光調(diào)制裝置和光學(xué)系統(tǒng)的制作方法

本發(fā)明的一個(gè)方面涉及光調(diào)制裝置和光學(xué)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

空間光調(diào)制器具有對(duì)輸入的光的振幅或相位進(jìn)行調(diào)制并輸出該調(diào)制后的光的排列有多個(gè)像素的調(diào)制面，能夠?qū)斎氲墓獍凑彰總€(gè)像素進(jìn)行振幅調(diào)制或相位調(diào)制并輸出該調(diào)制后的光。作為空間光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)和用途，已知有各種各樣的方式。例如，非專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的技術(shù)的意圖在于：使用作為空間光調(diào)制器的一種的只能進(jìn)行相位調(diào)制的空間光相位調(diào)制器(PPM：Programmable Phase Modulator)，對(duì)眼底測(cè)定時(shí)的光學(xué)系統(tǒng)的像差進(jìn)行修正。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

非專(zhuān)利文獻(xiàn)

非專(zhuān)利文獻(xiàn)1：Pedro M.Prieto,Enrique J.Fernandez,Silvestre Manzanera,Pablo Artal,"Adaptive optics with a programmable phase modulator:applications in the human eye,"Optics Express,Vol.12,No.17,pp.4059-4071(2004)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的課題

利用空間光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)μ囟ǚ轿坏闹本€偏光的光進(jìn)行振幅調(diào)制或相位調(diào)制，但存在不能對(duì)與該特定方位正交的方位的直線偏光的光進(jìn)行調(diào)制的情況。PPM只能對(duì)特定方位的直線偏光的光進(jìn)行相位調(diào)制。因此，非專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的技術(shù)利用偏振鏡只提取PPM中能夠進(jìn)行相位調(diào)制的特定方位的直線偏光的光，使該提取的直線偏光的光輸入至PPM。

這樣，在使用只能對(duì)特定方位的直線偏光的光進(jìn)行調(diào)制的空間光調(diào)制器的情況下，與該特定方位正交的方位的直線偏光的光被偏振鏡遮斷，不被利用。因此，在使用這樣的空間光調(diào)制器進(jìn)行光的調(diào)制的光調(diào)制裝置中，光利用效率(調(diào)制前的光與調(diào)制后的光的強(qiáng)度比)低。

本發(fā)明的一個(gè)方面是為了解決上述問(wèn)題而完成的發(fā)明，其目的在于：提供一種即使在使用只能對(duì)特定方位的直線偏光的光進(jìn)行調(diào)制的空間光調(diào)制器的情況下，也能夠提高光利用效率的光調(diào)制裝置。另外，本發(fā)明的一個(gè)方面的目的還在于：提供一種具有這樣的光調(diào)制裝置而能夠提高光利用效率的光學(xué)系統(tǒng)。

解決課題的技術(shù)手段

本發(fā)明的一個(gè)方面的光調(diào)制裝置具有：(1)偏光分離部，其將輸入光分離成相互正交的方位的直線偏光的光成分，并輸出第一分離光和第二分離光；(2)第一偏光面旋轉(zhuǎn)部，其使從偏光分離部輸出的第一分離光或第二分離光的偏光面旋轉(zhuǎn)，使第一分離光和第二分離光成為相互相同的方位的直線偏光；(3)反射型的空間光調(diào)制器，其具有對(duì)輸入的光的振幅或相位進(jìn)行調(diào)制并輸出該調(diào)制后的光的排列有多個(gè)像素的調(diào)制面，該調(diào)制面包括第一區(qū)域和第二區(qū)域，在利用第一偏光面旋轉(zhuǎn)部成為相互相同的方位的直線偏光的第一分離光和第二分離光中，對(duì)第一分離光在第一區(qū)域中進(jìn)行調(diào)制并輸出該調(diào)制后的第一調(diào)制光，對(duì)第二分離光在第二區(qū)域中進(jìn)行調(diào)制并輸出該調(diào)制后的第二調(diào)制光；(4)第二偏光面旋轉(zhuǎn)部，其使從空間光調(diào)制器輸出的第一調(diào)制光或第二調(diào)制光的偏光面旋轉(zhuǎn)，使第一調(diào)制光和第二調(diào)制光成為相互正交的方位的直線偏光；和(5)偏光合成部，其將利用第二偏光面旋轉(zhuǎn)部成為相互正交的方位的直線偏光的第一調(diào)制光和第二調(diào)制光進(jìn)行合成而成為輸出光。

輸入至上述結(jié)構(gòu)的光調(diào)制裝置的光利用偏光分離部被分離成相互正交的方位的直線偏光的光，成為第一分離光和第二分離光。這些第一分離光和第二分離光利用第一偏光面旋轉(zhuǎn)部成為相互相同的方位的直線偏光，向空間光調(diào)制器的調(diào)制面輸入。在空間光調(diào)制器的調(diào)制面的第一區(qū)域中對(duì)第一分離光的振幅或相位進(jìn)行調(diào)制，輸出第一調(diào)制光。在空間光調(diào)制器的調(diào)制面的第二區(qū)域中對(duì)第二分離光的振幅或相位進(jìn)行調(diào)制，輸出第二調(diào)制光。然后，從空間光調(diào)制器的調(diào)制面輸出的第一調(diào)制光和第二調(diào)制光利用第二偏光面旋轉(zhuǎn)部成為相互正交的方位的直線偏光，利用偏光合成部進(jìn)行合成而成為輸出光。

本發(fā)明的一個(gè)方面的光學(xué)系統(tǒng)具有：輸出光的光源；和輸入從光源輸出的光并進(jìn)行調(diào)制，而輸出該調(diào)制后的光并向?qū)ο笪镎丈涞纳鲜鼋Y(jié)構(gòu)的光調(diào)制裝置。在該光學(xué)系統(tǒng)中，從光源輸出的光在光調(diào)制裝置中被調(diào)制后向?qū)ο笪镎丈洹?/p>

本發(fā)明的一個(gè)方面的光學(xué)系統(tǒng)具有：輸入由對(duì)象物發(fā)生的光并進(jìn)行調(diào)制并輸出該調(diào)制后的光的上述結(jié)構(gòu)的光調(diào)制裝置；和對(duì)從光調(diào)制裝置輸出的光進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)部。在該光學(xué)系統(tǒng)中，由對(duì)象物發(fā)生的光在光調(diào)制裝置中被調(diào)制后利用檢測(cè)部進(jìn)行檢測(cè)。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，即使在使用只能對(duì)特定方位的直線偏光的光進(jìn)行調(diào)制的空間光調(diào)制器的情況下，也能夠提高光利用效率。

附圖說(shuō)明

圖1是表示第一實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1A的結(jié)構(gòu)的圖。

圖2是表示第二實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1B的結(jié)構(gòu)的圖。

圖3是表示第三實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1C的結(jié)構(gòu)的圖。

圖4是表示第四實(shí)施方式的光學(xué)系統(tǒng)2A的結(jié)構(gòu)的圖。

圖5是表示第五實(shí)施方式的光學(xué)系統(tǒng)2B的結(jié)構(gòu)的圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖，對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的方式進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。其中，在附圖的說(shuō)明中，對(duì)相同的要素標(biāo)注相同的符號(hào)，省略重復(fù)的說(shuō)明。

(第一實(shí)施方式)

圖1是表示第一實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1A的結(jié)構(gòu)的圖。第一實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1A具有空間光調(diào)制器10、控制部20、偏光分離部31、反射鏡32、第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33、偏光合成部41、反射鏡42和第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43。

空間光調(diào)制器10是反射型的，具有對(duì)輸入的光的振幅或相位進(jìn)行調(diào)制并輸出該調(diào)制后的光的排列有多個(gè)像素的調(diào)制面11?？臻g光調(diào)制器10能夠?qū)斎氲墓獍凑彰總€(gè)像素進(jìn)行振幅調(diào)制或相位調(diào)制，并輸出該調(diào)制后的光?？臻g光調(diào)制器10例如可以是使用電尋址型液晶元件的空間光調(diào)制器、使用光尋址型液晶元件的空間光調(diào)制器、可變形鏡型空間光調(diào)制器等?？臻g光調(diào)制器10可以是只能進(jìn)行振幅調(diào)制的空間光調(diào)制器，也可以是只能進(jìn)行相位調(diào)制的空間光調(diào)制器，還可以是能夠進(jìn)行振幅調(diào)制和相位調(diào)制的兩者的空間光調(diào)制器。

空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11包括第一區(qū)域11A和第二區(qū)域11B。第一區(qū)域11A和第二區(qū)域11B能夠根據(jù)由控制部20提供的驅(qū)動(dòng)信號(hào)相互獨(dú)立地對(duì)光進(jìn)行調(diào)制。第一區(qū)域11A輸入從第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33到達(dá)的第一分離光L11并進(jìn)行調(diào)制，將該調(diào)制后的第一調(diào)制光L21向偏光合成部41輸出。第二區(qū)域11B輸入從偏光分離部31到達(dá)的第二分離光L12并進(jìn)行調(diào)制，將該調(diào)制后的第二調(diào)制光L22向第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43輸出。

偏光分離部31輸入作為平行光的光Lin，將該輸入光Lin分離成相互正交的方位的直線偏光的光成分，并輸出第一分離光L11和第二分離光L12。偏光分離部31優(yōu)選為偏光分光器，在這種情況下，在輸入光Lin中，能夠使S偏光成分的光反射并成為第一分離光L11，使P偏光成分的光透過(guò)并成為第二分離光L12。反射鏡32使由偏光分離部31反射并輸出的第一分離光L11反射，向第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33輸出。

第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33輸入從反射鏡32到達(dá)的第一分離光L11，使該第一分離光L11的偏光面只旋轉(zhuǎn)90°，使第一分離光L11成為P偏光。由此，第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33能夠使第一分離光L11和第二分離光L12成為相互相同的方位的直線偏光(P偏光)。第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33優(yōu)選為1/2波長(zhǎng)板或法拉第旋轉(zhuǎn)器等。

從第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33輸出的第一分離光L11和透過(guò)偏光分離部31而輸出的第二分離光L12相互平行地傳播，向空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11輸入。輸入至空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11的第一分離光L11和第二分離光L12均為P偏光?？臻g光調(diào)制器10以能夠?qū)@些P偏光的光進(jìn)行調(diào)制的方式配置。從調(diào)制面11的第一區(qū)域11A輸出的第一調(diào)制光L21和從調(diào)制面11的第二區(qū)域11B輸出的第二調(diào)制光L22相互平行地傳播。

第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43輸入從調(diào)制面11的第二區(qū)域11B輸出的第二調(diào)制光L22，使該第二調(diào)制光L22的偏光面只旋轉(zhuǎn)90°，使第二調(diào)制光L22成為S偏光。由此，第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43能夠使第一調(diào)制光L21和第二調(diào)制光L22成為相互正交的方位的直線偏光。第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43優(yōu)選為將1/2波長(zhǎng)板、法拉第旋轉(zhuǎn)器、棱鏡、多個(gè)反射鏡組合而成的光學(xué)系統(tǒng)等。反射鏡42使從第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43輸出的第二調(diào)制光L22反射，向偏光合成部41輸出。

偏光合成部41輸入從調(diào)制面11的第一區(qū)域11A到達(dá)的第一調(diào)制光L21，并且輸入從反射鏡42到達(dá)的第二調(diào)制光L22，對(duì)這些作為相互正交的方位的直線偏光的第一調(diào)制光L21和第二調(diào)制光L22進(jìn)行合成而輸出輸出光Lout。偏光合成部41優(yōu)選為偏光分光器，在這種情況下，能夠使P偏光的第一調(diào)制光L21透過(guò)，并且能夠使S偏光的第二調(diào)制光L22反射，對(duì)兩種光進(jìn)行合成。

該光調(diào)制裝置1A按照以下的方式動(dòng)作。輸入至光調(diào)制裝置1A的光Lin利用偏光分離部31分離成相互正交的方位的直線偏光的光成分，作為第一分離光L11(S偏光)和第二分離光L12(P偏光)而輸出。

從偏光分離部31輸出的第一分離光L11(S偏光)利用反射鏡32反射，利用第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33將偏光面只旋轉(zhuǎn)90°而成為P偏光。從第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33輸出的第一分離光L11(P偏光)輸入至空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11的第一區(qū)域11A，在該第一區(qū)域11A中對(duì)振幅或相位進(jìn)行調(diào)制，作為第一調(diào)制光L21輸出。從偏光分離部31輸出的第二分離光L12(P偏光)輸入至空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11的第二區(qū)域11B，在該第二區(qū)域11B中對(duì)振幅或相位進(jìn)行調(diào)制，作為第二調(diào)制光L22輸出。

從調(diào)制面11的第二區(qū)域11B輸出的第二調(diào)制光L22，利用第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43將偏光面只旋轉(zhuǎn)90°而成為S偏光。利用偏光合成部41對(duì)從調(diào)制面11的第一區(qū)域11A輸出的第一調(diào)制光L21(P偏光)和從第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43輸出且利用反射鏡42反射的第二調(diào)制光L22(S偏光)進(jìn)行合成。其合成的光Lout從光調(diào)制裝置1A輸出。

這樣，在光調(diào)制裝置1A中，輸入光Lin利用偏光分離部31被分離成相互正交的方位的直線偏光的光，成為第一分離光L11和第二分離光L12。這些第一分離光L11和第二分離光L12利用第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33成為相互相同的方位的直線偏光，輸入至空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11，對(duì)振幅或相位進(jìn)行調(diào)制。然后，從空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11輸出的第一調(diào)制光L21和第二調(diào)制光L22利用第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43成為相互正交的方位的直線偏光，利用偏光合成部41進(jìn)行合成，成為輸出光Lout。

因此，即使空間光調(diào)制器10只能對(duì)特定方位的直線偏光的光進(jìn)行調(diào)制，該光調(diào)制裝置1A的光利用效率也高。另外，該光調(diào)制裝置1A能夠在空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11的第一區(qū)域11A和第二區(qū)域11B中分別針對(duì)第一分離光L11和第二分離光L12相互獨(dú)立地對(duì)振幅或相位進(jìn)行調(diào)制，因此針對(duì)輸入光Lin不僅能夠?qū)φ穹蛳辔贿M(jìn)行調(diào)制，而且也能夠?qū)ζ鉅顟B(tài)進(jìn)行調(diào)制，從而成為輸出光Lout。

另外，光調(diào)制裝置1A還可以具有使輸出光Lout的偏光面旋轉(zhuǎn)的第三偏光面旋轉(zhuǎn)部(未圖示)。輸出光Lout的偏光面有時(shí)相對(duì)于輸入光Lin的偏光面傾斜90度，因此能夠利用第三偏光面旋轉(zhuǎn)部使輸出光Lout的偏光面的傾斜度與輸入光Lin的偏光面的傾斜度一致。也可以利用第三偏光面旋轉(zhuǎn)部使輸出光Lout的偏光面的傾斜度成為所希望的傾斜度。

接著，對(duì)控制部20進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明?？刂撇?0可以是在空間光調(diào)制器10中專(zhuān)用的裝置，也可以由計(jì)算機(jī)等通用的裝置構(gòu)成。另外，控制部20也可以分成專(zhuān)用裝置和通用裝置而構(gòu)成。控制部20將用于驅(qū)動(dòng)空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11的多個(gè)像素各自的振幅調(diào)制或相位調(diào)制的驅(qū)動(dòng)信號(hào)提供給空間光調(diào)制器10。控制部20以能夠分別在空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11的第一區(qū)域11A和第二區(qū)域11B中相互獨(dú)立地對(duì)光進(jìn)行調(diào)制的方式將驅(qū)動(dòng)信號(hào)提供給空間光調(diào)制器10。

控制部20提供給空間光調(diào)制器10的驅(qū)動(dòng)信號(hào)根據(jù)空間光調(diào)制器10所顯示的計(jì)算機(jī)全息圖而指示調(diào)制面11的多個(gè)像素各自的振幅或相位的調(diào)制量?？刂撇?0具有：輸入來(lái)自外部的信號(hào)的鍵盤(pán)等的外部輸入部；進(jìn)行計(jì)算機(jī)全息圖的計(jì)算等的計(jì)算部；存儲(chǔ)計(jì)算機(jī)全息圖等的存儲(chǔ)部；根據(jù)在外部輸入部或內(nèi)部生成的信號(hào)等的輸入對(duì)存儲(chǔ)部所存儲(chǔ)的計(jì)算機(jī)全息圖進(jìn)行選擇的選擇部；和根據(jù)由選擇部選擇的計(jì)算機(jī)全息圖生成驅(qū)動(dòng)信號(hào)并將該驅(qū)動(dòng)信號(hào)提供給空間光調(diào)制器10的驅(qū)動(dòng)部。

在相位調(diào)制型的空間光調(diào)制器10中實(shí)際顯示的計(jì)算機(jī)全息圖優(yōu)選是：將空間光調(diào)制器10中應(yīng)該顯示的表示所希望的相位調(diào)制分布的所希望計(jì)算機(jī)全息圖、用于對(duì)在光調(diào)制裝置1A的內(nèi)部或外部生成的光的波面的相位失真進(jìn)行修正的修正用計(jì)算機(jī)全息圖、和表示具有與衍射效率分布相對(duì)應(yīng)的強(qiáng)度調(diào)制分布的閃耀光柵圖案的強(qiáng)度調(diào)制用計(jì)算機(jī)全息圖，按照每個(gè)像素進(jìn)行相加而成的全息圖。

在控制部20中生成驅(qū)動(dòng)信號(hào)時(shí)，優(yōu)選預(yù)先準(zhǔn)備存儲(chǔ)了各像素中的調(diào)制量(相位值)與驅(qū)動(dòng)信號(hào)值的關(guān)系的查找表，參照該查找表求出與調(diào)制量相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)值。

優(yōu)選控制部20預(yù)先保持存儲(chǔ)了上述的修正用計(jì)算機(jī)全息圖與溫度的關(guān)系的溫度信息表，參照該溫度信息表求出與溫度相對(duì)應(yīng)的修正用計(jì)算機(jī)全息圖。優(yōu)選在存儲(chǔ)修正用計(jì)算機(jī)全息圖時(shí)，將修正用計(jì)算機(jī)全息圖進(jìn)行數(shù)據(jù)壓縮而存儲(chǔ)。在這種情況下，在求出數(shù)據(jù)壓縮后的修正用計(jì)算機(jī)全息圖之后，需要對(duì)其進(jìn)行數(shù)據(jù)解壓的處理。

控制部20存儲(chǔ)計(jì)算機(jī)全息圖時(shí)，需要具有與其數(shù)據(jù)量相對(duì)應(yīng)的足夠容量的存儲(chǔ)部。例如，計(jì)算機(jī)全息圖為SVGA分辨率(800像素×600像素)的8比特?cái)?shù)據(jù)時(shí)，在不進(jìn)行數(shù)據(jù)壓縮的情況下，1張計(jì)算機(jī)全息圖的數(shù)據(jù)量就是480千字節(jié)(＝800×600×8bit)。

控制部20在空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11的第一區(qū)域11A和第二區(qū)域11B各自的相位調(diào)制中，除了提供用于對(duì)因從偏光分離部31經(jīng)空間光調(diào)制器10到達(dá)偏光合成部41的2個(gè)光路之間的光程差而產(chǎn)生的相位差進(jìn)行修正的相位差以外，還提供附加的相位差，由此能夠?qū)敵龉釲out的偏光狀態(tài)進(jìn)行設(shè)定。通過(guò)使附加的相位差成為0或π，能夠使輸出光Lout成為直線偏光。通過(guò)使附加的相位差成為π/2或3π/2，能夠使輸出光Lout成為圓偏光。另外，通過(guò)使附加的相位差成為其他的值，能夠使輸出光Lout成為橢圓偏光。

此時(shí)(特別是在使輸出光Lout成為直線偏光的情況下)，在空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11的第一區(qū)域11A或第二區(qū)域11B中不進(jìn)行振幅調(diào)制時(shí)，輸出光Lout表示與輸入光Lin的直線偏光的偏光角度α相對(duì)應(yīng)的強(qiáng)度的變動(dòng)。因此，希望對(duì)輸出光Lout的所希望強(qiáng)度I進(jìn)行下述式的振幅的修正。A₁為第一區(qū)域11A中的修正后的光的振幅，A₂為第二區(qū)域11B中的修正后的光的振幅。

[數(shù)1]

如上所述，本實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1A，即使空間光調(diào)制器10只能對(duì)特定方位的直線偏光的光進(jìn)行調(diào)制，光利用效率也高。另外，該光調(diào)制裝置1A，光相對(duì)于空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11的入射出射不是垂直的而是傾斜的，因此即使從該點(diǎn)考慮，光利用效率也高。

本實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1A不僅能夠針對(duì)輸入光Lin對(duì)振幅或相位進(jìn)行調(diào)制，而且也能夠?qū)ζ鉅顟B(tài)進(jìn)行調(diào)制而成為輸出光Lout。另外，該光調(diào)制裝置1A也能夠?qū)﹄S機(jī)偏光等進(jìn)行調(diào)制。

本實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1A通過(guò)使用反射型的空間光調(diào)制器10，能夠?qū)⑵夥蛛x部31、反射鏡32、第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33、偏光合成部41、反射鏡42和第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43相對(duì)于空間光調(diào)制器10配置于一側(cè)，因此能夠?qū)崿F(xiàn)小型化、低成本化。另外，該光調(diào)制裝置1A將1個(gè)空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11劃分為第一區(qū)域11A和第二區(qū)域11B并在各區(qū)域中對(duì)光進(jìn)行調(diào)制，因此即使從該點(diǎn)考慮，也能夠?qū)崿F(xiàn)小型化、低成本化。今后，即使進(jìn)行空間光調(diào)制器的高像素化、大型化，也能夠抑制光調(diào)制裝置的大型化。

本實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1A不需要具有機(jī)械式的可動(dòng)部，對(duì)振動(dòng)等是穩(wěn)定的。

(第二實(shí)施方式)

圖2是表示第二實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1B的結(jié)構(gòu)的圖。第二實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1B除了具有第一實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1A的結(jié)構(gòu)(圖1)以外，還具有光輸入輸出部50。光輸入輸出部50具有第一反射面51和第二反射面52。第一反射面51使從外部輸入的光Lin向偏光分離部31反射。第二反射面52使來(lái)自偏光合成部41的光Lout反射并向外部輸出。來(lái)自第二反射面52的輸出光Lout的輸出方向與向第一反射面51的輸入光Lin的輸入方向相同。光輸入輸出部50例如由棱鏡或多個(gè)反射鏡構(gòu)成。

第二實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1B與第一實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1A同樣動(dòng)作，獲得同樣的效果，除此之外，也獲得如下所述的效果。在第二實(shí)施方式中，來(lái)自第二反射面52的輸出光Lout的輸出方向與向第一反射面51的輸入光Lin的輸入方向相互平行，由此包含光調(diào)制裝置1B的系統(tǒng)的構(gòu)建變得容易。另外，通過(guò)使來(lái)自第二反射面52的輸出光Lout的主光線與向第一反射面51的輸入光Lin的主光線處于同一直線上，包含光調(diào)制裝置1B的系統(tǒng)的構(gòu)建變得更加容易。

(第三實(shí)施方式)

圖3是表示第三實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1C的結(jié)構(gòu)的圖。第三實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1C與第一實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1A的結(jié)構(gòu)(圖1)相比時(shí)，在分別設(shè)置第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33和第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43的位置的方面不同，另外，在以能夠?qū)ψ鳛镾偏光的第一分離光L11和第二分離光L12進(jìn)行調(diào)制的方式配置空間光調(diào)制器10的方面不同。

第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33設(shè)置在第二分離光L12的光路上，使該第二分離光L12的偏光面只旋轉(zhuǎn)90°。由此，第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33能夠使第一分離光L11和第二分離光L12成為相互相同的方位的直線偏光(S偏光)。

第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43設(shè)置在第一調(diào)制光L21的光路上，使該第一調(diào)制光L21的偏光面只旋轉(zhuǎn)90°。由此，第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43能夠使第一調(diào)制光L21和第二調(diào)制光L22成為相互正交的方位的直線偏光。

該光調(diào)制裝置1C按照以下的方式動(dòng)作。輸入至光調(diào)制裝置1C的光Lin利用偏光分離部31被分離成相互正交的方位的直線偏光的光成分，作為第一分離光L11(S偏光)和第二分離光L12(P偏光)而輸出。

從偏光分離部31輸出的第一分離光L11(S偏光)利用反射鏡32反射，向空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11的第一區(qū)域11A輸入，在該第一區(qū)域11A中對(duì)振幅或相位進(jìn)行調(diào)制，作為第一調(diào)制光L21輸出。從偏光分離部31輸出的第二分離光L12(P偏光)，利用第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33將偏光面只旋轉(zhuǎn)90°并成為S偏光。從第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33輸出的第二分離光L12(S偏光)向空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11的第二區(qū)域11B輸入，在該第二區(qū)域11B中對(duì)振幅或相位進(jìn)行調(diào)制，作為第二調(diào)制光L22輸出。

從調(diào)制面11的第一區(qū)域11A輸出的第一調(diào)制光L21，利用第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43將偏光面只旋轉(zhuǎn)90°并成為P偏光。利用偏光合成部41對(duì)從第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43輸出的第一調(diào)制光L21(P偏光)和從調(diào)制面11的第二區(qū)域11B輸出且利用反射鏡42反射的第二調(diào)制光L22(S偏光)進(jìn)行合成。其合成的光Lout從光調(diào)制裝置1C輸出。

第三實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1C獲得與第一實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1A同樣的效果。在第三實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1C的結(jié)構(gòu)中，也可以與第二實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1B同樣設(shè)置光輸入輸出部50。

(第四實(shí)施方式)

圖4是表示第四實(shí)施方式的光學(xué)系統(tǒng)2A的結(jié)構(gòu)的圖。第四實(shí)施方式的光學(xué)系統(tǒng)2A向?qū)ο笪?照射由光調(diào)制裝置1調(diào)制的光。其中，光調(diào)制裝置1可以是第一～第三實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1A～1C中的任一種。向?qū)ο笪?的光照射可以只是照射，也可以是對(duì)象物9的光加工或激發(fā)。

光學(xué)系統(tǒng)2A除了具有光調(diào)制裝置1以外，還具有光源60、透鏡61、空間濾波器62、透鏡63、開(kāi)口64、光源70、透鏡71、分光器72、分光器73、開(kāi)口74、透鏡75、開(kāi)口76、透鏡77、檢測(cè)部78和臺(tái)90。

光源60輸出應(yīng)該向?qū)ο笪?照射的光，優(yōu)選為激光光源。透鏡61、63輸入從光源60輸出的光，擴(kuò)大其光束直徑，輸出平行光。設(shè)置于透鏡61與透鏡63之間的空間濾波器62對(duì)光的光束剖面中的強(qiáng)度分布進(jìn)行調(diào)整，例如使包含光軸的規(guī)定的剖面區(qū)域中的光強(qiáng)度均勻化。開(kāi)口64輸入從透鏡63輸出的光，選擇性地輸出該光的光束剖面中規(guī)定的剖面區(qū)域的光。開(kāi)口64的目的例如在于：用于匹配光軸或切出區(qū)域的控制(利用于使光束的使用口徑與光學(xué)系統(tǒng)匹配時(shí)等)、光束形狀的變更(不限于圓形，可變更為矩形等的任意形狀)、或者預(yù)先限制強(qiáng)度分布。

光調(diào)制裝置1輸入從開(kāi)口64輸出的光并進(jìn)行調(diào)制，輸出該調(diào)制后的光。分光器73使由光調(diào)制裝置1調(diào)制并輸出的光向開(kāi)口74透過(guò)，使從光源70輸出并到達(dá)的光向開(kāi)口74反射。開(kāi)口74輸入從分光器73到達(dá)的光，選擇性地輸出該光的光束剖面中規(guī)定的剖面區(qū)域的光，具有與開(kāi)口64同樣的作用。透鏡75將從開(kāi)口74輸出的光導(dǎo)向?qū)ο笪?。透鏡75可以使從開(kāi)口74輸出的光在對(duì)象物9的表面或內(nèi)部聚光，也可以使光調(diào)制裝置1的空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11在對(duì)象物9的表面或內(nèi)部成像。

為了觀察對(duì)象物9，光源70輸出應(yīng)該向?qū)ο笪?照射的光。光源70可以是激光光源等的單色光源，也可以是白色光源。透鏡71使從光源70輸出的光成為平行光。分光器72使從透鏡71到達(dá)的光的一部分向分光器73透過(guò)，使從分光器73到達(dá)的光的一部分向開(kāi)口76反射。

開(kāi)口76輸入從分光器72到達(dá)的光，選擇性地輸出該光的光束剖面中規(guī)定的剖面區(qū)域的光，具有與開(kāi)口64同樣的作用。透鏡77將從開(kāi)口76輸出的光導(dǎo)向檢測(cè)部78。透鏡77可以使從開(kāi)口76輸出的光在檢測(cè)部78的受光面聚光，也可以使對(duì)象物9的光照射面在檢測(cè)部78的受光面成像。檢測(cè)部78接收從透鏡77到達(dá)的光并對(duì)其進(jìn)行檢測(cè)。檢測(cè)部78可以對(duì)受光強(qiáng)度進(jìn)行檢測(cè)，也可以對(duì)一維或二維的光強(qiáng)度分布進(jìn)行檢測(cè)。

臺(tái)90保持對(duì)象物9。優(yōu)選臺(tái)90能夠?qū)?duì)象物9的位置或方位進(jìn)行調(diào)整，優(yōu)選能夠?qū)軸、y軸、z軸、θ軸、α軸和β軸中的任一個(gè)軸以上進(jìn)行調(diào)整。位置或方位的調(diào)整可以利用電動(dòng)進(jìn)行，也可以利用手動(dòng)進(jìn)行。

該光學(xué)系統(tǒng)2A按照以下的方式動(dòng)作。從光源60輸出的光利用透鏡61、63擴(kuò)大光束直徑，成為平行光，并且利用空間濾波器62對(duì)光束剖面中的強(qiáng)度分布進(jìn)行調(diào)整，利用開(kāi)口64選擇光束剖面中規(guī)定的剖面區(qū)域，之后向光調(diào)制裝置1輸入。由光調(diào)制裝置1調(diào)制并輸出的光透過(guò)分光器73，經(jīng)開(kāi)口74和透鏡75，在由臺(tái)90保持的對(duì)象物9上聚光或成像。

從光源70輸出的觀察用的光利用透鏡71成為平行光，透過(guò)分光器72，利用分光器73反射，經(jīng)開(kāi)口74和透鏡75，向由臺(tái)90保持的對(duì)象物9照射。因向?qū)ο笪?照射該觀察用的光而由對(duì)象物9發(fā)生的光經(jīng)透鏡75和開(kāi)口74，利用分光器73反射，再利用分光器72反射，經(jīng)開(kāi)口76和透鏡77，由檢測(cè)部78接收。利用該檢測(cè)部78對(duì)因向?qū)ο笪?照射觀察用的光而由對(duì)象物9發(fā)生的光的強(qiáng)度進(jìn)行檢測(cè)，或者，對(duì)由對(duì)象物9發(fā)生的光的強(qiáng)度分布進(jìn)行檢測(cè)。

另外，在本實(shí)施方式中，從光源60輸出的光的波長(zhǎng)由向?qū)ο笪?的光照射的目的決定，此外希望能夠在光調(diào)制裝置1的空間光調(diào)制器10中對(duì)振幅或相位進(jìn)行充分地調(diào)制?？臻g光調(diào)制器10是相位調(diào)制型時(shí)，從光源60輸出的光的波長(zhǎng)優(yōu)選能夠確保空間光調(diào)制器10的相位調(diào)制寬度在π[rad]以上。

透鏡61、63、71、75、77各自可以是1塊透鏡，也可以是包含多塊透鏡的透鏡組。

優(yōu)選能夠?qū)﹂_(kāi)口64、74、76各自的設(shè)置位置進(jìn)行調(diào)整，另外，也優(yōu)選能夠?qū)﹂_(kāi)口區(qū)域的大小或形狀進(jìn)行調(diào)整。開(kāi)口可以是傅立葉掩模，也可以是保持透過(guò)率分布那樣的強(qiáng)度掩模。也可以在光調(diào)制裝置1內(nèi)的光路上設(shè)置開(kāi)口。

向?qū)ο笪?照射從光源70輸出的光時(shí)，可以根據(jù)用途或?qū)ο笪?適當(dāng)選擇導(dǎo)入位置或照明方法(柯拉照明、臨界照明等)。可以在光調(diào)制裝置1內(nèi)的光路上設(shè)置用于導(dǎo)入、導(dǎo)出觀察用的光的分光器。也可以設(shè)置透過(guò)型的觀察用光源。

(第五實(shí)施方式)

圖5是表示第五實(shí)施方式的光學(xué)系統(tǒng)2B的結(jié)構(gòu)的圖。第五實(shí)施方式的光學(xué)系統(tǒng)2B利用光調(diào)制裝置1對(duì)由對(duì)象物9發(fā)生的光進(jìn)行調(diào)制后進(jìn)行檢測(cè)。其中，光調(diào)制裝置1可以是第一～第三實(shí)施方式的光調(diào)制裝置1A～1C中的任一種。由對(duì)象物9發(fā)生的光可以是因向?qū)ο笪?照射光而由對(duì)象物9發(fā)生的光(例如，利用透過(guò)光、反射光、散射光、熒光、非線形光學(xué)現(xiàn)象的發(fā)光)，也可以是與光照射沒(méi)有關(guān)系的由對(duì)象物9發(fā)生的光(例如化學(xué)發(fā)光)。以下，針對(duì)利用光調(diào)制裝置1對(duì)來(lái)自對(duì)象物9的反射光進(jìn)行調(diào)制后進(jìn)行檢測(cè)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。

光學(xué)系統(tǒng)2B除了具有光調(diào)制裝置1以外，還具有光源70、透鏡71、分光器73、開(kāi)口74、透鏡75、開(kāi)口76、透鏡77、檢測(cè)部78和臺(tái)90。

光源70輸出應(yīng)該向?qū)ο笪?照射的光。光源70可以是激光光源等的單色光源，也可以是白色光源。透鏡71使從光源70輸出的光成為平行光。分光器73使從透鏡71到達(dá)的光的一部分向開(kāi)口74反射，使從開(kāi)口74到達(dá)的光的一部分向光調(diào)制裝置1透過(guò)。開(kāi)口74輸入從分光器73到達(dá)的光，選擇性地輸出該光的光束剖面中規(guī)定的剖面區(qū)域的光。開(kāi)口74的目的例如在于：用于匹配光軸或切出區(qū)域的控制(利用于使光束的使用口徑與光學(xué)系統(tǒng)匹配時(shí)等)、光束形狀的變更(不限于圓形，可變更為矩形等的任意形狀)、或者預(yù)先限制強(qiáng)度分布。透鏡75將從開(kāi)口74輸出的光導(dǎo)向?qū)ο笪?。

光調(diào)制裝置1輸入由對(duì)象物9發(fā)生并經(jīng)透鏡75、開(kāi)口74和分光器73而到達(dá)的光，進(jìn)行調(diào)制，輸出該調(diào)制后的光。開(kāi)口76輸入由光調(diào)制裝置1調(diào)制并輸出的光，選擇性地輸出該光的光束剖面中規(guī)定的剖面區(qū)域的光，具有與開(kāi)口74同樣的作用。透鏡77將從開(kāi)口76輸出的光導(dǎo)向檢測(cè)部78。透鏡77可以使從開(kāi)口76輸出的光在檢測(cè)部78的受光面聚光，也可以使對(duì)象物9的光照射面在檢測(cè)部78的受光面成像。檢測(cè)部78接收從透鏡77到達(dá)的光并進(jìn)行檢測(cè)。檢測(cè)部78可以對(duì)受光強(qiáng)度進(jìn)行檢測(cè)，也可以對(duì)一維或二維的光強(qiáng)度分布進(jìn)行檢測(cè)。

該光學(xué)系統(tǒng)2B按照以下的方式動(dòng)作。從光源70輸出的光利用透鏡71成為平行光，利用分光器73反射，經(jīng)開(kāi)口74和透鏡75，向由臺(tái)90保持的對(duì)象物9照射。因向?qū)ο笪?照射該光而由對(duì)象物9發(fā)生的光經(jīng)透鏡75和開(kāi)口74，透過(guò)分光器73，向光調(diào)制裝置1輸入。由光調(diào)制裝置1調(diào)制并輸出的光經(jīng)開(kāi)口76和透鏡77，由檢測(cè)部78接收。利用該檢測(cè)部78對(duì)因向?qū)ο笪?照射從光源70輸出的光而由對(duì)象物9發(fā)生的光的強(qiáng)度進(jìn)行檢測(cè)，或者，對(duì)由對(duì)象物9發(fā)生的光的強(qiáng)度分布進(jìn)行檢測(cè)。

另外，在本實(shí)施方式中，從光源70輸出的光的波長(zhǎng)由向?qū)ο笪?的光照射的目的而決定，此外希望能夠在光調(diào)制裝置1的空間光調(diào)制器10中對(duì)振幅或相位進(jìn)行充分地調(diào)制。空間光調(diào)制器10是相位調(diào)制型時(shí)，從光源70輸出的光的波長(zhǎng)優(yōu)選能夠確?？臻g光調(diào)制器10的相位調(diào)制寬度在π[rad]以上。

透鏡71、75、77各自可以是1塊透鏡，也可以是包含多塊透鏡的透鏡系統(tǒng)。

優(yōu)選能夠?qū)﹂_(kāi)口74、76各自的設(shè)置位置進(jìn)行調(diào)整，另外，也優(yōu)選能夠?qū)﹂_(kāi)口區(qū)域的大小或形狀進(jìn)行調(diào)整。開(kāi)口可以是傅立葉掩模，也可以是保持透過(guò)率分布那樣的強(qiáng)度掩模?？梢栽诠庹{(diào)制裝置1內(nèi)的光路上設(shè)置開(kāi)口。

向?qū)ο笪?照射從光源70輸出的光時(shí)，可以根據(jù)用途或?qū)ο笪?適當(dāng)選擇導(dǎo)入位置或照明方法(柯拉照明、臨界照明等)?？梢栽诠庹{(diào)制裝置1內(nèi)的光路上設(shè)置用于導(dǎo)入、導(dǎo)出光的分光器。也可以設(shè)置透過(guò)型的觀察用光源。

(變形例)

本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施方式，能夠有各種變形。

在上述實(shí)施方式中，第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33使第一分離光L11和第二分離光L12中任一方的偏光面只旋轉(zhuǎn)90°，第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43使第一調(diào)制光L21和第二調(diào)制光L22中任一方的偏光面只旋轉(zhuǎn)90°。但是，第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33也可以使第一分離光L11和第二分離光L12的兩者的偏光面旋轉(zhuǎn)，使第一分離光L11和第二分離光L12成為相互相同的方位的直線偏光。另外，第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43也可以使第一調(diào)制光L21和第二調(diào)制光L22的兩者的偏光面旋轉(zhuǎn)，使第一調(diào)制光L21和第二調(diào)制光L22成為相互正交的方位的直線偏光。

第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33也可以配置于空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11與偏光分離部31之間的光路上的任意位置。第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33可以設(shè)置在空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11上，也可以設(shè)置在反射鏡32的反射面上，還可以設(shè)置在偏光分離部31的出射面上。

第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43也可以配置于空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11與偏光合成部41之間的光路上的任意位置。第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43可以設(shè)置在空間光調(diào)制器10的調(diào)制面11上，也可以設(shè)置在反射鏡42的反射面上，還可以設(shè)置在偏光合成部41的入射面上。

偏光分離部31和偏光合成部41各自并不限定于偏光分光器，也可以是能夠進(jìn)行偏光分離、偏光合成的其它的光學(xué)元件。第一偏光面旋轉(zhuǎn)部33和第二偏光面旋轉(zhuǎn)部43各自并不限定于1/2波長(zhǎng)板、法拉第旋轉(zhuǎn)器，也可以是能夠使光的偏光面旋轉(zhuǎn)的其它的光學(xué)元件。

在光源60與空間光調(diào)制器10之間的光路、空間光調(diào)制器10與對(duì)象物9之間的光路、或者空間光調(diào)制器10與檢測(cè)部78之間的光路等中，也可以插入濾波器、分色鏡、擴(kuò)大縮小光學(xué)系統(tǒng)等的一般性的光學(xué)部件。

使用從光源70輸出的光進(jìn)行對(duì)象物9的觀察的觀察系統(tǒng)希望為成像系統(tǒng)，也可以為包含照相機(jī)透鏡、顯微鏡或望遠(yuǎn)鏡的成像系統(tǒng)。由觀察系統(tǒng)取得的數(shù)據(jù)可以為透過(guò)圖像、透過(guò)光強(qiáng)度、熒光圖像、熒光強(qiáng)度、發(fā)光圖像、發(fā)光強(qiáng)度、散射圖像、散射強(qiáng)度等任一個(gè)?？梢愿鶕?jù)對(duì)象物9選擇進(jìn)行觀察的光的波長(zhǎng)。另外，可以安裝能夠?qū)@些觀察系統(tǒng)的位置(也可以按各要素)進(jìn)行變更那樣的機(jī)構(gòu)，也可以利用來(lái)自外部的信號(hào)或反饋信號(hào)等進(jìn)行控制。

在空間光調(diào)制器10中顯示表示閃耀光柵圖案的強(qiáng)度調(diào)制用計(jì)算機(jī)全息圖的情況下，不僅向?qū)ο笪?照射利用該閃耀光柵圖案進(jìn)行強(qiáng)度調(diào)制的特定次數(shù)的衍射光，而且也發(fā)生特定次數(shù)以外的次數(shù)的衍射光(包括0次光。)。特定次數(shù)以外的次數(shù)的衍射光是不需要的光，因此優(yōu)選不向?qū)ο笪?照射該不需要的光，或者，優(yōu)選即使向?qū)ο笪?照射該不需要的光也不會(huì)產(chǎn)生實(shí)質(zhì)損害。

在不向?qū)ο笪?照射不需要的光時(shí)，可以利用透鏡將由空間光調(diào)制器10調(diào)制的光聚光，在該透鏡的聚光點(diǎn)的附近配置開(kāi)口或刀口等，從而遮斷不需要的光，或者，也可以利用設(shè)置于空間光調(diào)制器10的后段的4f光學(xué)系統(tǒng)對(duì)特定次數(shù)的光選擇性地進(jìn)行準(zhǔn)直。為了即使向?qū)ο笪?照射不需要的光也不會(huì)產(chǎn)生實(shí)質(zhì)損害，可以使向?qū)ο笪?照射的不需要的光的照射分散，使不需要的光的能量密度變小。

上述實(shí)施方式的光調(diào)制裝置構(gòu)成為具有：(1)偏光分離部，其將輸入光分離成相互正交的方位的直線偏光的光，并輸出第一分離光和第二分離光；(2)第一偏光面旋轉(zhuǎn)部，其使從偏光分離部輸出的第一分離光或第二分離光的偏光面旋轉(zhuǎn)，使第一分離光和第二分離光成為相互相同的方位的直線偏光；(3)反射型的空間光調(diào)制器，其具有對(duì)輸入的光的振幅或相位進(jìn)行調(diào)制并輸出該調(diào)制后的光的排列有多個(gè)像素的調(diào)制面，該調(diào)制面包括第一區(qū)域和第二區(qū)域，在利用第一偏光面旋轉(zhuǎn)部成為相互相同的方位的直線偏光的第一分離光和第二分離光中，對(duì)第一分離光在第一區(qū)域中進(jìn)行調(diào)制并輸出該調(diào)制后的第一調(diào)制光，對(duì)第二分離光在第二區(qū)域中進(jìn)行調(diào)制并輸出該調(diào)制后的第二調(diào)制光；(4)第二偏光面旋轉(zhuǎn)部，其使從空間光調(diào)制器輸出的第一調(diào)制光或第二調(diào)制光的偏光面旋轉(zhuǎn)，使第一調(diào)制光和第二調(diào)制光成為相互正交的方位的直線偏光；和(5)偏光合成部，其將利用第二偏光面旋轉(zhuǎn)部成為相互正交的方位的直線偏光的第一調(diào)制光和第二調(diào)制光進(jìn)行合成而成為輸出光。

優(yōu)選上述結(jié)構(gòu)的光調(diào)制裝置還具有：光輸入輸出部，其具有使輸入光向偏光分離部反射的第一反射面和使來(lái)自偏光合成部的輸出光反射的第二反射面，來(lái)自第二反射面的輸出光的輸出方向與向第一反射面的輸入光的輸入方向相同。

上述實(shí)施方式的光學(xué)系統(tǒng)構(gòu)成為具有：輸出光的光源；和輸入從光源輸出的光并進(jìn)行調(diào)制，輸出該調(diào)制后的光并向?qū)ο笪镎丈涞纳鲜鼋Y(jié)構(gòu)的光調(diào)制裝置。在該光學(xué)系統(tǒng)中，從光源輸出的光在光調(diào)制裝置中被調(diào)制后，向?qū)ο笪镎丈洹?/p>

上述實(shí)施方式的光學(xué)系統(tǒng)構(gòu)成為具有：輸入由對(duì)象物發(fā)生的光并進(jìn)行調(diào)制，并輸出該調(diào)制后的光的上述結(jié)構(gòu)的光調(diào)制裝置；和對(duì)從光調(diào)制裝置輸出的光進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)部。在該光學(xué)系統(tǒng)中，由對(duì)象物發(fā)生的光在光調(diào)制裝置中被調(diào)制后，利用檢測(cè)部進(jìn)行檢測(cè)。

產(chǎn)業(yè)上的可利用性

本發(fā)明能夠作為即使在使用只能對(duì)特定方位的直線偏光的光進(jìn)行調(diào)制的空間光調(diào)制器的情況下也能夠提高光利用效率的光調(diào)制裝置、和具有這樣的光調(diào)制裝置且能夠提高光利用效率的光學(xué)系統(tǒng)而進(jìn)行利用。

符號(hào)的說(shuō)明

1、1A～1C…光調(diào)制裝置；2A、2B…光學(xué)系統(tǒng)；9…對(duì)象物；10…空間光調(diào)制器；11…調(diào)制面；11A…第一區(qū)域；11B…第二區(qū)域；20…控制部；31…偏光分離部；32…反射鏡；33…第一偏光面旋轉(zhuǎn)部；41…偏光合成部；42…反射鏡；43…第二偏光面旋轉(zhuǎn)部；50…光輸入輸出部；51…第一反射面；52…第二反射面；60…光源；61…透鏡；62…空間濾波器；63…透鏡；64…開(kāi)口；70…光源；71…透鏡；72…分光器；73…分光器；74…開(kāi)口；75…透鏡；76…開(kāi)口；77…透鏡；78…檢測(cè)部；90…臺(tái)；Lin…輸入光；Lout…輸出光；L11…第一分離光；L12…第二分離光；L21…第一調(diào)制光；L22…第二調(diào)制光。