專利名稱：：低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物，更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及如下低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物，該組合物不僅感光度、耐熱性、耐化學(xué)性等性能優(yōu)異，而且即使在15(TC以下的低溫工序中也使膜(film)具有優(yōu)異的疏水特性，由此該組合物特別適于在制造OLED、OTFT元件的噴墨(ink-jet)方式中形成槽凸起(bank)，同時(shí)適合用于浮脫(Liftoff)用途。
背景技術(shù)：
：在以往的液晶顯示器(LCD)制造工序中，使用光蝕刻工序等形成彩色光阻(力，一^^7卜)、電極、布線、半導(dǎo)體(semiconductor)材料。最近，為了降低顯示器的價(jià)格，對(duì)利用壓印(imprinting)形成圖案；利用噴墨方式形成彩色光阻、形成可溶性有機(jī)半導(dǎo)體(solubleorganicsemiconductor);利用浮脫形成可溶性導(dǎo)電性高分子(solubleconductingpolymer)的電極和布線等進(jìn)行了各種研究。因此，噴墨中的槽凸起和浮脫材料的界面特性是重要的。換而言之，由于彩色油墨、可溶性有機(jī)半導(dǎo)體和可溶性導(dǎo)電性高分子大都具有親水性，為了使它們?cè)诜遣弁蛊鸬幕?substrate)上的潤(rùn)濕性(wetting)良好，槽凸起表面的疏水化是重要的。但是，以往使用感光性樹(shù)脂組合物形成槽凸起時(shí)，存在如下問(wèn)題由于槽凸起界面與彩色油墨、可溶性有機(jī)半導(dǎo)體和可溶性導(dǎo)電性高分子的極性差小，在非基材的槽凸起上產(chǎn)生潤(rùn)濕性，產(chǎn)生不良。而且，OLED、OTFT制造工序中使用的基材或發(fā)光物質(zhì)不耐熱，如現(xiàn)有LCD中那樣難以適用高溫工序。由于這樣的原因，將適用于現(xiàn)有的LCD工序的感光性樹(shù)脂組合物用于OLED、OTFT制造時(shí)，有時(shí)會(huì)殘留過(guò)量的殘留溶劑，交聯(lián)密度差，作為膜的基本物性存在問(wèn)題，這些自不必說(shuō)，有時(shí)還會(huì)對(duì)基材或發(fā)光物質(zhì)有不良影響。因此，事實(shí)上，為了提高即使在15(TC(通常的OLED、OTFT制造工序溫度)以下的工序條件下也適用于噴墨方式的槽凸起和浮脫材料的疏水化度，更需要對(duì)此進(jìn)行研
發(fā)明內(nèi)容為了解決上述以往技術(shù)的問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于，提供低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物、使用上述低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物的顯示元件的圖案形成方法，該低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物不僅感光度、耐熱性、耐化學(xué)性等性能優(yōu)異，而且即使在15(TC以下的低溫工序中膜也具有優(yōu)異的疏水特性。此外，本發(fā)明的目的在于，提供不僅感光度、耐熱性、耐化學(xué)性等性能優(yōu)異而且特別是能夠提高在OLED、OTFT元件的制造中適用于噴墨方式的槽凸起和浮脫材料的疏水化度的低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物、使用上述低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物的顯示元件的圖案形成方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，在該感光性樹(shù)脂組合物中含有以下物質(zhì)a)將下述i)、ii)和iii)共聚得到的丙烯酸類共聚物i)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或它們的混合物，ii)含環(huán)氧基的不飽和化合物，iii)烯烴類不飽和化合物；b)1,2-醌二疊氮(1，2-quinonediazide)化合物；c)以下述化學(xué)式l5中的一個(gè)化學(xué)式表示的氟類化合物；以及d)沸點(diǎn)為90150。C并且當(dāng)以n-BA(乙酸正丁酉旨)的蒸發(fā)速度為1時(shí)蒸發(fā)速度為0.31.0的溶劑。CF3(CF2)nCOOH上述化學(xué)式l中，n為610的整數(shù)。[化學(xué)式2]CF3(CF2)nCH2OH上述化學(xué)式2中，n為610的整數(shù)。[化學(xué)式3]CF3C(CF3)2CF2CF(CF3)CF2COOH[化學(xué)式4](CF3)2CF(CF2)3CF(CF3)CF2COOHCHF1702優(yōu)選本發(fā)明含有以下物質(zhì)a)100重量份丙烯酸類共聚物，該丙烯酸類共聚物是將下述i)、ii)和iii)共聚得到的i)540重量％不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或它們的混合物，ii)1070重量％含環(huán)氧基的不飽和化合物，iii)1070重量％烯烴類不飽和化合物；b)550重量份1，2-醌二疊氮化合物；C)320重量份以所述化學(xué)式15中的一個(gè)化學(xué)式表示的氟類化合物；禾口d)溶劑，該溶劑使上述感光性樹(shù)脂組合物內(nèi)的固體成分的含量為1050重量％，該溶劑的沸點(diǎn)為90150。C并且當(dāng)以n-BA(乙酸正丁酉旨)的蒸發(fā)速度為1時(shí)其蒸發(fā)速度為0.31.0。此外，本發(fā)明提供使用上述低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物的顯示元件的圖案形成方法。本發(fā)明的低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物不僅感光度、耐熱性、耐化學(xué)性等性能優(yōu)異，而且即使在15(TC以下的低溫工序中也使膜具有優(yōu)異的疏水特性，由此該組合物特別適于在制造OLED、OTFT元件的噴墨方式中形成槽凸起，同時(shí)適合用于浮脫用途。具體實(shí)施例方式6以下，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體說(shuō)明。本發(fā)明的低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物的特征在于，其含有以下物質(zhì)a)將i)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或它們的混合物、ii)含環(huán)氧基的不飽和化合物和m)烯烴類不飽和化合物共聚得到的丙烯酸類共聚物；b)1，2-醌二疊氮化合物;C)以所述化學(xué)式15中的一個(gè)化學(xué)式表示的氟類化合物；和d)沸點(diǎn)為90150'C并且當(dāng)以n-BA(乙酸正丁酉旨)的蒸發(fā)速度為1時(shí)蒸發(fā)速度為0.31.0的溶劑。本發(fā)明中使用的上述a)丙烯酸類共聚物可以如下得到以i)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或它們的混合物、ii)含環(huán)氧基的不飽和化合物和iii)烯烴類不飽和化合物作為單體在溶劑和聚合引發(fā)劑的存在下進(jìn)行自由基反應(yīng)來(lái)合成，然后通過(guò)沉淀、過(guò)濾以及真空干燥(vacuumdrying)工序除去未反應(yīng)單體，從而得到上述a)丙烯酸類共聚物。本發(fā)明中使用的上述a)的i)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或它們的混合物可以單獨(dú)使用或2種以上混合使用丙烯酸、甲基丙烯酸等不飽和單羧酸；馬來(lái)酸、富馬酸、檸康酸、中康酸(^夂^>酸)、衣康酸等不飽和二羧酸；或這些不飽和二羧酸的酸酐等，特別是從共聚反應(yīng)性和堿性水溶液(作為顯影液)中的溶解性方面出發(fā)，更優(yōu)選使用丙烯酸、甲基丙烯酸或馬來(lái)酸酐。上述不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或它們的混合物的含量相對(duì)于全部單體，優(yōu)選為540重量％、更優(yōu)選為1030重量％。該含量小于5重量％時(shí)，存在上述不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或它們的混合物難以溶解在堿性水溶液中的問(wèn)題；該含量超過(guò)40重量％時(shí)，存在上述不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或它們的混合物在堿性水溶液中的溶解度過(guò)大的問(wèn)題。本發(fā)明中使用的上述a)的ii)含環(huán)氧基的不飽和化合物可以使用丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、a-乙基丙烯酸縮水甘油酯、a-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、a-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸-卩-甲基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-P-甲基縮水甘油酯、丙烯酸-(3-乙基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-P-乙基縮水甘油酯、丙烯酸-3,4-環(huán)氧丁酯、甲基丙烯酸-3,4-環(huán)氧丁酯、丙烯酸-6,7-環(huán)氧庚酯、甲基丙烯酸-6,7-環(huán)氧庚酯、(x-乙基丙烯7酸-6,7-環(huán)氧庚酯、丙烯酸-3，4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯、甲基丙烯酸-3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯、4-乙烯基環(huán)氧環(huán)己烷、鄰乙烯基芐基縮水甘油基醚、間乙烯基芐基縮水甘油基醚或?qū)σ蚁┗S基縮水甘油基醚等，上述化合物可以單獨(dú)使用或2種以上混合使用。特別是從提高共聚反應(yīng)性和得到的圖案的耐熱性方面出發(fā)，上述含環(huán)氧基的不飽和化合物更優(yōu)選使用甲基丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸-P-甲基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-6，7-環(huán)氧庚酯、鄰乙烯基芐基縮水甘油基醚、間乙烯基節(jié)基縮水甘油基醚或?qū)σ蚁┗S基縮水甘油基醚。上述含環(huán)氧基的不飽和化合物的含量相對(duì)于全部單體，優(yōu)選為1070重量％、更優(yōu)選為2060重量％。該含量小于10重量％時(shí)，存在得到的圖案的耐熱性降低的問(wèn)題；該含量超過(guò)70重量％時(shí)，存在共聚物的保存穩(wěn)定性降低的問(wèn)題。本發(fā)明中使用的上述a)的iii)烯烴類不飽和化合物可以使用甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸-2-甲基環(huán)己酯、丙烯酸雙環(huán)戊烯酯、丙烯酸雙環(huán)戊酯、甲基丙烯酸雙環(huán)戊烯酯、甲基丙烯酸雙環(huán)戊酯、丙烯酸-l-金剛烷基酯、甲基丙烯酸-l-金剛烷基酯、甲基丙烯酸雙環(huán)戊氧基乙酯、甲基丙烯酸異冰片基酯、丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸-2-甲基環(huán)己酯、丙烯酸雙環(huán)戊基氧基乙酯、丙烯酸異冰片基酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸苯甲酯、甲基丙烯酸-2-羥基乙基酯、苯乙烯、(x-甲基苯乙烯、鄰甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對(duì)甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對(duì)甲氧基苯乙烯、1,3-丁二烯、異戊二烯和2，3-二甲基-1,3-丁二烯等，上述化合物可以單獨(dú)使用或2種以上混合使用。特別是從共聚反應(yīng)性和在堿性水溶液(作為顯影液)中的溶解性方面，上述烯烴類不飽和化合物更優(yōu)選使用苯乙烯、甲基丙烯酸雙環(huán)戊酯或?qū)籽趸揭蚁?。上述烯烴類不飽和化合物的含量相對(duì)于全部單體，優(yōu)選為1070重量％、更優(yōu)選為2050重量％。該含量小于10重量％時(shí)，存在丙烯酸類共聚物的保存穩(wěn)定性降低的問(wèn)題；該含量超過(guò)70重量％時(shí)，存在丙烯酸類共聚物難以溶解在堿性水溶液(作為顯影液)中的問(wèn)題。用于將上述單體溶液聚合的溶劑可以使用甲醇、四羥基呋喃、甲苯或二氧六環(huán)等。用于將上述單體溶液聚合的聚合引發(fā)劑可以使用自由基聚合引發(fā)劑，具體地說(shuō)，可以使用2,2-偶氮二異丁腈、2,2-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、2，2-偶氮二(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、l,l-偶氮二(環(huán)己垸-l-甲腈)或二甲基-2，2'-偶氮二異丁酸酯等。使上述單體在溶液和聚合引發(fā)劑的存在下進(jìn)行自由基反應(yīng)，通過(guò)沉淀、過(guò)濾以及真空干燥工序除去未反應(yīng)單體得到上述a)丙烯酸類共聚物，這樣得到的a)丙烯酸類共聚物的聚苯乙烯換算重均分子量(Mw)優(yōu)選為500030000，更優(yōu)選為500020000。上述聚苯乙烯換算重均分子量小于5000時(shí)，存在耐熱性、殘膜率等降低的問(wèn)題；上述聚苯乙烯換算重均分子量超過(guò)30000時(shí)，存在感光度降低或圖案顯影差的問(wèn)題。本發(fā)明中使用的上述b)l,2-醌二疊氮化合物可以使用1,2-醌二疊氮-4-磺酸酯、1，2-醌二疊氮-5-磺酸酯或1，2-醌二疊氮-6-磺酸酯等。上述那樣的醌二疊氮化合物可以通過(guò)使二疊氮基萘醌磺酰鹵與酚類化合物在弱堿下反應(yīng)來(lái)制備。作為上述酚類化合物，可以使用2,3,4-三羥基二苯甲酮、2，4,6-三羥基二苯甲酮、2,2'-四羥基二苯甲酮、4,4'-四羥基二苯甲酮、2,3,4,3'-四羥基二苯甲酮、2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮、2,3,4,2'-四羥基-4'-甲基二苯甲酮、2,3,4,4，-四羥基-3，-甲氧基二苯甲酮、2，3，4，2，-五羥基二苯甲酮、2,3,4,6，-五羥基二苯甲酮、2,4，6，3'-六羥基二苯甲酮、2，4,6,4'-六羥基二苯甲酮、2,4，6，5，-六羥基二苯甲酮、3,4,5,3'-六羥基二苯甲酮、3,4，5,4'-六羥基二苯甲酮、3,4，5，5'-六羥基二苯甲酮、雙(2，4-二羥基苯基)甲烷、雙(對(duì)羥基苯基)甲烷、三(對(duì)羥基苯基)甲垸、U,l-三(對(duì)羥基苯基)乙烷、雙(2，3，4-三羥基苯基)甲烷、2,2-雙(2，3,4-三羥基苯基)丙垸、1,1，3-三(2，5-二甲基-4-羥基苯基)-3-苯基丙烷、4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚或雙(2，5-二甲基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷等，上述化合物可以單獨(dú)使用或2種以上混合使用。利用上述酚類化合物和二疊氮基萘醌磺酰鹵合成醌二疊氮化合物時(shí)，優(yōu)選酯化度為5090%。上述酯化度小于50%時(shí)殘膜率有可能變差，上述酯化度超過(guò)90%時(shí)保存穩(wěn)定性有可能降低。相對(duì)于a)丙烯酸類化合物100重量份，上述1，2-醌二疊氮化合物的含量?jī)?yōu)選為550重量份，更優(yōu)選為1040重量份。該含量小于5重量份時(shí)，曝光部與非曝光部的溶解度差減小，有可能難以形成圖案；該含量超過(guò)50重量份時(shí)，短時(shí)間內(nèi)照射光時(shí)，未反應(yīng)的1,2-醌二疊氮化合物大量殘留，在堿性水溶液(作為顯影液)中的溶解度過(guò)度降低，存在難以顯影的問(wèn)題。本發(fā)明中使用的上述c)即以上述化學(xué)式15中的一個(gè)化學(xué)式表示的氟類化合物發(fā)揮提高由感光性樹(shù)脂組合物得到的槽凸起和浮脫材料的圖案的疏水特性的作用。上述化學(xué)式15所示的氟類化合物當(dāng)然可以單獨(dú)使用或2種以上混合使用，其含量相對(duì)于上述a)丙烯酸類共聚物IOO重量份，優(yōu)選為320重量份，更優(yōu)選為315重量份。該含量小于3重量份時(shí)，圖案的疏水特性有可能差；該含量超過(guò)20重量份時(shí)，感光度降低以及在堿性水溶液(作為顯影液)中的溶解度過(guò)度降低，從而還會(huì)產(chǎn)生浮渣(scnm)。本發(fā)明中使用的上述d)溶劑發(fā)揮使槽凸起和浮脫材料平坦以及不產(chǎn)生涂布不均一而形成均一的圖案輪廓(patternprofile),其沸點(diǎn)為9015(TC，并且上述d)溶劑是當(dāng)以n-BA的蒸發(fā)速度為1時(shí)蒸發(fā)速度為0.3l.O的低沸點(diǎn)高揮發(fā)性的溶劑。上述蒸發(fā)速度指的是，按照美國(guó)材料與測(cè)試協(xié)會(huì)D3539-87殼式薄膜蒸發(fā)計(jì)測(cè)定揮發(fā)性液體蒸發(fā)速率的試驗(yàn)方法標(biāo)準(zhǔn)(ASTMD3539-87(1996)StandardTestMethodsforEvaporationRatesofVolatileLiquidsbyShellThin-FilmEvaporometer)測(cè)定時(shí)，以n-BA的蒸發(fā)量為1相對(duì)地表示所測(cè)定的溶劑的蒸發(fā)量的值。優(yōu)選上述溶劑的沸點(diǎn)為noi50。c。在上述范圍內(nèi)時(shí)，即使在低溫固化條件下固化度也良好，耐化學(xué)性和耐熱性優(yōu)異，能夠提高有機(jī)薄膜晶體管的可靠性。作為具體的上述溶劑，可以單獨(dú)使用或2種以上混合使用丙二醇甲基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇丙基醚或丙二醇丁基醚等丙二醇單烷基醚類；丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯或丙二醇丙基醚乙酸酯等丙二醇垸基醚乙酸酯類；乙二醇甲基醚乙酸酯、乙酸正丁酯。優(yōu)選使用丙二醇甲基醚、乙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯等。優(yōu)選含有上述溶劑，以使全部有機(jī)薄膜晶體管用感光性樹(shù)脂組合物的固體成分含量((a)+(c))為1050重量％、更優(yōu)選為1540重量％。上述全部組合物的固體成分含量小于10重量％時(shí)，涂布厚度變薄、涂布平坦性有可能降低；上述全部組合物的固體成分含量超過(guò)50重量％時(shí)，涂布厚度增厚，涂布時(shí)有可能對(duì)涂布設(shè)備要求過(guò)高。根據(jù)需要，含有上述成分的本發(fā)明的低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物可以進(jìn)一步含有e)環(huán)氧樹(shù)脂、f)粘接劑、g)丙烯酸(類)化合物或h)表面活性劑等。上述e)環(huán)氧樹(shù)脂具有提高由本發(fā)明的低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物得到的圖案的耐熱性、感光度等的作用。上述環(huán)氧樹(shù)脂可以使用雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂、線型酚醛型環(huán)氧樹(shù)脂、甲酚線型酚醛型環(huán)氧樹(shù)脂、環(huán)狀脂肪族環(huán)氧樹(shù)脂、縮水甘油基酯型環(huán)氧樹(shù)脂、縮水甘油基胺型環(huán)氧樹(shù)脂、雜環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂、或?qū)⑴ca)丙烯酸類共聚物不同的甲基丙烯酸縮水甘油基酯(共聚)聚合得到的樹(shù)脂等，特別優(yōu)選使用雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂、甲酚線型酚醛型環(huán)氧樹(shù)脂或縮水甘油基酯型環(huán)氧樹(shù)脂。相對(duì)于上述a)丙烯酸類共聚物100重量份，上述環(huán)氧樹(shù)脂的含量?jī)?yōu)選為0.130重量份，該含量在上述范圍內(nèi)時(shí)，具有能夠得到與丙烯酸類共聚物的相容性和充分的涂布性能的優(yōu)點(diǎn)。此外，上述f)粘接劑發(fā)揮提高與基板的粘接性的作用，相對(duì)于上述a)丙烯酸類共聚物100重量份，優(yōu)選含有0.120重量份的上述f)粘接劑。上述粘接劑可以使用具有羧基、甲基丙烯?；?、異氰酸酯基或環(huán)氧基等反應(yīng)性取代基的硅烷偶聯(lián)劑等。具體地說(shuō)，可以使用Y-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅垸、iiY-異氰酸酯基丙基三乙氧基硅垸、，環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷或|3-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅垸等。此外，上述g)丙烯酸(類)化合物發(fā)揮提高由本發(fā)明的低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物得到的圖案的透過(guò)率、耐熱性、感光度等的作用。優(yōu)選上述丙烯酸(類)化合物為下述化學(xué)式6所示的化合物。[化學(xué)式6]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>在上述化學(xué)式6中，R為氫原子、碳原子數(shù)為15的垸基、碳原子數(shù)為15的垸氧基或碳原子數(shù)為15的烷?；?，l<a<6，a+b=6。相對(duì)于上述a)丙烯酸類共聚物100重量份，上述丙烯酸(類)化合物的含量?jī)?yōu)選為0.130重量份，更優(yōu)選為0.115重量份。該含量在上述范圍內(nèi)時(shí)，在圖案的透過(guò)率、耐熱性、感光度等的提高方面更良好。此外，上述h)表面活性劑發(fā)揮提高感光性組合物的涂布性或顯影性的作用。上述表面活性劑可以使用聚氧乙烯辛基苯基醚；聚氧乙烯壬基苯基醚；F171、F172、F173(商品名，大日本<>*社)；FC430、FC431(商品名，住友^U—二A社)或KP341(商品名，信越化學(xué)工業(yè)社)等。相對(duì)于上述a)丙烯酸類聚合物100重量份，上述表面活性劑的含量?jī)?yōu)選為0.00012重量份，該含量在上述范圍內(nèi)時(shí)，在感光性組合物的涂布性或顯影性的提高方面更良好。含有上述成分的本發(fā)明的低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物的固體成分濃度優(yōu)選為1050重量％，用0.10.2)im的微孔濾器等將具有上述范圍的固體成分的組合物過(guò)濾后再使用為宜。此外，本發(fā)明提供使用上述低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物的顯示元件的圖案形成方法。本發(fā)明的顯示元件的圖案形成方法的特征在于，在用感光性樹(shù)脂組合物形成槽凸起和浮脫材料來(lái)形成OLED、OTFT元件的圖案的方法中，使用上述低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物，當(dāng)然，除使用上述低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物以外的工序可以適當(dāng)?shù)剡x擇公知的圖案形成方法來(lái)應(yīng)用。本發(fā)明的顯示元件的圖案形成方法使用上述低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物，不僅感光度、耐熱性、耐化學(xué)性等性能優(yōu)異，而且即使在150°C以下的低溫工序中也使膜具有優(yōu)異的疏水特性，由此特別適于OLED、OTFT元件的圖案形成方法。以下為了有助于理解本發(fā)明而舉出實(shí)施例，但是下述實(shí)施例僅是例示本發(fā)明的例子，本發(fā)明的范圍不被下述實(shí)施例所限定。[實(shí)施例]實(shí)施例1(丙烯酸類共聚物的制備)向安裝有冷卻管和攪拌機(jī)的燒瓶中加入2,2，-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)6重量份、四羥基呋喃900重量份、甲基丙烯酸25重量份、甲基丙烯酸縮水甘油基酯25重量份、苯乙烯25重量份和甲基丙烯酸甲酯25重量份，進(jìn)行氮?dú)庵脫Q后緩慢攪拌。將上述反應(yīng)溶液升溫至6(TC并在20小時(shí)內(nèi)維持該溫度，同時(shí)制備出含有丙烯酸類共聚物的聚合物溶液。為了除去含有上述丙烯酸類共聚物的聚合物溶液的未反應(yīng)單體，使100重量份上述聚合物溶液在1000重量份正己烷(n-hexane)(作為不良溶劑)中沉淀。然后，通過(guò)使用濾網(wǎng)(mesh)的過(guò)濾(filtering)工序除去溶解有未反應(yīng)物的溶劑，在3(TC以下進(jìn)行真空干燥，完全除去含有殘留的未反應(yīng)單體的溶劑，制備出重均分子量為10,000的丙烯酸類共聚物。此時(shí)，重均分子量為使用GPC測(cè)定得到的聚苯乙烯換算平均分子量。(1，2-醌二疊氮化合物的制備)使！摩爾4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚與2摩爾1,2-二疊氮基萘醌-5-磺[酰氯]進(jìn)行縮合反應(yīng)，制備4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙蜀苯基]亞乙蜀雙酚-1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸酯。(低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物的制備)將100重量份上述制備的丙烯酸類共聚物、30重量份上述制備的4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚-1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸酯以及IO重量份下述化學(xué)式1-1所示的氟類化合物混合。然后，用丙二醇甲基醚(丙二醇甲基醚的沸點(diǎn)為12rC并且當(dāng)以n-BA的蒸發(fā)速度為1時(shí)其蒸發(fā)速度為0.66)進(jìn)行溶解，并使上述混合物固體成分含量為20重量％后，用0.2pm的微孔濾器。U水7匕。A卜)過(guò)濾，制備出低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物。[化學(xué)式1-1]CF3(CF2)10COOH實(shí)施例2在上述實(shí)施例1中，使用沸點(diǎn)為142。C并且當(dāng)以n-BA的蒸發(fā)速度為1時(shí)蒸發(fā)速度為0.32的乙二醇甲基醚乙酸酯作為溶劑，除此以外，禾偶與上述實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，制備低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物。實(shí)施例3在上述實(shí)施例1中，使用下述化學(xué)式2-1所示的氟類化合物來(lái)替代化學(xué)式1-1所示的氟類化合物，除此以外，利用與上述實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，制備低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物。[化學(xué)式2-1]CF3(CF2)8CH2OH實(shí)施例4在上述實(shí)施例1中，使用下述化學(xué)式3所示的氟類化合物來(lái)替代化學(xué)式1-1所示的氟類化合物，除此以外，利用與上述實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，制備低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物。[化學(xué)式3]CF3C(CF3)2CF2CF(CF3)CF2COOH實(shí)施例5在上述實(shí)施例1中，使用沸點(diǎn)為146"C并且當(dāng)以n-BA的蒸發(fā)速度為1時(shí)蒸發(fā)速度為0.34的丙二醇單乙基醚乙酸酯作為溶劑，除此以外，利用與上述實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，制備低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物。比較例1在上述實(shí)施例1中，不使用化學(xué)式1-1所示的氟類化合物，而使用沸點(diǎn)為19(TC并且當(dāng)以n-BA的蒸發(fā)速度為1時(shí)蒸發(fā)速度為0.02的二乙二醇二乙醚作為溶劑，除此以外，利用與上述實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，制備感光性樹(shù)脂組合物。比較例2在上述實(shí)施例1中，使用沸點(diǎn)為190。C并且當(dāng)以n-BA的蒸發(fā)速度為1時(shí)蒸發(fā)速度為0.02的二乙二醇二乙醚作為溶劑，除此以外，利用與上述實(shí)施例1相同的方法實(shí)施，制備出感光性樹(shù)脂組合物。使用上述實(shí)施例15和比較例12中制備的感光性樹(shù)脂組合物，通過(guò)下述方法評(píng)價(jià)物性后，其結(jié)果如下述表l所示。i)疏水特性-在玻璃(glass)基板上使用旋涂機(jī)涂布上述實(shí)施例15和比較例12中制備的感光性樹(shù)脂組合物后，于9(TC在加熱板上預(yù)烘2分鐘，分別在15(TC、22(TC的對(duì)流烘箱中固化，形成厚度為1.0ym的膜。然后，使用Kruss公司的DNA-100設(shè)備，利用座滴法(SessileDr叩Method)進(jìn)行測(cè)定，采用對(duì)于以0.5秒為間隔、20秒內(nèi)的40點(diǎn)(Point)的平均接觸角為基準(zhǔn)，接觸角為90度以上時(shí)表示為O，8090度時(shí)表示為A，小于80度時(shí)表示為X。ii)感光度-在上述i)中形成的膜上使用規(guī)定的圖案掩模(pattemmask),以感光度為lO(im行間隔(line&space)、1:1CD基準(zhǔn)劑量照射435nm的強(qiáng)度為20mW/cm2的紫外線后，用0.38重量％氫氧化四甲基銨的水溶液于23'C顯影2分鐘后，用超純水洗滌l分鐘，得到圖案膜。iii)分辨率-以最小尺寸測(cè)定上述ii)的感光度測(cè)定時(shí)形成的圖案膜。iv)耐熱性-用對(duì)流烘箱將上述ii)的感光度測(cè)定時(shí)形成的圖案膜于15(TC固化1小時(shí)，形成最終的圖案膜。此時(shí)，固化前后的10pmCD變化率為020%時(shí)表示為〇，2040。/。時(shí)表示為A，超過(guò)40。/。時(shí)表示為X。v)耐化學(xué)性-于7(TC將上述iv)中得到的圖案膜浸漬(dipping)在NMP中5分鐘后，用超純水漂洗(rinse)，測(cè)定NMP處理前后的10umCD變化率。此時(shí)，10wmCD變化率為020%時(shí)表示為〇，2040%時(shí)表示為△，超過(guò)40y。時(shí)表示為X。<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>由上述表1可知，通過(guò)本發(fā)明制備的實(shí)施例15的低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物的感光度、分辨率、耐熱性和耐化學(xué)性都優(yōu)異，特別是與比較例12相比，在低溫(15(TC)下具有顯著提高的疏水特性、耐熱性和耐化學(xué)性，由此不必說(shuō)LCD，即使在OLED、OTFT等的低溫工序中也能夠適合用作噴墨方式中的槽凸起和用于浮脫用途。權(quán)利要求1.一種低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，在該感光性樹(shù)脂組合物中含有以下物質(zhì)a)將下述物質(zhì)i)、ii)和iii)共聚得到的丙烯酸類共聚物i)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或它們的混合物，ii)含環(huán)氧基的不飽和化合物，iii)烯烴類不飽和化合物；b)1，2-醌二疊氮化合物；c)以下述化學(xué)式1～5中的一個(gè)化學(xué)式表示的氟類化合物；以及d)沸點(diǎn)為90℃～150℃并且當(dāng)以乙酸正丁酯的蒸發(fā)速度為1時(shí)蒸發(fā)速度為0.3～1.0的溶劑。[化學(xué)式1]CF3(CF2)nCOOH所述化學(xué)式1中，n為6～10的整數(shù)[化學(xué)式2]CF3(CF2)nCH2OH所述化學(xué)式2中，n為6～10的整數(shù)[化學(xué)式3]CF3C(CF3)2CF2CF(CF3)CF2COOH[化學(xué)式4](CF3)2CF(CF2)3CF(CF3)CF2COOH[化學(xué)式5]C11HF17O22.如權(quán)利要求1所述的低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，該組合物含有以下物質(zhì)a)100重量份丙烯酸類共聚物，該丙烯酸類共聚物是將i)5重量％40重量％不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或它們的混合物、ii)10重量％70重量％含環(huán)氧基的不飽和化合物和iii)10重量％70重量％烯烴類不飽和化合物共聚后除去未反應(yīng)單體而得到的；b)5重量份50重量份1，2-醌二疊氮化合物；c)3重量份20重量份以所述化學(xué)式l5中的一個(gè)化學(xué)式表示的氟類化合物；以及d)使所述感光性樹(shù)脂組合物內(nèi)的固體成分的含量為10重量％50重量％的、沸點(diǎn)為9(TC150。C并且當(dāng)以乙酸正丁酯的蒸發(fā)速度為1時(shí)蒸發(fā)速度為0.31.0的溶劑。3.如權(quán)利要求1所述的低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，所述a)丙烯酸類共聚物的聚苯乙烯換算重均分子量Mw為500030000。4.如權(quán)利要求1所述的低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，所述溶劑的沸點(diǎn)為11(TC15(TC。5.如權(quán)利要求1所述的低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，所述溶劑選自由丙二醇甲基醚、乙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯組成的組中的1種以上物質(zhì)。6.如權(quán)利要求1所述的低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，所述感光性樹(shù)脂組合物進(jìn)一步含有選自由e)環(huán)氧樹(shù)脂、f)粘接劑、g)丙烯酸化合物和h)表面活性劑組成的組中的1種以上添加劑。7.—種顯示元件的圖案形成方法，該方法使用權(quán)利要求16任意一項(xiàng)所述的低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物。8.如權(quán)利要求7所述的顯示元件的圖案形成方法，其特征在于，所述顯示元件為OLED或OTFT元件。全文摘要本發(fā)明提供一種低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物，該組合物不僅感光度、耐熱性、耐化學(xué)性等性能優(yōu)異，而且即使在150℃以下的低溫工序中也使膜具有優(yōu)異的疏水特性，由此該組合物特別適于在制造OLED、OTFT元件的噴墨方式中形成槽凸起，同時(shí)適合用于浮脫用途。本發(fā)明涉及低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物，特別是涉及含有如下物質(zhì)的低溫固化性感光性樹(shù)脂組合物a)將i)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或它們的混合物、ii)含環(huán)氧基的不飽和化合物和iii)烯烴類不飽和化合物共聚得到的丙烯酸類共聚物；b)1，2-醌二疊氮化合物；c)氟類化合物；以及d)沸點(diǎn)為90～150℃并且當(dāng)以n-BA的蒸發(fā)速度為1時(shí)蒸發(fā)速度為0.3～1.0的溶劑。文檔編號(hào)G03F7/027GK101566796SQ20091013109公開(kāi)日2009年10月28日申請(qǐng)日期2009年4月22日優(yōu)先權(quán)日2008年4月22日發(fā)明者丘冀赫,呂泰勛,尹柱豹,尹赫敏,崔守延,崔相角,李相勛,申洪大,金東明,金柄郁,金珍善申請(qǐng)人:東進(jìn)世美肯株式會(huì)社