壓印裝置制造方法
【專利摘要】一種壓印裝置，包括腔體、設(shè)于該腔體底側(cè)的承載件、以及懸吊于該腔體內(nèi)的彈性模具。藉由該彈性模具自然下垂的特性，以利用該承載件帶動(dòng)其上的一基材向上推壓該彈性模具，使該彈性模具的模形自然貼合并壓印于該基材上。藉以使該彈性模具與該基材之間由中間向側(cè)邊壓合，而令該彈性模具由彎曲變平面，因而該彈性模具與該基材之間不會(huì)產(chǎn)生氣泡，所以能有效提升制程良率。
【專利說(shuō)明】壓印裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種壓印技術(shù)，尤指一種壓印裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著電子產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，電子產(chǎn)品在型態(tài)上趨于輕薄短小，在功能上則逐漸邁入高性能、高功能、高速度化的研發(fā)方向。其中，發(fā)光二極管(LED)因具有壽命長(zhǎng)、體積小、高耐震性及耗電量低等優(yōu)點(diǎn)，所以已成為照光電子產(chǎn)品的發(fā)展趨勢(shì)。
[0003]于制作LED的過(guò)程中，需于芯片的薄膜上形成圖案化微結(jié)構(gòu)，例如圖案化光阻，早期是使用黃光微影方式進(jìn)行圖案化制程以形成該微結(jié)構(gòu)，但黃光微影的制程繁瑣，且制程時(shí)間冗長(zhǎng)，并且僅能使用于小面積的制作而無(wú)法用于大面積的制作，致使LED的成本難以降低。
[0004]因此，遂發(fā)展出一種壓印方式，如第20110180965號(hào)美國(guó)專利，其提供一種形成圖案化微結(jié)構(gòu)的壓印裝置1，且圖1A至圖1D為該壓印裝置I的作動(dòng)方式。
[0005]如圖1A所示，該壓印裝置I包括一腔體10、設(shè)于該腔體10底側(cè)的可移式承載件
11、設(shè)于該腔體10頂側(cè)的固定件13、設(shè)于該固定件13上的模具12、由該固定件13與該模具12構(gòu)成的氣室14、設(shè)于該氣室14頂側(cè)上的透光件15以及設(shè)于該透光件15上方的紫外線(UV)光源16。該模具12下側(cè)具有模形120，且將一上側(cè)具有膠體9a的基材9置放于該承載件11上。
[0006]如圖1B所示，于真空狀態(tài)下，將該承載件11向上移動(dòng)，使該基材9的膠體9a貼合于該模具12的模形120上。
[0007]如圖1C所示，將該承載件11下移以與該基材9分離，再于該氣室14與該腔體10內(nèi)加壓，以上、下施加氣壓于該模具12與該基材9上,使該模具12與該基材9氣密結(jié)合,而令該模形120能壓印于該膠體9a上，再以該紫外線光源16經(jīng)由該透光件15照射該膠體9a，使該膠體9a固化成圖案化微結(jié)構(gòu)90。
[0008]如圖1D所示，解除真空狀態(tài)下，于該氣室14與該腔體10之間形成壓差，以令該模具12松開該基材9，使該具有圖案化微結(jié)構(gòu)90的基材9降落于該承載件11上。
[0009]現(xiàn)有壓印裝置I中，藉由施加氣壓方式，使該模形120能輕微地壓印于該膠體9a上，再經(jīng)由固化即可完成該圖案化微結(jié)構(gòu)90，所以能克服制程繁瑣、制程時(shí)間冗長(zhǎng)等問(wèn)題，且能使用于大面積的制作。
[0010]然而，現(xiàn)有壓印裝置I中，該氣室14由該固定件13與該模具12所構(gòu)成，所以于組裝該固定件13與該模具12時(shí)，容易產(chǎn)生縫隙，因而造成氣密不良的問(wèn)題，致使該氣室14內(nèi)的氣壓容易誤差。
[0011]此外，該模具12固定于該固定件13上，所以該模具12與該基材9之間直接以面對(duì)面方式相結(jié)合，因而該模具12與該基材9之間容易產(chǎn)生氣泡，導(dǎo)致該圖案化微結(jié)構(gòu)90的品質(zhì)不佳，致使該基材9成為不良品。
[0012]又，該模具12固定于該固定件13上，因而無(wú)法拆換，致使該模具12的壓印品質(zhì)將隨使用時(shí)間增加而變差，使該基材9成為不良品。具體地，于長(zhǎng)久使用后，該模具12會(huì)產(chǎn)生磨損，甚至變形，以致于當(dāng)該模具12與該基材9分離時(shí)，該圖案化微結(jié)構(gòu)90的分離力不均勻，致使該圖案化微結(jié)構(gòu)90的部分材質(zhì)會(huì)殘留于該模形120上，導(dǎo)致該基材9成為不良品，且于下一次制作圖案化微結(jié)構(gòu)時(shí)，該模形120上的殘留物會(huì)影響圖案化微結(jié)構(gòu)的圖樣，導(dǎo)致下一基材成為不良品。
[0013]因此，如何克服上述現(xiàn)有技術(shù)的種種問(wèn)題，實(shí)已成目前亟欲解決的課題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0014]有鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的種種缺失，本實(shí)用新型提供一種壓印裝置，可使彈性模具與基材之間不會(huì)產(chǎn)生氣泡，所以能有效提升制程良率。
[0015]本實(shí)用新型的壓印裝置，包括:腔體，其具有相對(duì)的第一內(nèi)側(cè)與第二內(nèi)側(cè)；可移式承載件，其設(shè)于該腔體的第一內(nèi)側(cè)上；以及彈性模具，其懸吊于該腔體內(nèi)，且位于該承載件與該腔體的第二內(nèi)側(cè)之間，而該彈性模具與該腔體的第二內(nèi)側(cè)之間具有縫隙。
[0016]將該彈性模具懸吊于該腔體中，且該彈性模具與該腔體頂側(cè)之間具有縫隙而未形成氣室，以當(dāng)承載件帶動(dòng)基材向上移動(dòng)時(shí)，該基材會(huì)貼合于該彈性模具上，而令模形自然壓印于該基材上，以形成圖案化微結(jié)構(gòu)于該基材上。之后，再使該基材脫離該彈性模具。
[0017]優(yōu)選的，該承載件具有位移結(jié)構(gòu)，以供該承載件于該腔體的第一內(nèi)側(cè)與第二內(nèi)側(cè)之間位移。
[0018]優(yōu)選的，該承載件具有位移結(jié)構(gòu)，以帶動(dòng)該彈性模具位移。
[0019]優(yōu)選的，該承載件具有定位結(jié)構(gòu)，以供固定置放于該承載件上的對(duì)象。
[0020]優(yōu)選的，該彈性模具朝該腔體的第一內(nèi)側(cè)方向彎曲。
[0021]優(yōu)選的，該裝置還包括支撐件，其設(shè)于該腔體上，以懸吊該彈性模具。
[0022]優(yōu)選的，該裝置還包括拆裝結(jié)構(gòu)，其用以拆裝該彈性模具。
[0023]優(yōu)選的，該裝置還包括蓋體，其設(shè)于該腔體的第二內(nèi)側(cè)上，且該蓋體具有朝向該第一內(nèi)側(cè)的開口，該開口對(duì)應(yīng)該承載件的位置。
[0024]優(yōu)選的，該裝置還包括傳導(dǎo)件，其設(shè)于該腔體的第二內(nèi)側(cè)上。
[0025]優(yōu)選的，該裝置還包括供應(yīng)源，其對(duì)應(yīng)該彈性模具而設(shè)。
[0026]由上可知，本實(shí)用新型的壓印裝置藉由該彈性模具可彎曲或自然下垂的特性，以利用該承載件進(jìn)行推壓，使該彈性模具的模形自然貼合并壓印于該基材上，令該彈性模具與該基材之間以由點(diǎn)向面的方式相結(jié)合，而使該彈性模具與該基材之間由中間向側(cè)邊壓合，所以該彈性模具與該基材之間不會(huì)產(chǎn)生氣泡，因而能有效提升制程良率。
[0027]此外，該彈性模具與該腔體頂側(cè)之間具有縫隙，而不需形成氣室，所以無(wú)氣密不良的問(wèn)題。
[0028]又，該彈性模具因未形成氣室，所以可將該彈性模具裝設(shè)于拆裝結(jié)構(gòu)上，以拆換該彈性模具，因而可克服現(xiàn)有技術(shù)中因模具無(wú)法拆換而使該基材成為不良品的問(wèn)題。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0029]圖1A至圖1D為現(xiàn)有壓印裝置的作動(dòng)方式的前視示意圖；
[0030]圖2A至圖2G為本實(shí)用新型壓印裝置的作動(dòng)方式的前視示意圖；以及[0031]圖3A至圖3C為本實(shí)用新型壓印裝置的拆裝模具的作動(dòng)方式的側(cè)視示意圖；圖3A’為圖3A的前視示意圖。
[0032]符號(hào)說(shuō)明
[0033]1、2 壓印裝置
[0034]10、20 腔體
[0035]11,21 承載件 [0036]12模具
[0037]120、220 模形
[0038]13固定件
[0039]14氣室
[0040]15透光件
[0041]16紫外線光源
[0042]20a 第一內(nèi)側(cè)
[0043]20b第二內(nèi)側(cè)
[0044]210第一位移結(jié)構(gòu)
[0045]211 第二位移結(jié)構(gòu)
[0046]212定位結(jié)構(gòu)
[0047]213壓部
[0048]22彈性模具
[0049]23蓋體
[0050]230開口
[0051]24空間
[0052]25傳導(dǎo)件
[0053]26供應(yīng)源
[0054]27支撐件
[0055]28拆裝結(jié)構(gòu)
[0056]280軌道
[0057]281滑件
[0058]282承載體
[0059]7、8、9 基材
[0060]8aUV 樹脂
[0061]80、90 圖案化微結(jié)構(gòu)
[0062]9a膠體
[0063]S縫隙。
【具體實(shí)施方式】
[0064]以下藉由特定的具體實(shí)施例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，熟悉此技藝的人士可由本說(shuō)明書所揭示的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其它優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0065]須知，本說(shuō)明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說(shuō)明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技藝的人士的了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，所以不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說(shuō)明書中所引用的如“上”、“下”、“頂”、“底”、“第一”、“第二”及“一”等用語(yǔ)，也僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整，在無(wú)實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)也視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0066]依本實(shí)用新型的壓印方式，本實(shí)用新型提供一種壓印裝置2，如圖2A所示，其包括:一腔體20、一可移式承載件21以及一彈性模具22。
[0067]所述的腔體20具有相對(duì)的第一內(nèi)側(cè)20a (圖中的底側(cè))與第二內(nèi)側(cè)20b (圖中的頂側(cè))。
[0068]所述的承載件21設(shè)于該腔體20的第一內(nèi)側(cè)20a上。
[0069]于本實(shí)施例中，該承載件21還具有第一及第二位移結(jié)構(gòu)210，211，例如升降式位移結(jié)構(gòu)，該第一位移結(jié)構(gòu)210用以供該承載件21于該腔體20的第一內(nèi)側(cè)20a與第二內(nèi)側(cè)20b之間位移，且該第二位移結(jié)構(gòu)211用以帶動(dòng)該彈性模具22位移。有關(guān)位移結(jié)構(gòu)的種類繁多，并不限于上述。
[0070]此外，該承載件21具有定位結(jié)構(gòu)212，如真空吸附系統(tǒng)或靜電吸附系統(tǒng)，以供固定置放于該承載件21上的對(duì)象。有關(guān)定位結(jié)構(gòu)212的種類繁多，并不限于上述。
[0071]又，該承載件21還設(shè)有壓部213，用以抵靠該彈性模具22的側(cè)部。
[0072]所述的彈性模具22懸吊于該腔體20內(nèi)，且位于該承載件21與該腔體20的第二內(nèi)側(cè)20b之間，而該彈性模具22與該腔體20的第二內(nèi)側(cè)20b之間具有縫隙，也就是該彈性模具22上方未成為密室。于本實(shí)施例中，該彈性模具22的材質(zhì)為聚對(duì)二甲基硅氧烷(poly-dimethylsiloxane, PDMS),但不以此為限,只要使該彈性模具22能彎曲或自然下垂的材質(zhì)即可。
[0073]所述的壓印裝置2還包括一蓋體23、一傳導(dǎo)件25、一供應(yīng)源26 (如圖2C所示)與多個(gè)支撐件27。
[0074]所述的蓋體23設(shè)于該腔體20的第二內(nèi)側(cè)20b上，且該蓋體23具有朝向該第一內(nèi)側(cè)20a的開口 230，該開口 230對(duì)應(yīng)該承載件21的位置。
[0075]所述的傳導(dǎo)件25設(shè)于該腔體20的第二內(nèi)側(cè)20b上，且對(duì)應(yīng)該開口 230的位置，并依該供應(yīng)源26的種類而設(shè)置。于本實(shí)施例中，該傳導(dǎo)件25為透光材質(zhì)。
[0076]所述的供應(yīng)源26對(duì)應(yīng)該彈性模具22的位置而設(shè)置，可設(shè)于該腔體20外部(如圖2C所示)或該腔體20內(nèi)部，且該供應(yīng)源26可為熱源或光源(例如紫外線)，但并不限于此。
[0077]所述的支撐件27設(shè)于該腔體20的第一內(nèi)側(cè)20a上，以懸吊該彈性模具22。于本實(shí)施例中，該支撐件27位于該彈性模具22的左、右兩側(cè)，例如，該彈性模具22為矩形體時(shí)，該支撐件27可懸吊該彈性模具22的四個(gè)角落。再者，該支撐件27還用以架設(shè)該第二位移結(jié)構(gòu)211。又于其它實(shí)施例中，該支撐件27也可設(shè)于該腔體20的第二內(nèi)側(cè)20b上或其它側(cè)壁上，并無(wú)特別限制。
[0078]圖2A至圖2F為該壓印裝置2的作動(dòng)方式。
[0079]如圖2A所示，將一基材8置放于該承載件21上，且該彈性模具22自然下垂，該彈性模具22并于朝向該承載件21的一側(cè)(即下側(cè))具有一模形220。[0080]于本實(shí)施例中，該基材8的材質(zhì)為硅(單晶或多晶)、藍(lán)寶石、砷化鎵、玻璃或石英，但不以此為限，且該基材8的薄膜(圖略)材質(zhì)為二元磊晶(或摻雜)、三元磊晶(或摻雜)、四元磊晶(或摻雜)、氧化硅或銦錫氧化物(Indium Tin Oxide, IT0)，但不以此為限。
[0081]此外，該基材8的薄膜上并具有一預(yù)成形材，于本實(shí)施例中，該預(yù)成形材為UV樹脂8a,但不以此為限。
[0082]又，藉由該定位結(jié)構(gòu)212固定該基材8，可避免該基材8于上、下位移時(shí)發(fā)生前、后、左、右方向的偏移。
[0083]另外，該蓋體23內(nèi)部連通該腔體20，而未形成密閉空間，且可依需求將該腔體20內(nèi)進(jìn)行減壓或形成真空狀態(tài)，以減少該腔體20內(nèi)的空氣。
[0084]如圖2B所示，藉由該第一位移結(jié)構(gòu)210帶動(dòng)該承載件21朝該第二內(nèi)側(cè)20b的方向移動(dòng)(如圖中箭頭方向)，且一并帶動(dòng)該基材8向上位移，使該基材8的UV樹脂8a的中間部位靠觸該彈性模具22的模形220。
[0085]如圖2C所示，該基材8繼續(xù)向上位移，使該基材8完全貼合于該彈性模具22上，且藉由該基材8的向上位移作用力，使該模形220印于該UV樹脂8a上，以令該UV樹脂8a被壓印成圖案化微結(jié)構(gòu)80。
[0086]于本實(shí)施例中，藉由該彈性模具22自然下垂，再將該基材8推壓該彈性模具22，使該彈性模具22與該基材8之間以由點(diǎn)向面的方式相貼合，令該模形220與該UV樹脂8a之間由中間向側(cè)邊壓合，所以能將該模形220與該UV樹脂8a之間的空氣由中間向側(cè)邊擠出，以避免于該模形220與該UV樹脂8a之間殘留空氣(即氣泡)。
[0087]此外，可依需求，將該腔體20內(nèi)進(jìn)行減壓，以減少空氣量，而可輔助避免于該模形220與該UV樹脂8a之間殘留空氣；較佳的輔助方式，令該腔體20內(nèi)呈真空狀態(tài)。
[0088]如圖2D所示，該彈性模具22蓋合該開口 230而形成一空間24。
[0089]于本實(shí)施例中，藉由該壓部213上推該彈性模具22以蓋合該開口 230，例如，該壓部213與該蓋體23之間藉由電磁吸附的方式，也就是供電之后，該壓部213與該蓋體23之間的磁力相吸，使該壓部213能上推該彈性模具22。
[0090]此外，該壓部213與該蓋體23夾置該彈性模具22的側(cè)部。
[0091]又，可依需求，例如，該壓部213與該蓋體23之間的距離較遠(yuǎn)時(shí)，可藉由該第二位移結(jié)構(gòu)211輔助帶動(dòng)該彈性模具22向上位移(如圖中箭頭方向)。
[0092]另外，可依需求，例如，該彈性模具22下垂弧度過(guò)大時(shí)，可藉由該第一位移結(jié)構(gòu)210帶動(dòng)該基材8向上位移(如圖中箭頭方向)，以推動(dòng)該彈性模具22向上蓋合該開口 230。
[0093]如圖2E所示，將該空間24作為氣室，以令該氣室與該腔體20形成氣壓差，使該彈性模具22的中間處向上彎曲，令該彈性模具22與該基材8之間產(chǎn)生縫隙S，也就是該模形220與該圖案化微結(jié)構(gòu)80之間的中間接觸面分離，所以于后續(xù)制程中，可輕易分離該模形220與該圖案化微結(jié)構(gòu)80。
[0094]于本實(shí)施例中，該腔體20的壓力大于該氣室的壓力，以上推該彈性模具22，使該基材8與該彈性模具22之間的大部份接觸面呈分離。例如，若前段步驟，于該腔體20內(nèi)形成真空狀態(tài)，此時(shí)可解除該腔體20內(nèi)的真空狀態(tài)，而該氣室內(nèi)仍保持真空狀態(tài)，所以該腔體20的壓力即可上推該彈性模具22?；蛘?，可同時(shí)解除該腔體20與該氣室內(nèi)的真空狀態(tài)，再提供較大的壓力于該腔體20，以上推該彈性模具22。[0095]又，于其它實(shí)施例中，可令該氣室的壓力吸附該該彈性模具22向上彎曲。
[0096]另外，有關(guān)該氣室與該腔體20形成氣壓差的方式繁多，并不限于上述。
[0097]如圖2F所示，藉由該第一位移結(jié)構(gòu)210帶動(dòng)該承載件21朝該第一內(nèi)側(cè)20a的方向移動(dòng)(如圖中箭頭方向)，以帶動(dòng)該具有圖案化微結(jié)構(gòu)80的基材8完全分離該彈性模具22。
[0098]如圖2G所示，將該彈性模具22打開該開口 230，且該彈性模具22自然下垂，使該蓋體23內(nèi)部連通該腔體20。接著，取出該具有圖案化微結(jié)構(gòu)80的基材8，以放置另一基材7。
[0099]于本實(shí)施例中，藉由解除電磁吸附，以松開該壓部213與該蓋體23，而使該彈性模具22能打開該開口 230。
[0100]于其它實(shí)施例中，可藉由該第二位移結(jié)構(gòu)211朝該第一內(nèi)側(cè)20a的方向移動(dòng)(如圖中箭頭方向)，以輔助該壓部213松開該彈性模具22的側(cè)部。
[0101]本實(shí)用新型的壓印方式中，藉由該彈性模具22可彎曲或自然下垂的特性，以使該彈性模具22自然貼合并壓印于該基材8上，令該彈性模具22由彎曲變平面，也就是該彈性模具22與該基材8之間以由點(diǎn)向面(或由內(nèi)至外)的方式完成整面覆蓋，使該彈性模具22與該基材8之間由中間向側(cè)邊壓合，而不需如現(xiàn)有技術(shù)藉由氣室與腔體20上下擠壓該基材8，所以該彈性模具22與該基材8之間不會(huì)產(chǎn)生氣泡，因而能有效提升制程良率。
[0102]此外，該彈性模具22與該腔體20的第二內(nèi)側(cè)20b之間具有縫隙，也就是該彈性模具22不需形成氣室，所以該彈性模具22的懸吊方式相當(dāng)簡(jiǎn)易，且無(wú)氣密不良的問(wèn)題，因而不需進(jìn)行氣密處理。
[0103]圖3A及圖3A’為提供本實(shí)用新型壓印裝置2的另一種實(shí)施例，其還包括拆裝結(jié)構(gòu)28，以便于拆裝該彈性模具22。圖3B至圖3C為該拆裝結(jié)構(gòu)28的作動(dòng)示意圖。
[0104]如圖3A及圖3A’所示，該拆裝結(jié)構(gòu)28為抽屜式設(shè)計(jì)，其包含軌道280、滑件281與承載體282。然而，有關(guān)拆裝結(jié)構(gòu)28的種類繁多，并不限于此。
[0105]于本實(shí)施例中，該軌道280設(shè)于該彈性模具22的左、右兩側(cè)的支撐件27上，且該滑件281設(shè)于該軌道280上，而該承載體282設(shè)于該滑件281上并連結(jié)該彈性模具22的左、
右兩端。
[0106]如圖3B所示，該滑件281滑移于該軌道280上，以將該承載體282與該彈性模具22輸送至該腔體20外。
[0107]如圖3C所示，取出該承載體282與該彈性模具22，再將該彈性模具22由該承載體282上拆除，以進(jìn)行替換該彈性模具22的作業(yè)。
[0108]本實(shí)用新型的空間24 (或氣室)依需求形成，所以該彈性模具22可裝設(shè)于該拆裝結(jié)構(gòu)28上，而不需固定于蓋體23上。
[0109]此外，本實(shí)用新型的彈性模具22因不需形成氣室，所以可將該彈性模具22裝設(shè)于該拆裝結(jié)構(gòu)28上。當(dāng)長(zhǎng)久使用該壓印裝置2后，可將該彈性模具22藉由該拆裝結(jié)構(gòu)28進(jìn)行拆換，以維持該彈性模具2的壓印品質(zhì)。因此，相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型的壓印裝置2的彈性模具22不僅能方便取出，且易于檢查與更換，所以可避免該基材8成為不良品。
[0110]于另一實(shí)施例中，于圖2C的制程時(shí)，可依該預(yù)成形材的材質(zhì)特性進(jìn)行成形制程，例如，當(dāng)該預(yù)成形材為光固形材質(zhì)(如UV樹脂8a)時(shí)，可藉由設(shè)于該腔體20外部的供應(yīng)源26 (如光源)經(jīng)該傳導(dǎo)件25照射該UV樹脂8a，以固化該UV樹脂8a，俾供輔助該UV樹脂8a成為圖案化微結(jié)構(gòu)80。或者，若該預(yù)成形材為熱固形材質(zhì)，可將供應(yīng)源26設(shè)于該腔體20內(nèi)部，如該彈性模具22下方，以加熱該UV樹脂8a進(jìn)行固化，可不設(shè)置該傳導(dǎo)件25。
[0111]于其它實(shí)施例中，于圖2D制程時(shí)，于該空間24與該腔體20內(nèi)加壓，以上、下施加氣壓于該彈性模具22與該基材8上，以輔助壓印形成該圖案化微結(jié)構(gòu)80。
[0112]上述實(shí)施例僅用以例示性說(shuō)明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟習(xí)此項(xiàng)技藝的人士均可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修改。因此本實(shí)用新型的權(quán)利保護(hù)范圍，應(yīng)如權(quán)利要求書所列。
【權(quán)利要求】
1.一種壓印裝置，其特征在于，包括: 腔體，其具有相對(duì)的第一內(nèi)側(cè)與第二內(nèi)側(cè)； 可移式承載件，其設(shè)于該腔體的第一內(nèi)側(cè)上；以及 彈性模具，其懸吊于該腔體內(nèi)，且位于該承載件與該腔體的第二內(nèi)側(cè)之間，而該彈性模具與該腔體的第二內(nèi)側(cè)之間具有縫隙。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印裝置，其特征在于，該承載件具有位移結(jié)構(gòu)，以供該承載件于該腔體的第一內(nèi)側(cè)與第二內(nèi)側(cè)之間位移。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印裝置，其特征在于，該承載件具有位移結(jié)構(gòu)，以帶動(dòng)該彈性模具位移。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印裝置，其特征在于，該承載件具有定位結(jié)構(gòu)，以供固定置放于該承載件上的對(duì)象。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印裝置，其特征在于，該彈性模具朝該腔體的第一內(nèi)側(cè)方向彎曲。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印裝置，其特征在于，該裝置還包括支撐件，其設(shè)于該腔體上，以懸吊該彈性模具。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印裝置，其特征在于，該裝置還包括拆裝結(jié)構(gòu)，其用以拆裝該彈性模具。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印裝置，其特征在于，該裝置還包括蓋體，其設(shè)于該腔體的第二內(nèi)側(cè)上，且該蓋體具有朝向該第一內(nèi)側(cè)的開口，該開口對(duì)應(yīng)該承載件的位置。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印裝置，其特征在于，該裝置還包括傳導(dǎo)件，其設(shè)于該腔體的第二內(nèi)側(cè)上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印裝置，其特征在于，該裝置還包括供應(yīng)源，其對(duì)應(yīng)該彈性模具而設(shè)。
【文檔編號(hào)】G03F7/00GK203445141SQ201320544383
【公開日】2014年2月19日 申請(qǐng)日期:2013年9月3日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月3日
【發(fā)明者】李昇儒 申請(qǐng)人:和椿科技股份有限公司