
技術(shù)研發(fā)人員：葉燕;許宜申;魏國軍;吳尚亮;許峰川;谷雨;劉艷花;黃文彬;陳林森
受保護的技術(shù)使用者：蘇州大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.07.18
技術(shù)公布日：2017.10.03