專(zhuān)利名稱(chēng)：光刻膠氣泡排除系統(tǒng)及排除方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及光刻膠氣泡排除系統(tǒng)及排除 方法。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體制造工藝中，光刻工藝一直被認(rèn)為是集成電路制造中關(guān)鍵的步驟， 在整個(gè)工藝過(guò)程中需要被多次使用，其穩(wěn)定性及可靠性對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量、良率 和成本有著重要的影響。光刻工藝是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程，其本質(zhì)是把電路結(jié)構(gòu)
以圖形的形式復(fù)制到以后要進(jìn)行刻蝕和離子注入的晶圓上首先利用光刻膠 涂布系統(tǒng)在晶圓上形成一層感光材料一一光刻膠薄層，再將平行光經(jīng)過(guò)掩膜 版照射在光刻膠薄層上使其曝光而變質(zhì)，最后利用顯影液進(jìn)行顯影完成圖形 轉(zhuǎn)移。其中，若形成的光刻膠薄層厚度出現(xiàn)了偏差，會(huì)直接影響到后面相關(guān) 工藝的進(jìn)行，如光刻膠厚度超過(guò)預(yù)計(jì)厚度，可能造成曝光、顯影不充分，得 不到正常的光刻圖形；而光刻膠厚度小于預(yù)計(jì)厚度，除曝光顯影不正常導(dǎo)致 的圖形變形外，還可能會(huì)造成光刻膠對(duì)晶圓的保護(hù)失敗，晶圓在經(jīng)過(guò)刻蝕工 藝后報(bào)廢。故而在光刻膠的涂布工藝中，實(shí)現(xiàn)對(duì)光刻膠厚度的良好控制非常 關(guān)鍵。
申請(qǐng)?zhí)枮?3153892.4的中國(guó)申請(qǐng)專(zhuān)利公開(kāi)了 一種光刻膠涂布偵測(cè)系統(tǒng)，該 系統(tǒng)利用多個(gè)繼電器與電磁閥相配合，檢測(cè)涂膠系統(tǒng)的各組件開(kāi)關(guān)狀態(tài)，實(shí) 現(xiàn)對(duì)光刻膠涂布過(guò)程的監(jiān)控。但是，該方法中只是監(jiān)控了各組件的開(kāi)關(guān)狀態(tài)， 防止因機(jī)械故障而導(dǎo)致光刻膠涂布失敗。然而，在實(shí)踐中發(fā)現(xiàn)，導(dǎo)致光刻膠
的涂布量發(fā)生偏離的除了各組件的機(jī)械開(kāi)關(guān)狀態(tài)外，還有其它幾個(gè)原因如 氣泡問(wèn)題，雖然在光刻膠的涂布過(guò)程中會(huì)經(jīng)過(guò)氣泡排除系統(tǒng)，但由于氣泡排除次數(shù)少，使最終噴出的光刻膠中仍可能會(huì)存在氣泡，而當(dāng)光刻膠薄層中含 有氣泡時(shí)，不僅會(huì)使得光刻膠噴涂不均勻，成品率下降，還會(huì)導(dǎo)致光刻膠的 實(shí)際涂布量變少，形成的光刻膠薄層的厚度變薄。因此，在更換光刻膠過(guò)濾 器或者上新光刻膠時(shí)，需要做氣泡移除的動(dòng)作，將留在過(guò)濾器、電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵 以及光刻膠運(yùn)送管路中的氣泡排出，避免氣泡通過(guò)光刻膠運(yùn)送管路到達(dá)晶圓 表面，形成缺陷。
圖1為現(xiàn)有帶有光刻膠氣泡排除系統(tǒng)的光刻膠涂布系統(tǒng)示意圖。如圖1
所示，光刻膠涂布系統(tǒng)包括光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)102，用于存儲(chǔ)光刻膠；光刻膠 氣泡排除系統(tǒng)104，用于排除光刻膠中的氣泡；第一光刻膠運(yùn)送管路IOO,用 于連通光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)102與氣泡排除系統(tǒng)104，將光刻膠從光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng) 102輸出到氣泡排除系統(tǒng)104;光刻膠回吸系統(tǒng)106，用以控制光刻膠正確的 分布體積，使得光刻膠噴出平順，防止氣泡進(jìn)入光刻膠內(nèi)及防止光刻膠在晶 圓上旋涂時(shí)，殘留光刻膠材料滴入；第四光刻膠運(yùn)送管路118，用于連通光刻 膠氣泡排除系統(tǒng)104與光刻膠回吸系統(tǒng)106,將光刻膠從光刻膠氣泡排除系統(tǒng) 104輸出到光刻膠回吸系統(tǒng)106;光刻膠噴出系統(tǒng)108,將光刻膠噴出涂布在 晶圓上；第五光刻膠運(yùn)送管路120，用于連通光刻膠回吸系統(tǒng)106與光刻膠噴 出系統(tǒng)108，將光刻膠從光刻膠回吸系統(tǒng)106輸出到光刻膠噴出系統(tǒng)108。
其中，光刻膠氣泡排除系統(tǒng)104中還包括消耗偵測(cè)桶(L/Etank) 110， 通過(guò)第一光刻膠運(yùn)送管路100將所述消耗偵測(cè)桶110的光刻膠輸入端與光刻 膠存儲(chǔ)系統(tǒng)102的光刻膠輸出端連接，暫存少量光刻膠，阻止氣泡進(jìn)入后端； 消耗偵測(cè)桶滿(mǎn)狀態(tài)感應(yīng)器(L/E Upper Sensor) 105，位于第一光刻膠運(yùn)送管路 100上，通過(guò)感應(yīng)第一光刻膠運(yùn)送管路100中是否有光刻膠來(lái)檢測(cè)光刻膠存儲(chǔ) 系統(tǒng)102中的光刻膠是否用完，如用完則在光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)102加入新光刻 膠，如沒(méi)用完則進(jìn)行后續(xù)排除氣泡或光刻膠涂布步驟；第三排氣管路IOI，與 消耗偵測(cè)桶IIO排氣口連接，用于排除消耗偵測(cè)桶110內(nèi)光刻膠中的氣泡；第三排氣閥109，安裝于第三排氣管路101上，開(kāi)啟時(shí)使消耗偵測(cè)桶110內(nèi)光 刻膠中的氣泡從第三排氣管路101中排入廠(chǎng)務(wù)廢液處理系統(tǒng)，關(guān)閉時(shí)光刻膠 中的氣泡不排出第三排氣管路101;氣泡收集桶(Trap tank) 112，通過(guò)第二 光刻膠運(yùn)送管路103將氣泡收集桶112的光刻膠輸入端與消耗偵測(cè)桶110的 光刻膠輸出端連通；光電傳感器107，安裝于第二光刻膠運(yùn)送管路103上，用 于檢測(cè)消耗偵測(cè)桶110中的光刻膠是否用完，如用完則將光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)102 中的光刻膠運(yùn)輸至檢測(cè)消耗偵測(cè)桶110中，如沒(méi)用完則進(jìn)行后續(xù)排除氣泡或 光刻膠涂布步驟；第一排氣管路115,與氣泡收集桶112排氣口連接，用于排 除氣泡收集桶112內(nèi)光刻膠中的氣泡；第一排氣閥111,位于第一排氣管路115 上，開(kāi)啟時(shí)使氣泡收集桶112內(nèi)光刻膠中的氣泡從第一排氣管路115中排入 廠(chǎng)務(wù)廢液處理系統(tǒng)，關(guān)閉時(shí)光刻膠中的氣泡不從第一排氣管路115排出；電 機(jī)驅(qū)動(dòng)泵(RDSPump) 114,通過(guò)第三光刻膠運(yùn)送管路117將電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵114 的光刻膠輸入端與氣泡收集桶112的光刻膠輸出端連通，用于將光刻膠存儲(chǔ) 系統(tǒng)102中的光刻膠回吸并噴出至光刻膠回吸系統(tǒng)106;過(guò)濾器116,與電機(jī) 驅(qū)動(dòng)泵114連接，將電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵114內(nèi)帶氣泡光刻膠輸入至過(guò)濾器116，將氣 泡過(guò)濾掉，而光刻膠輸回到電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵114;第二排氣管路119，與電機(jī)驅(qū)動(dòng) 泵114排氣口連接，用于排除電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵114內(nèi)光刻膠中的氣泡；氣泡偵測(cè) 感應(yīng)器(L/E Sensor) 113，位于第四光刻膠運(yùn)送管路118上，偵測(cè)是否有遺漏 的氣泡從電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵114輸出，其中第四光刻膠運(yùn)送管路118與氣泡排除系 統(tǒng)104中的電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵114光刻膠輸出端連接。
繼續(xù)參考圖1,現(xiàn)有光刻膠涂布系統(tǒng)在更換光刻膠過(guò)濾器或者更換新光刻 膠時(shí)排除氣泡，包括下列步驟開(kāi)啟消耗偵測(cè)桶110的第三排氣管路101上 的第三排氣閥109，使消耗偵測(cè)桶110內(nèi)光刻膠中的氣泡輸出至廠(chǎng)務(wù)廢液處理 系統(tǒng)；開(kāi)啟氣泡收集桶112的第一排氣管路115上的第一排氣閥111，使氣泡 收集桶112內(nèi)光刻膠中的氣泡輸出至廠(chǎng)務(wù)廢液處理系統(tǒng)；通過(guò)電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵114中的真空腔產(chǎn)生負(fù)壓將光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)102中的光刻膠回吸入電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵 114;其間，光刻膠第一光刻膠運(yùn)送管路100從光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)102輸出至消 4毛偵測(cè)桶(L/Etank) 110，所述其中一毛偵測(cè)桶(L/Etank) IIO用于暫存少量 光刻膠，阻止氣泡進(jìn)入后端，第一光刻膠運(yùn)送管路100上有消耗偵測(cè)桶滿(mǎn)狀 態(tài)感應(yīng)器105,感應(yīng)第一光刻膠運(yùn)送管路100中是否有光刻膠來(lái)檢測(cè)光刻膠存 儲(chǔ)系統(tǒng)102中的光刻膠是否用完，如用完則在光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)102加入新光 刻膠，如沒(méi)用完則進(jìn)行后續(xù)排除氣泡或光刻膠涂布步驟；光刻膠經(jīng)過(guò)消耗偵 測(cè)桶110的光刻膠輸出端輸出進(jìn)入第二光刻膠運(yùn)送管路103，再經(jīng)由第二光刻 膠運(yùn)送管路103將光刻膠輸入至氣泡收集桶112，其中第二光刻膠運(yùn)送管路 103上有光電傳感器107，用于檢測(cè)消耗偵測(cè)桶IIO中的光刻膠是否用完，如 用完則將光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)102中的光刻膠運(yùn)輸至檢測(cè)消耗偵測(cè)桶110中，如 沒(méi)用完則進(jìn)行后續(xù)排除氣泡或光刻膠涂布步驟；光刻膠由氣泡收集桶112輸 出至第三光刻膠運(yùn)送管路117,再經(jīng)由第三光刻膠運(yùn)送管路117輸入至電機(jī)驅(qū) 動(dòng)泵114;光刻膠從電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵114中輸入至過(guò)濾器116中將氣泡過(guò)濾掉，光 刻膠輸回至電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵114中；將過(guò)濾器116未過(guò)濾掉的氣泡經(jīng)由第二排氣 管路119排出至廠(chǎng)務(wù)廢液處理系統(tǒng)中；然后通過(guò)電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵114將光刻膠輸 出至第四光刻膠運(yùn)送管路118,再通過(guò)第四光刻膠運(yùn)送管路118進(jìn)入光刻膠回 吸系統(tǒng)106中，回吸系統(tǒng)106用以控制光刻膠正確的分布體積，使得光刻膠 噴出平順，防止氣泡進(jìn)入光刻膠內(nèi)及防止光刻膠在晶圓上旋涂時(shí)，殘留光刻 膠材料滴入；其中第四光刻膠運(yùn)送管路118上有的氣泡偵測(cè)感應(yīng)器113,用于 偵測(cè)是否有遺漏的氣泡從電才幾驅(qū)動(dòng)泵114輸出，最后光刻膠從回收系統(tǒng)106 中輸出經(jīng)由第五光刻膠運(yùn)送管路120輸入至光刻膠噴出系統(tǒng)108被噴出。
由于光刻膠特性和光刻膠運(yùn)送管路等的影響，當(dāng)更換光刻膠過(guò)濾器或者 更換新光刻膠后的排氣泡操作，會(huì)有2/3~3/4瓶光刻膠會(huì)通過(guò)排氣管路，排放 到廠(chǎng)務(wù)廢液處理系統(tǒng)中，造成了很大的浪費(fèi)。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的問(wèn)題是提供一種光刻膠氣泡排除系統(tǒng)及排除方法，防止光 刻膠的浪費(fèi)。
為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種光刻膠氣泡排除系統(tǒng)，包括氣泡收 集桶，所述氣泡收集桶上設(shè)置有第一排氣管路；電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵，通過(guò)光刻膠運(yùn) 送管路將其輸入端與氣泡收集桶的光刻膠輸出端連通，所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵上有 第二排氣管路；第一電磁閥，位于第二排氣管路上，關(guān)閉時(shí)，使光刻膠留在 第二排氣管路內(nèi)；光刻膠回收管路，將第二排氣管路與氣泡收集桶連接，使 電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵內(nèi)的光刻膠輸出至氣泡收集桶，且與第二排氣管路的接口位于第 一電磁閥和電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵之間；第二電磁閥，位于光刻膠回收管路上，開(kāi)啟時(shí)， 使光刻膠從電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵經(jīng)由光刻膠回收管路輸入至氣泡收集桶。
在光刻膠回收管路與第二排氣管路的接口處安裝有三通電磁閥；當(dāng)排氣 泡時(shí)，與第一電》茲閥連通的通路關(guān)閉，與第二電磁閥及電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵氣泡連通 的通路開(kāi)啟；當(dāng)排氣泡結(jié)束后，與第一電磁閥電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵氣泡輸出口連通的 通路開(kāi)啟，與第二電石茲閥連通的通路關(guān)閉。
本發(fā)明提供一種光刻膠氣泡排除的方法，包括下列步驟
a. 將第二排氣管路上的第一電磁閥關(guān)閉，光刻膠回收管路上的第二電磁閥 開(kāi)啟；
b. 將氣泡收集桶中的光刻膠通過(guò)光刻膠運(yùn)送管路輸入電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵中；
c. 電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵將光刻膠壓出至第二排氣管路中，并輸入光刻膠回收管路；
d. 光刻膠通過(guò)第二電磁閥和光刻膠回收管路輸入氣泡收集桶；
e. 光刻膠中的氣泡通過(guò)氣泡收集桶上的第一排氣管路排出。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明在光刻膠氣泡排除系統(tǒng)
中加了第一電磁閥，位于第二排氣管路上，關(guān)閉時(shí)，使光刻膠留在第二排氣 管路內(nèi)；光刻膠回收管路，將第二排氣管路與氣泡收集桶連接，使電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵內(nèi)的光刻膠輸出至氣泡收集桶，且與第二排氣管路的接口位于第一電磁閥
和電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵之間；第二電磁閥，位于光刻膠回收管路上，開(kāi)啟時(shí)，使光刻 膠從電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵經(jīng)由光刻膠回收管路輸入至氣泡收集桶。使帶氣泡的光刻膠 能不斷重新回到氣泡收集桶中，進(jìn)行循環(huán)排除氣泡，提高了光刻膠的利用率， 減少了光刻膠的浪費(fèi)。
圖1為現(xiàn)有帶有光刻膠氣泡排除系統(tǒng)的光刻膠涂布系統(tǒng)示意圖2是本發(fā)明帶有光刻膠氣泡排除系統(tǒng)的光刻膠涂布系統(tǒng)第一實(shí)施例示 意圖3是本發(fā)明帶有光刻膠氣泡排除系統(tǒng)的光刻膠涂布系統(tǒng)第二實(shí)施例示 意圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)有技術(shù)中，在更換光刻膠過(guò)濾器或者更換新光刻膠時(shí)，需要做氣泡移 除的動(dòng)作，將留在過(guò)濾器、電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵以及光刻膠運(yùn)送管路中的氣泡排出， 避免氣泡通過(guò)光刻膠運(yùn)送管路到達(dá)晶圓表面，形成缺陷。然而由于光刻膠特 性和管路等的影響，當(dāng)更換光刻膠過(guò)濾器或者更換新光刻膠后的排氣泡操作， 會(huì)有2/3~3/4瓶光刻膠會(huì)通過(guò)排氣管路，排放到廠(chǎng)務(wù)廢液處理系統(tǒng)中，造成了 很大的浪費(fèi)。本發(fā)明在光刻膠氣泡排除系統(tǒng)中加了第一電磁閥，位于第二排 氣管路上，關(guān)閉時(shí)，使光刻膠留在第二排氣管路內(nèi)；光刻膠回收管路，將第 二排氣管路與氣泡收集桶連接，使電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵內(nèi)的光刻膠輸出至氣泡收集桶， 且與第二排氣管路的接口位于第一電磁閥和電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵之間；第二電磁閥，
位于光刻膠回收管路上，開(kāi)啟時(shí)，使光刻膠從電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵經(jīng)由光刻膠回收管 路輸入至氣泡收集桶。使帶氣泡的光刻膠能不斷重新回到氣泡收集桶中，進(jìn) 行循環(huán)排除氣泡，提高了光刻膠的利用率，減少了光刻膠的浪費(fèi)。為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具 體實(shí)施方式做詳細(xì)的說(shuō)明。本發(fā)明提供的光刻膠氣泡排除系統(tǒng)，包括氣泡收集桶，所述氣泡收集 桶上設(shè)置有第一排氣管路；電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵，通過(guò)光刻膠運(yùn)送管路將其輸入端與 氣泡收集桶的光刻膠輸出端連通，所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵上有第二排氣管路；第一 電磁閥，位于第二排氣管路上，關(guān)閉時(shí)，使光刻膠留在第二排氣管路內(nèi)；光 刻膠回收管路，將第二排氣管路與氣泡收集桶連接，使電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵內(nèi)的光刻 膠輸出至氣泡收集桶，且與第二排氣管路的接口位于第 一電磁閥和電機(jī)驅(qū)動(dòng) 泵之間；第二電磁閥，位于光刻膠回收管路上，開(kāi)啟時(shí)，使光刻膠從電機(jī)驅(qū) 動(dòng)泵經(jīng)由光刻膠回收管路輸入至氣泡收集桶。本發(fā)明提供的光刻膠氣泡排除方法，包括下列步驟a. 將第二排氣管路上的第一電磁閥關(guān)閉，光刻膠回收管路上的第二電磁閥開(kāi)啟；b. 將氣泡收集桶中的光刻膠通過(guò)光刻膠運(yùn)送管路輸入電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵中；c. 電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵將光刻膠壓出至第二排氣管路中，并輸入光刻膠回收管路；d. 光刻膠通過(guò)第二電磁閥和光刻膠回收管路輸入氣泡收集桶；e. 光刻膠中的氣泡通過(guò)氣泡收集桶上的第一排氣管路排出。圖2是本發(fā)明帶有光刻膠氣泡排除系統(tǒng)的光刻膠涂布系統(tǒng)第一實(shí)施例示 意圖。如圖2所示，光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)202，用于存儲(chǔ)光刻膠；光刻膠氣泡排除 系統(tǒng)204，用于排除光刻膠中的氣泡；第一光刻膠運(yùn)送管路200,用于連通光 刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)202與氣泡排除系統(tǒng)204，將光刻膠從光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)202輸出 到氣泡排除系統(tǒng)204;光刻膠回吸系統(tǒng)206，用以控制光刻膠正確的分布體積， 使得光刻膠噴出平順，防止氣泡進(jìn)入光刻膠內(nèi)及防止光刻膠在晶圓上旋涂時(shí)， 殘留光刻膠材料滴入；第四光刻膠運(yùn)送管路222，用于連通光刻膠氣泡排除系 統(tǒng)204與光刻膠回吸系統(tǒng)206，將光刻膠從光刻膠氣泡排除系統(tǒng)204輸出到光刻膠回吸系統(tǒng)206;光刻膠噴出系統(tǒng)208,將光刻膠噴出涂布在晶圓上；第五 光刻月交運(yùn)送管路223，用于連通光刻月交回吸系統(tǒng)206與光刻膠噴出系統(tǒng)208， 將光刻膠從光刻膠回吸系統(tǒng)206輸出到光刻膠噴出系統(tǒng)208。其中，光刻膠氣泡排除系統(tǒng)204中還包括消耗偵測(cè)桶210，通過(guò)第一光 刻膠運(yùn)送管路200將所述消耗偵測(cè)桶210的光刻膠輸入端與光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng) 202的光刻膠輸出端連接，暫存少量光刻膠，阻止氣泡進(jìn)入后端；消耗偵測(cè)桶 滿(mǎn)狀態(tài)感應(yīng)器205，位于第一光刻膠運(yùn)送管路200上，通過(guò)感應(yīng)第一光刻膠運(yùn) 送管路200中是否有光刻膠來(lái)檢測(cè)光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)202中的光刻膠是否用完， 如用完則在光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)202加入新光刻膠，如沒(méi)用完則進(jìn)行后續(xù)排除氣 泡或光刻膠涂布步驟；第三排氣管路201，與消耗偵測(cè)桶210排氣口連接，用 于排除消耗偵測(cè)桶210內(nèi)光刻膠中的氣泡；第三排氣閥209，安裝于第三排氣 管路201上，開(kāi)啟時(shí)使消耗偵測(cè)桶210內(nèi)光刻膠中的氣泡從第三排氣管路201 中排入廠(chǎng)務(wù)廢液處理系統(tǒng)，關(guān)閉時(shí)光刻膠中的氣泡不從第三排氣管路201排 出；氣泡收集桶212,通過(guò)第二光刻膠運(yùn)送管路203將氣泡收集桶的光刻膠輸 入端與消耗偵測(cè)桶210的光刻膠輸出端連通；光電傳感器207，安裝于第二光 刻膠運(yùn)送管路203上，用于檢測(cè)消耗偵測(cè)桶210中的光刻膠是否用完，如用 完則將光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)202中的光刻膠運(yùn)輸至檢測(cè)消耗偵測(cè)桶210中，如沒(méi) 用完則進(jìn)行后續(xù)排除氣泡或光刻膠涂布步驟；第一排氣管路215,與氣泡收集 桶212排氣口連接，用于排除氣泡收集桶212內(nèi)光刻膠中的氣泡；第一排氣 閥211，位于第一排氣管路215上，開(kāi)啟時(shí)使氣泡收集桶212內(nèi)光刻膠中的氣 泡從第一排氣管路215中排入廠(chǎng)務(wù)廢液處理系統(tǒng)，關(guān)閉時(shí)光刻膠中的氣泡不 從第一排氣管路215排出；電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214，通過(guò)第三光刻膠運(yùn)送管路219將 電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214的光刻膠輸入端與氣泡收集桶212的光刻膠輸出端連通，用 于將光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)202中的光刻膠回吸并噴出至光刻膠回吸系統(tǒng)206;過(guò)濾 器216，與電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214連接，將電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214內(nèi)帶氣泡光刻膠輸入至過(guò)濾器216，將氣泡過(guò)濾掉，而光刻膠輸回到電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214;第二排氣管路221， 與電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214排氣口連接，用于排除電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214內(nèi)光刻膠中的氣泡； 第一電磁閥220，位于第二排氣管路221上，排氣泡時(shí)關(guān)閉，控制光刻膠不輸 出第二排氣管路221，排氣泡結(jié)束后開(kāi)啟，使光刻膠中的剩余氣泡從第二排氣 管路221輸出；光刻膠回收管路217，將第二排氣管路221與氣泡收集桶212 連接，且與第二排氣管路221的接口 224位于第一電石茲閥220和電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵 214之間，將電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214中的光刻膠回收至氣泡收集桶212中；第二電磁 閥218,位于光刻月交回收管路217上，排氣泡時(shí)開(kāi)啟，4吏光刻膠通過(guò)光刻膠回 收管路217進(jìn)入氣泡收集桶212，排氣泡結(jié)束后關(guān)閉，使光刻膠進(jìn)入后續(xù)光刻 膠回吸系統(tǒng)206和光刻膠噴出系統(tǒng)208，由殘留氣泡則由第二排氣管路221排 出至廠(chǎng)務(wù)廢液處理系統(tǒng)；氣泡偵測(cè)感應(yīng)器213,位于第四光刻膠運(yùn)送管路222 上，偵測(cè)是否有遺漏的氣泡從電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214輸出，其中第四光刻膠運(yùn)送管 路222與氣泡排除系統(tǒng)204中的電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214光刻膠輸出端連接。除本實(shí)施例外，在光刻膠回收管路217與第二排氣管路221的接口 224 處可安裝三通電磁閥，當(dāng)排氣泡時(shí)，與第一電磁閥220連通的通路關(guān)閉，與 第二電磁閥218及電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214氣泡輸出口連通的通路開(kāi)啟；當(dāng)排氣泡結(jié) 束后，與第一電磁閥220及電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214氣泡輸出口連通的通路開(kāi)啟，與 第二電》茲閥218連通的通路關(guān)閉。繼續(xù)參考圖2,本發(fā)明光刻膠涂布系統(tǒng)在更換光刻膠過(guò)濾器或者更換新光 刻膠時(shí)排除氣泡，包括下列步驟開(kāi)啟消耗偵測(cè)桶210的第三排氣管路201 上的第三排氣閥209，使消耗偵測(cè)桶210內(nèi)光刻膠中的氣泡輸出至廠(chǎng)務(wù)廢液處 理系統(tǒng)；開(kāi)啟氣泡收集桶212的第一排氣管路215上的第一排氣閥211，使氣 泡收集桶212內(nèi)光刻膠中的氣泡輸出至廠(chǎng)務(wù)廢液處理系統(tǒng)；關(guān)閉電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵 214的第二排氣管路221上的第一電磁閥220，并開(kāi)啟光刻膠回收管路217上 的第二電磁閥218;通過(guò)電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214中的真空腔產(chǎn)生負(fù)壓將光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)202中的光刻膠回吸入電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214;其間，光刻膠第一光刻膠運(yùn)送管路 200從光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)202輸出至消耗偵測(cè)桶210,所述其中耗偵測(cè)桶210用 于暫存少量光刻膠，阻止氣泡進(jìn)入后端，第一光刻膠運(yùn)送管路200上有消耗 偵測(cè)桶滿(mǎn)狀態(tài)感應(yīng)器205，感應(yīng)第一光刻膠運(yùn)送管路200中是否有光刻膠來(lái)檢 測(cè)光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)202中的光刻膠是否用完，如用完則在光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)202 加入新光刻膠，如沒(méi)用完則進(jìn)行后續(xù)排除氣泡或光刻膠涂布步驟；光刻膠經(jīng) 過(guò)消耗偵測(cè)桶210的光刻膠輸出端輸出，再經(jīng)由第二光刻膠運(yùn)送管路203將 光刻膠輸入至氣泡收集桶212,其中打開(kāi)氣泡收集桶212的第一排氣管路215 上的第一排氣閥211使光刻膠中的氣泡輸出至廠(chǎng)務(wù)廢液處理系統(tǒng)，第二光刻 膠運(yùn)送管路203上有光電傳感器207，用于檢測(cè)消耗偵測(cè)桶210中的光刻膠是 否用完，如用完則將光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)202中的光刻膠運(yùn)輸至檢測(cè)消耗偵測(cè)桶 210中，如沒(méi)用完則進(jìn)行后續(xù)排除氣泡或光刻膠涂布步驟；光刻膠由氣泡收集 桶212輸出至第三光刻膠運(yùn)送管路219，再經(jīng)由第三光刻膠運(yùn)送管路219輸入 至電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214;光刻膠從電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214輸入至過(guò)濾器216中將氣泡過(guò)濾 掉，光刻膠輸回至電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214中；將過(guò)濾器216未過(guò)濾掉的氣泡經(jīng)由第 二排氣管路221排出至光刻膠回收管路217，經(jīng)過(guò)光刻膠回收管路217及光刻 膠回收管路217第二電磁閥218光刻膠回到氣泡收集桶212中，小氣泡在低 壓大容器氣泡收集桶212中形成大的氣泡，大氣泡在浮力的作用下會(huì)聚集在 氣泡收集桶212的排氣口處，經(jīng)由第一排氣管路215排出，因而氣泡不會(huì)被 再次進(jìn)入電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214中；將光刻膠不斷從電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214經(jīng)過(guò)光刻膠回 收管路217運(yùn)送回氣泡收集桶212，直至光刻膠中的氣泡量不影響涂布質(zhì)量； 然后開(kāi)啟第一電磁閥220，關(guān)閉第二電磁閥218;然后通過(guò)電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214將 光刻膠輸出至第四光刻膠運(yùn)送管路222,再通過(guò)第四光刻膠運(yùn)送管路222進(jìn)入 光刻膠回吸系統(tǒng)206中，回吸系統(tǒng)206用以控制光刻膠正確的分布體積，使 得光刻膠噴出平順，防止氣泡進(jìn)入光刻膠內(nèi)及防止光刻膠在晶圓上旋涂時(shí)，殘留光刻膠材料滴入；其中第四光刻膠運(yùn)送管路222上有的氣泡偵測(cè)感應(yīng)器 213,用于偵測(cè)是否有遺漏的氣泡從電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵214輸出，最后光刻膠從回收 系統(tǒng)206中輸出經(jīng)由第五光刻膠運(yùn)送管路223輸入至光刻膠噴出系統(tǒng)208被 噴出。
除本實(shí)施例外，如果只是為了在更換光刻膠過(guò)濾器或者更換新光刻膠時(shí) 排除氣泡，那么無(wú)需安裝第二電磁閥218。而為了后續(xù)涂覆光刻膠時(shí)不受影響， 在涂光刻膠時(shí)，則需要用到第二電磁閥218，并同時(shí)關(guān)閉第二電磁閥218,開(kāi) 啟第一電磁閥220。
圖3是本發(fā)明帶有光刻膠氣泡排除系統(tǒng)的光刻膠涂布系統(tǒng)第二實(shí)施例示 意圖。如圖3所示，光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)302，用于存儲(chǔ)光刻膠；光刻膠氣泡排除 系統(tǒng)304，用于排除光刻膠中的氣泡；第一光刻膠運(yùn)送管路300，用于連通光 刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)302與氣泡排除系統(tǒng)304,將光刻膠從光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)302輸出 到氣泡排除系統(tǒng)304;光刻膠回吸系統(tǒng)306,用以控制光刻膠正確的分布體積， 使得光刻膠噴出平順，防止氣泡進(jìn)入光刻膠內(nèi)及防止光刻膠在晶圓上旋涂時(shí)， 殘留光刻膠材料滴入；第四光刻膠運(yùn)送管路322,用于連通光刻膠氣泡排除系 統(tǒng)304與光刻膠回吸系統(tǒng)306,將光刻膠從光刻膠氣泡排除系統(tǒng)304輸出到光 刻膠回吸系統(tǒng)306;光刻膠噴出系統(tǒng)308，將光刻膠噴出涂布在晶圓上；第五 光刻膠運(yùn)送管路323,用于連通光刻膠回吸系統(tǒng)306與光刻膠噴出系統(tǒng)308, 將光刻膠從光刻膠回吸系統(tǒng)306輸出到光刻膠噴出系統(tǒng)308。
其中，光刻膠氣泡排除系統(tǒng)304中還包括消耗偵測(cè)桶310，通過(guò)第一光 刻膠運(yùn)送管路300將所述消耗偵測(cè)桶310的光刻膠輸入端與光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng) 302的光刻膠輸出端連接，暫存少量光刻膠，阻止氣泡進(jìn)入后端；消耗偵測(cè)桶 滿(mǎn)狀態(tài)感應(yīng)器305，位于第一光刻膠運(yùn)送管路300上，通過(guò)感應(yīng)第一光刻膠運(yùn)
官
如用完則在光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)302加入新光刻膠，如沒(méi)用完則進(jìn)行后續(xù)排除氣泡或光刻膠涂布步驟；第三排氣管路301，與消耗偵測(cè)桶310排氣口連接，用 于排除消耗偵測(cè)桶310內(nèi)光刻膠中的氣泡；第三排氣閥309，安裝于第三排氣 管路301上，開(kāi)啟時(shí)使消耗偵測(cè)桶310內(nèi)光刻膠中的氣泡從第三排氣管路301 中排入廠(chǎng)務(wù)廢液處理系統(tǒng)，關(guān)閉時(shí)光刻膠中的氣泡不從第三排氣管路301排 出；氣泡收集桶312，通過(guò)第二光刻膠運(yùn)送管路303將氣泡收集桶的光刻膠輸 入端與消耗偵測(cè)桶310的光刻膠輸出端連通；光電傳感器307，安裝于第二光 刻膠運(yùn)送管路303上，用于檢測(cè)消耗偵測(cè)桶310中的光刻膠是否用完，如用 完則將光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)302中的光刻膠運(yùn)輸至檢測(cè)消耗偵測(cè)桶310中，如沒(méi) 用完則進(jìn)行后續(xù)排除氣泡或光刻膠涂布步驟；第一排氣管路315，與氣泡收集 桶312排氣口連接，用于排除氣泡收集桶312內(nèi)光刻膠中的氣泡；第一排氣 閥311,位于第一排氣管路315上，開(kāi)啟時(shí)使氣泡收集桶312內(nèi)光刻膠中的氣 泡從第一排氣管路315中排入廠(chǎng)務(wù)廢液處理系統(tǒng)，關(guān)閉時(shí)光刻膠中的氣泡不 從第一排氣管路315排出；電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314，通過(guò)第三光刻膠運(yùn)送管路319將 電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314的光刻膠輸入端與氣泡收集桶312的光刻膠輸出端連通，用 于將光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)302中的光刻膠回吸并噴出至光刻膠回吸系統(tǒng)306;過(guò)濾 器316，與電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314連接，將電才幾驅(qū)動(dòng)泵314內(nèi)帶氣泡光刻膠輸入至過(guò) 濾器316,將氣泡過(guò)濾掉，而光刻膠輸回到電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314;第二排氣管路321， 與電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314排氣口連接，用于排除電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314內(nèi)光刻膠中的氣泡； 第一電磁閥320,位于第二排氣管路321上，排氣泡時(shí)關(guān)閉，控制光刻膠不輸 出第二排氣管路321，排氣泡結(jié)束后開(kāi)啟，使光刻膠中的剩余氣泡從第二排氣 管路321輸出；光刻膠回收管路317,將第二排氣管路321與氣泡收集桶312 連接，且與第二排氣管路321的接口 324位于第一電磁閥320和電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵 314之間，將電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314中的光刻膠回收至氣泡收集桶312中；第二電磁 閥318,位于光刻膠回收管路317上，排氣泡時(shí)開(kāi)啟，使光刻膠通過(guò)光刻膠回 收管路317進(jìn)入氣泡收集桶312,排氣泡結(jié)束后關(guān)閉，使光刻膠進(jìn)入后續(xù)光刻膠回吸系統(tǒng)306和光刻膠噴出系統(tǒng)308，由殘留氣泡則由第二排氣管路321排 出至廠(chǎng)務(wù)廢液處理系統(tǒng)；第三電磁閥325，位于第二排氣管路321上，且處于 接口 324和電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314之間，排氣泡時(shí)關(guān)閉，控制光刻膠不輸出第二排 氣管路321,排氣泡結(jié)束后開(kāi)啟，使電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314內(nèi)光刻膠中剩余的氣泡輸 出第二排氣管路321至廠(chǎng)務(wù)廢液處理系統(tǒng)；氣泡偵測(cè)感應(yīng)器313，位于第四光 刻膠運(yùn)送管路322上，偵測(cè)是否有遺漏的氣泡從電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314輸出，其中 第四光刻膠運(yùn)送管路322與氣泡排除系統(tǒng)304中的電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314光刻膠輸 出端連接。
除本實(shí)施例外，在光刻膠回收管路317與第二排氣管路321的接口 324 處可安裝三通電^f茲閥，當(dāng)排氣泡時(shí)，與第一電^P茲閥320連通的通路關(guān)閉，與 第二電磁閥318及電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314氣泡輸出口連通的通路開(kāi)啟；當(dāng)排氣泡結(jié) 束后，與第一電》茲閥320及電4幾驅(qū)動(dòng)泵314氣泡輸出口連通的通路開(kāi)啟，與 第二電^f茲閥318連通的通路關(guān)閉。
繼續(xù)參考圖3，本發(fā)明光刻膠涂布系統(tǒng)在更換光刻膠過(guò)濾器或者更換新光 刻膠時(shí)排除氣泡，包括下列步驟開(kāi)啟消耗偵測(cè)桶310的第三排氣管路301 上的第三排氣閥309，使消耗偵測(cè)桶310內(nèi)光刻膠中的氣泡輸出至廠(chǎng)務(wù)廢液處 理系統(tǒng)；開(kāi)啟氣泡收集桶312的第一排氣管路315上的第一排氣閥311，使氣 泡收集桶312內(nèi)光刻膠中的氣泡輸出至廠(chǎng)務(wù)廢液處理系統(tǒng)；關(guān)閉電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵 314的第二排氣管路321上的第一電磁閥320，并開(kāi)啟光刻膠回收管路317上 的第二電磁閥318和位于第二排氣管路321上處于接口 324和電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314 之間的第三電磁閥325;通過(guò)電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314中的真空腔產(chǎn)生負(fù)壓將光刻膠存 儲(chǔ)系統(tǒng)302中的光刻月交回吸入電才幾驅(qū)動(dòng)泵314;其間，光刻膠第一光刻膠運(yùn)送 管路300從光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)302輸出至消耗偵測(cè)桶310，所述其中耗偵測(cè)桶 310用于暫存少量光刻膠，阻止氣泡進(jìn)入后端，第一光刻膠運(yùn)送管路300上有 消耗偵測(cè)桶滿(mǎn)狀態(tài)感應(yīng)器305，感應(yīng)第一光刻膠運(yùn)送管路300中是否有光刻膠來(lái)檢測(cè)光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)302中的光刻膠是否用完，如用完則在光刻膠存儲(chǔ)系 統(tǒng)302加入新光刻膠，如沒(méi)用完則進(jìn)行后續(xù)排除氣泡或光刻膠涂布步驟；光 刻膠經(jīng)過(guò)消耗偵測(cè)桶310的光刻膠輸出端輸出，再經(jīng)由第二光刻膠運(yùn)送管路 303將光刻膠輸入至氣泡收集桶312，其中打開(kāi)氣泡收集桶312的第一排氣管 路315上的第一排氣閥311使光刻膠中的氣泡輸出至廠(chǎng)務(wù)廢液處理系統(tǒng)，第 二光刻膠運(yùn)送管路303上有光電傳感器307,用于檢測(cè)消耗偵測(cè)桶310中的光 刻膠是否用完，如用完則將光刻膠存儲(chǔ)系統(tǒng)302中的光刻膠運(yùn)輸至檢測(cè)消耗 偵測(cè)桶310中，如沒(méi)用完則進(jìn)行后續(xù)排除氣泡或光刻膠涂布步驟；光刻膠由 氣泡收集桶312輸出至第三光刻膠運(yùn)送管路319，再經(jīng)由第三光刻膠運(yùn)送管路 319輸入至電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314;光刻膠從電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314輸入至過(guò)濾器316中將 氣泡過(guò)濾掉，光刻膠輸回至電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314中；將過(guò)濾器316未過(guò)濾掉的氣 泡經(jīng)由第二排氣管路321及第三電磁閥325排出至光刻膠回收管路317，經(jīng)過(guò) 光刻膠回收管路317及光刻膠回收管路317第二電磁閥318光刻膠回到氣泡 收集桶312中，小氣泡在^f氐壓大容器氣泡收集桶312中形成大的氣泡，大氣 泡在浮力的作用下會(huì)聚集在氣泡收集桶312的排氣口處，經(jīng)由第一排氣管路 315排出，因而氣泡不會(huì)被再次進(jìn)入電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314中；將光刻膠不斷從電機(jī) 驅(qū)動(dòng)泵314經(jīng)過(guò)光刻膠回收管路317運(yùn)送回氣泡收集桶312，直至光刻膠中的 氣泡量不影響涂布質(zhì)量；然后開(kāi)啟第一電磁閥320,關(guān)閉第二電磁閥318;然 后通過(guò)電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314將光刻膠輸出至第四光刻膠運(yùn)送管路322，再通過(guò)第四 光刻月交運(yùn)送管^各322進(jìn)入光刻膠回吸系統(tǒng)306中，回吸系統(tǒng)306用以控制光 刻膠正確的分布體積，使得光刻膠噴出平順，防止氣泡進(jìn)入光刻膠內(nèi)及防止 光刻膠在晶圓上旋涂時(shí)，殘留光刻膠材料滴入；其中第四光刻膠運(yùn)送管路322 上有的氣泡偵測(cè)感應(yīng)器313，用于偵測(cè)是否有遺漏的氣泡從電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵314輸 出，最后光刻膠從回收系統(tǒng)306中輸出經(jīng)由第五光刻膠運(yùn)送管路323輸入至 光刻膠噴出系統(tǒng)308被噴出。除本實(shí)施例外，如果只是為了在更換光刻膠過(guò)濾器或者更換新光刻膠時(shí)
排除氣泡，那么無(wú)需安裝第二電磁閥318。而為了后續(xù)涂覆光刻膠時(shí)不受影響， 在涂光刻月史時(shí)，則需要用到第二電磁閥318，并同時(shí)關(guān)閉第二電》茲閥318，開(kāi) 啟第一電》茲閥220和第三電石茲閥325。
本發(fā)明雖然以較佳實(shí)施例公開(kāi)如上，但其并不是用來(lái)限定本發(fā)明，任何 本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能的變動(dòng)和 修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以本發(fā)明權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1. 一種光刻膠氣泡排除系統(tǒng)，包括氣泡收集桶，所述氣泡收集桶上設(shè)置有第一排氣管路；電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵，通過(guò)光刻膠運(yùn)送管路將其輸入端與氣泡收集桶的光刻膠輸出端連通，所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵上有第二排氣管路；其特征在于，還包括第一電磁閥，位于第二排氣管路上，關(guān)閉時(shí)，使光刻膠留在第二排氣管路內(nèi)；光刻膠回收管路，將第二排氣管路與氣泡收集桶連接，使電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵內(nèi)的光刻膠輸出至氣泡收集桶，且與第二排氣管路的接口位于第一電磁閥和電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵之間；第二電磁閥，位于光刻膠回收管路上，開(kāi)啟時(shí)，使光刻膠從電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵經(jīng)由光刻膠回收管路輸入至氣泡收集桶。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠氣泡排除系統(tǒng)，其特征在于在光刻膠回收 管路與第二排氣管路的接口處安裝有三通電磁閥；當(dāng)排氣泡時(shí)，與第一電磁 閥連通的通路關(guān)閉，與第二電磁閥及電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵氣泡連通的通路開(kāi)啟；當(dāng)排 氣泡結(jié)束后，與第一電磁閥電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵氣泡輸出口連通的通路開(kāi)啟，與第二 電磁閥連通的通路關(guān)閉。
3. —種光刻膠氣泡排除的方法，其特征在于，包括下列步驟a. 將第二排氣管路上的第一電磁閥關(guān)閉，光刻膠回收管路上的第二電磁閥 開(kāi)啟；b. 將氣泡收集桶中的光刻膠通過(guò)光刻膠運(yùn)送管路輸入電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵中；c. 電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵將光刻膠壓出至第二排氣管路中，并輸入光刻膠回收管路；d. 光刻膠通過(guò)第二電磁閥和光刻膠回收管路輸入氣泡收集桶；e. 光刻膠中的氣泡通過(guò)氣泡收集桶上的第一排氣管路排出。
全文摘要
一種光刻膠氣泡排除系統(tǒng)，包括氣泡收集桶，所述氣泡收集桶上設(shè)置有第一排氣管路；電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵，通過(guò)光刻膠運(yùn)送管路將其輸入端與氣泡收集桶的光刻膠輸出端連接，可將氣泡收集桶中的光刻膠回吸至電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵內(nèi)；第一電磁閥，位于第二排氣管路上，關(guān)閉時(shí)，使光刻膠留在第二排氣管路內(nèi)；光刻膠回收管路，將第二排氣管路與氣泡收集桶連接，使電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵內(nèi)的光刻膠輸出至氣泡收集桶，且與第二排氣管路的接口位于第一電磁閥和電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵之間；第二電磁閥，位于光刻膠回收管路上，開(kāi)啟時(shí)，使光刻膠從電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵經(jīng)由光刻膠回收管路輸入至氣泡收集桶。上述系統(tǒng)，光刻膠得到反復(fù)利用，提高了光刻膠的利用率。
文檔編號(hào)G03F7/16GK101246311SQ20071003743
公開(kāi)日2008年8月20日 申請(qǐng)日期2007年2月12日 優(yōu)先權(quán)日2007年2月12日
發(fā)明者胡習(xí)虎 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司