技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種周邊曝光傳送機(jī)構(gòu)下垂監(jiān)控裝置及其監(jiān)控方法，在傳送機(jī)構(gòu)的兩側(cè)安裝光纖傳感器，所述光纖傳感器設(shè)置在低于傳送機(jī)構(gòu)底面7~12mm且在傳送機(jī)構(gòu)完全伸出后距離其最前端2~4.5cm的位置，所述光纖傳感器將檢測到的光感信號發(fā)送給PLC處理單元，PLC處理單元判斷傳送機(jī)構(gòu)發(fā)生下垂并控制觸摸屏進(jìn)行報警。本發(fā)明通過在曝光機(jī)的傳送機(jī)構(gòu)兩側(cè)設(shè)置光纖傳感器，當(dāng)發(fā)生下垂情況時光纖傳感器可將光線被遮擋的光感信號傳遞給PLC處理單元，PLC控制觸摸屏發(fā)出報警，故可精確了解傳送機(jī)構(gòu)的運行狀態(tài)，及時發(fā)現(xiàn)發(fā)生下垂現(xiàn)象，防止了基板破片，避免了傳送機(jī)構(gòu)下垂與基板搬入機(jī)構(gòu)相撞的可能性，無需人力觀察，節(jié)省人力物力的消耗，節(jié)約經(jīng)濟(jì)成本。
技術(shù)研發(fā)人員：王祝青
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南京華東電子信息科技股份有限公司
文檔號碼：201610925239
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.24
技術(shù)公布日：2017.02.15