一種柔性材料的雙面曝光裝置的制作方法

本發(fā)明涉及激光曝光技術，具體涉及一種柔性材料的雙面曝光方法及裝置。

背景技術：

目前，在激光曝光技術領域，需要進行曝光的柔性材料包括柔性玻璃，銅板等；這些柔性材料由于不具備剛性材料的結(jié)構剛性，無法按照剛性材料的曝光方式進行曝光。因此針對此類材料，現(xiàn)有技術中一般采用以下方法進行曝光處理：

（1）使用剛性邊框，將柔性材料繃緊在剛性邊框內(nèi)部，然后再進行曝光處理；

（2）強柔性材料緊貼在一塊剛性的底板上進行曝光。

上述的曝光方式能夠輔助柔性材料克服容易變形或翹曲等缺陷，使之適合在現(xiàn)有的技術條件下實施曝光操作。但是仍然存在以下缺點：

（1）曝光前需要對柔性材料進行襯底或繃框，過程比較麻煩；

（2）無法對較長的柔性材料進行連續(xù)的曝光；

（3）對于要求雙面曝光的柔性材料，實施曝光的難度更大。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種柔性材料的雙面曝光方法及裝置，相對于現(xiàn)有技術，使用該方法能夠?qū)θ嵝圆牧系碾p面進行連續(xù)曝光，提高曝光效率。

為了達到上述技術目的，本發(fā)明提供一種柔性材料的雙面曝光方法，其特征在于包含以下步驟：

（1）帶狀柔性材料繃緊在多個卷輥之間；

（2）在卷輥之間緊繃的帶狀柔性材料，其兩側(cè)面的上方均設置有曝光裝置；

（3）卷輥轉(zhuǎn)動帶動帶狀柔性材料運動，運動過程中，步驟（2）中所述的曝光裝置對帶狀柔性材料進行曝光,采用多個曝光點相連的方式來完全覆蓋帶狀柔性材料的寬度方向。

優(yōu)選的，上述曝光裝置始終與帶狀柔性材料的表面保持固定距離。

本發(fā)明還提供了一種柔性材料雙面曝光裝置，其技術方案如下：一種柔性材料雙面曝光裝置，包括曝光裝置，所述的曝光裝置由光學系統(tǒng)、掃描平臺、光源系統(tǒng)、通訊模塊、計算機、數(shù)據(jù)處理模塊組成；光學系統(tǒng)和光源系統(tǒng)安裝在掃描平臺上，所述的光學系統(tǒng)和光源系統(tǒng)多組連續(xù)安裝并且完全覆蓋掃描平臺的寬度方向；計算機與通訊模塊、掃描平臺、數(shù)據(jù)處理模塊分別相連接；所述的光源系統(tǒng)與通訊模塊相連接；所述的光學系統(tǒng)與通訊模塊相連接；所述的光學系統(tǒng)由數(shù)字微鏡裝置、成像系統(tǒng)組成；還包括卷輥、驅(qū)動電機，驅(qū)動電機安裝在卷輥上，兩個卷輥之間繃緊的帶狀柔性材料兩側(cè)面上方分別安裝一個曝光裝置；所述的成像系統(tǒng)上還安裝有一個主動聚焦模塊。

本發(fā)明的技術效果在于：由于柔性材料可以卷曲，使用卷輥將柔性材料卷取后繃緊，兩個卷輥之間繃緊的柔性材料可以提供一個穩(wěn)定的曝光平面，在這個穩(wěn)定的曝光平面的兩邊分別安置一個曝光裝置，卷輥轉(zhuǎn)動帶動柔性材料前行，柔性材料的前行過程中，曝光設備工作，可以連續(xù)不斷地對柔性材料的上下表面進行曝光操作。曝光設備的光學系統(tǒng)上安裝有一個主動聚焦模塊，可以保證曝光頭和柔性材料的表面等距，確保曝光質(zhì)量。本發(fā)明相對于現(xiàn)有技術，能夠大幅提高柔性材料的曝光效率。

附圖說明：

圖1為發(fā)明的結(jié)構示意框圖；

圖2為本發(fā)明的立體結(jié)構示意圖。

具體實施方式：

以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施方式進行詳細說明。參照附圖1和附圖2，本發(fā)明的具體實施方式如下：

（1）首選將帶狀柔性材料繃緊在卷輥100之間；

（2）將曝光裝置300分別安裝在步驟（1）中提到的帶狀柔性材料的兩側(cè)面上方。參照附圖2，曝光裝置300的掃描平臺320上安裝有多個光源系統(tǒng)330和多個光學系統(tǒng)310。這些光學系統(tǒng)310完全覆蓋了帶狀柔性材料的寬度方向。參照附圖1，曝光裝置300還包括通訊模塊340、計算機350、數(shù)據(jù)處理模塊360；計算機350與通訊模塊340、掃描平臺320、數(shù)據(jù)處理模塊360分別相連接；光源系統(tǒng)330與通訊模塊340相連接；光學系統(tǒng)310與通訊模塊340相連接；光學系統(tǒng)310由數(shù)字微鏡裝置311、成像系統(tǒng)312組成，成像系統(tǒng)312上還安裝有一個主動聚焦模塊313。主動聚焦模塊313可以確保曝光裝置300與帶狀柔性材料的表面等距；

（3）驅(qū)動電機200驅(qū)動卷輥100，卷輥100轉(zhuǎn)動帶動帶狀柔性材料向前勻速行進；計算機350還和驅(qū)動電機200相連接，此時計算機350控制掃描平臺320上的光學系統(tǒng)310工作，并同時控制驅(qū)動電機200保持合適的勻速；帶狀柔性材料在多個光學系統(tǒng)310完全覆蓋的情況下勻速前行，前行的同時完成帶狀柔性材料正反面的連續(xù)曝光。

應當理解的是，上述具體實施方式僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。所有基于本發(fā)明原理得出的實施例均在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。