專利名稱：噴出裝置及噴出方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及噴出裝置及噴出方法。
背景技術(shù)：
伴隨著近年來信息化社會的發(fā)展，對于更大型的液晶顯示裝置的需求急劇增加， 希望提高其生產(chǎn)性。在彩色液晶顯示裝置中，為了使顯示圖像彩色化而使用彩色濾色器。彩 色濾色器是通過在基板上的規(guī)定區(qū)域以規(guī)定的圖案配置R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))三色油墨 而制成的。油墨的噴出多采用噴墨方式。目前，多數(shù)的噴出裝置具有相對于基準(zhǔn)面靜止的臺座、在臺座上能沿第一方向移 動的基板移動部、能沿垂直于所述第一方向并平行于基準(zhǔn)面的第二方向移動的頭保持部。在專利文獻(xiàn)1記載的裝置中，采用以在基板上掃描的方式使頭保持部往返移動并 噴出油墨的頭移動方式。頭移動方式中存在的課題是，與基板的大型化成比例，油墨的噴出 需要長時間，另外，為了均勻地以規(guī)定的間隔使油墨命中，難以進(jìn)行頭的控制。相對于頭移動方式，頭固定方式可解決上述問題，該頭固定方式為，相對于臺座靜 止的頭保持部具有多個噴出口，對通過其下的基板噴出油墨的方式。但是，在頭固定方式中，為了從噴出口使油墨噴出至基板上的各命中位置，需要正 確地對基板和頭進(jìn)行對位的作業(yè)。伴隨著基板的大型化，基板移動部的移動的控制變難，即使在使基板進(jìn)入頭的下 方之前進(jìn)行基板與頭的對位，在上述第一方向上從對位位置到噴出位置移動的期間，也可 能會產(chǎn)生在基板移動部的朝向上，在各導(dǎo)軌上的移動量之差導(dǎo)致的平行于基準(zhǔn)面的旋轉(zhuǎn)方 向的傾斜(在與基準(zhǔn)面平行的面上的相對于第一方向或第二方向的傾斜)。S卩，為了使油墨從噴出口噴出至各命中位置，需要如下作業(yè)，S卩，檢測在通過頭之 下的期間所產(chǎn)生的基板移動部的所述傾斜，一邊進(jìn)行修正一邊噴出。專利文獻(xiàn)1 (日本)特開平11-248925號公報專利文獻(xiàn)2 (日本)特開2008-238143號公報專利文獻(xiàn)3 (日本)特開2008-145203號公報專利文獻(xiàn)4 (日本)特開2006-245174號公報
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題而創(chuàng)造的，其目的在于，提供一種噴出裝 置，其構(gòu)成為，在將噴出液向通過頭的下方的基板噴出中，能使用激光對伴隨移動而產(chǎn)生的 基板移動部的平行于基準(zhǔn)面的旋轉(zhuǎn)方向的傾斜進(jìn)行檢測并修正。為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種噴出裝置，具有臺座，相對于基準(zhǔn)面靜止； 兩個導(dǎo)軌，在所述臺座上沿第一方向配置；頭保持部，固定于所述臺座，保持分別設(shè)置了多 個噴出口的頭；基板移動部，載置于所述兩個導(dǎo)軌，且能配置基板；以及導(dǎo)軌上移動機構(gòu)， 能使所述基板移動部沿所述兩個導(dǎo)軌在所述第一方向移動，通過所述頭保持部之下，從所述噴出口向配置于所述基板移動部上的基板噴出噴出液，使所述噴出液的液滴命中于所述 基板，該噴出裝置，具有第一、第二主送光裝置，分別向所述第一方向發(fā)送第一、第二主測 定光；第一、第二主鏡裝置，與所述第一方向垂直且在平行于所述基準(zhǔn)面的第二方向分開設(shè) 置，當(dāng)照射所述第一、第二主測定光時，進(jìn)行反射而對第一、第二主反射光進(jìn)行返光；第一主 干涉裝置，接受所述第一主測定光和所述第一主反射光，對所述第一主測定光與所述第一 主反射光的第一主干涉結(jié)果進(jìn)行檢測；第二主干涉裝置，接受所述第二主測定光和所述第 二主反射光，對所述第二主測定光與所述第二主反射光的第二主干涉結(jié)果進(jìn)行檢測；測定 裝置，根據(jù)所述第一、第二主干涉結(jié)果，分別求出所述第一主干涉裝置與所述第一主鏡裝置 之間的第一主距離、和所述第二主干涉裝置與所述第二主鏡裝置之間的第二主距離；以及 控制裝置，傳送給所述測定裝置的測定結(jié)果，所述第一、第二主干涉裝置、和所述第一、第二 主鏡裝置中任一個裝置配置于所述基板移動部，其它的裝置相對于所述臺座靜止，所述第 一、第二主干涉裝置配置于所述第一、第二主鏡裝置與所述第一、第二主送光裝置之間，所 述導(dǎo)軌上移動機構(gòu)具有第一移動機構(gòu)，對所述基板移動部施加對所述第一導(dǎo)軌的第一移 動力；以及，第二移動機構(gòu)，對所述基板移動部施加對所述第二導(dǎo)軌的第二移動力，所述控 制裝置根據(jù)所述第一、第二主距離，決定所述第一、第二移動力的大小。本發(fā)明的噴出裝置中，所述控制裝置基于所述第一、第二主距離的差的被設(shè)定的 值，控制所述第一、第二移動機構(gòu)，使所述基板移動部沿所述兩個導(dǎo)軌移動。本發(fā)明的噴出裝置中，具有頭移動機構(gòu)，能使所述頭在所述第二方向移動；第一 副送光裝置，在所述第二方向發(fā)送第一副測定光；副鏡裝置，當(dāng)照射所述第一副測定光時， 進(jìn)行反射并對第一副反射光進(jìn)行返光；第一副干涉裝置，接受所述第一副測定光和所述第 一副反射光，對所述第一副測定光與所述第一副反射光的干涉結(jié)果進(jìn)行檢測；以及測定裝 置，根據(jù)所述第一副干涉結(jié)果，求出所述副鏡裝置與所述第一副干涉裝置之間的距離，所述 第一副干涉裝置和所述副鏡裝置中的任一個裝置配置于與所述基板移動部的移動方向平 行的側(cè)面，其它的裝置相對于所述臺座靜止，其中，所述基板移動部的移動方向是所述第一 方向，所述控制裝置根據(jù)所述副鏡裝置和所述第一副干涉裝置之間的距離，求出所述基板 移動部在所述第二方向的位置，根據(jù)所述基板移動部在所述第二方向的位置與所述頭在所 述第二方向的位置之差，決定所述頭移動機構(gòu)移動所述頭的移動量。本發(fā)明的噴出裝置中，具有頭移動機構(gòu)，能使所述頭在所述第二方向移動；第 一、第二副送光裝置，發(fā)送第一、第二副測定光；副鏡裝置，當(dāng)照射所述第一、第二副測定光 時，進(jìn)行反射并對第一、第二副反射光進(jìn)行返光；第一、第二副干涉裝置，接受所述第一、第 二副測定光和所述第一、第二副反射光，對所述第一、第二副測定光與所述第一、第二副反 射光的干涉結(jié)果進(jìn)行檢測；以及測定裝置，根據(jù)所述第一、第二副干涉結(jié)果，求出所述副鏡 裝置與所述第一、第二副干涉裝置之間的距離，所述第一、第二副干涉裝置和所述副鏡裝置 中的任一個裝置配置于所述基板移動部，其它的裝置相對于所述臺座靜止，所述控制裝置 根據(jù)所述副鏡裝置與所述第一副干涉裝置之間的距離、所述副鏡裝置與所述第二副干涉裝 置之間的距離中的任一個或兩個，求出所述基板移動部在所述第二方向的位置，根據(jù)所述 基板移動部在所述第二方向的位置與所述頭在所述第二方向的位置之差，決定所述頭移動 機構(gòu)移動所述頭的移動量。本發(fā)明的的噴出裝置中，所述控制裝置基于所述基板移動部在所述第二方向的位置與所述頭在所述第二方向的位置的差的被設(shè)定的值，控制所述頭移動機構(gòu)，使所述基板 移動部沿所述兩個導(dǎo)軌移動。本發(fā)明提供一種噴出方法，在將水平的臺座上的頭夾持于其間并彼此位于相反側(cè) 的起點和終點之間，在沿兩個導(dǎo)軌從所述起點向所述終點在第一方向移動的基板移動部上 載置基板，使所述基板移動部朝向所述終點移動，在所述基板通過所述頭的下方的期間，從 噴出口向所述基板噴出噴出液，所述基板移動部到達(dá)所述終點后，使所述基板干燥，從所述 基板移動部上卸下所述基板，在所述基板移動部移動前，測定所述基板移動部的在與基準(zhǔn) 面平行的面上的相對于所述第一方向或所述第二方向的傾斜，在所述基板移動部的移動 中，測定所述基板移動部的所述傾斜，分別改變所述兩個導(dǎo)軌上的各移動量，以使所述基板 移動部的所述傾斜在移動中產(chǎn)生的誤差為零，邊使所述基板移動部的所述傾斜與移動前的 所述傾斜相等，邊使所述基板通過所述頭的下方。本發(fā)明的噴出方法中，在所述基板移動部移動前，預(yù)先測定所述基板移動部的所 述第二方向的位置，在所述基板移動部的移動中，在使所述基板移動部的所述傾斜與移動 開始前的所述傾斜相等后，測定所述基板移動部在所述第二方向的位置，移動所述頭，以使 所述基板移動部在所述第二方向的位置與所述頭在所述第二方向的位置之差與移動開始 前相同，邊使所述基板移動部和所述頭之間的所述第二方向的相對位置關(guān)系與移動前的相 對位置關(guān)系相同，邊使所述基板通過所述頭的下方。本發(fā)明的噴出方法中，在所述基板移動部上載置所述基板后，使所述基板移動部 移動，在所述基板進(jìn)入所述頭的下方之前，使一端在所述頭的面前的位置靜止，以將所述基 板上的各命中位置通過設(shè)置于所述頭的噴出口的正下方的方式進(jìn)行對位。本發(fā)明的噴出方法中，在所述基板移動部和所述臺座中的任一個上，配置當(dāng)照射 第一、第二主測定光時進(jìn)行反射并將第一、第二主反射光進(jìn)行返光的第一、第二主鏡裝置， 在另一個上，配置接受所述第一主測定光和所述第一主反射光并對所述第一主測定光與所 述第一主反射光的第一主干涉結(jié)果進(jìn)行檢測的第一主干涉裝置，以及接受所述第二主測定 光和所述第二主反射光并對所述第二主測定光與所述第二主反射光的第二主干涉結(jié)果進(jìn) 行檢測的第二主干涉裝置，根據(jù)所述第一、第二主干涉結(jié)果求出所述第一、第二主干涉裝置 與所述第一、第二主鏡裝置之間的第一、第二主距離，根據(jù)所述第一、第二主距離測定所述 基板移動部的所述傾斜，在所述基板移動部和所述臺座中的任一個上，配置當(dāng)照射第一、第 二副測定光時進(jìn)行反射并將第一、第二副反射光進(jìn)行返光的副鏡裝置，在另一個上，配置接 受所述第一副測定光和所述第一副反射光并對所述第一副測定光與所述第一副反射光的 第一副干涉結(jié)果進(jìn)行檢測的第一副干涉裝置，以及接受所述第二副測定光和所述第二副反 射光并對所述第二副測定光與所述第二副反射光的第二副干涉結(jié)果進(jìn)行檢測的第二副干 涉裝置，根據(jù)所述第一、第二副干涉結(jié)果求出所述第一、第二副干涉裝置與所述副鏡裝置之 間的第一、第二副距離，根據(jù)所述第一、第二副距離的任一個或兩個測定所述基板移動部的 所述第二方向的位置。本發(fā)明能對沿兩個導(dǎo)軌移動基板的基板移動部在各導(dǎo)軌上的移動量的差導(dǎo)致的 平行于基準(zhǔn)面的旋轉(zhuǎn)方向的傾斜進(jìn)行檢測并修正，因此，能正確地將油墨向基板噴出，提高 基板制造的成品率。
圖1是本發(fā)明的噴出裝置的一例的側(cè)面圖；圖2是本發(fā)明的噴出裝置的一例的平面圖；圖3(a)是將第一、第二固定攝像機的圖像放置于一個平面坐標(biāo)時的固定攝像機 的圖像的示意圖，(b)是將第三、第四固定攝像機的圖像放置于一個平面坐標(biāo)時的固定攝像 機的圖像的示意圖；圖4是說明頭與噴出口的配置的圖；圖5是說明多個噴出口排成交錯排列而形成一個噴出口列時的頭與噴出口的配 置的圖；圖6是噴出裝置的A-A線截斷剖面圖；圖7是噴出裝置的B-B線截斷剖面圖；圖8是載置了第一、第二基板時的噴出裝置的平面圖；符號說明10……噴出裝置20……基板移動部30……頭保持部32......頭35......噴出口41……導(dǎo)軌上移動機構(gòu)48a、48b……第一、第二移動機構(gòu)49......頭移動機構(gòu)50......基板61a、61b……第一、第二主鏡裝置61c……副鏡裝置62a、62b……第一、第二主干涉裝置62c、62d……第一、第二副干涉裝置70......臺座71a、71b……第一、第二導(dǎo)軌92……控制裝置93a、93b……第一、第二測定裝置
具體實施例方式下面，將在RGB (紅、綠、藍(lán))彩色濾色器的制造中使用噴出裝置的情況作為一例 進(jìn)行說明。本發(fā)明不限定于RGB彩色濾色器的制造，例如也包含EL(場致發(fā)光)顯示元件或 液晶顯示裝置的制造。<噴出裝置的結(jié)構(gòu)>圖1表示本發(fā)明中使用的噴出裝置10的側(cè)面圖，圖2表示平面圖。噴出裝置10具有相對于水平基準(zhǔn)面靜止的臺座70 ；長的第一、第二導(dǎo)軌71a、71b ；基板移動部20 ；和頭保持部30。第一、第二導(dǎo)軌71a、71b以各自的長尺寸方向相互平 行地固定于臺座70上?；逡苿硬?0配置于第一、第二導(dǎo)軌71a、71b上。頭保持部30被 固定于臺座70的支柱72支承，且固定于比第一、第二導(dǎo)軌71a、71b上的基板移動部20的 高度更高的位置。基板移動部20具有導(dǎo)軌上移動機構(gòu)41。導(dǎo)軌上移動機構(gòu)41配置于第一、第二導(dǎo) 軌7la、7Ib與基板移動部20之間。導(dǎo)軌上移動機構(gòu)41在第一、第二導(dǎo)軌71a、71b上分別具有第一、第二移動機構(gòu) 48a、48b。當(dāng)?shù)谝?、第二移動機構(gòu)48a、48b分別接受到從控制裝置92傳送的信號時，在基板 移動部20分別施加相對于第一、第二導(dǎo)軌71a、71b的第一、第二移動力，使基板移動部20 沿第一、第二導(dǎo)軌71a、71b移動。第一、第二移動機構(gòu)48a、48b例如使用線性電動機。圖6表示說明導(dǎo)軌上移動機 構(gòu)41的結(jié)構(gòu)之一例的噴出裝置10的A-A線截斷剖面圖。第一、第二移動機構(gòu)48a、48b分 別具有第一、第二可變電磁鐵45a、45b和多個第一、第二固定電磁鐵46a、46b。第一、第二 可變電磁鐵45a、45b固定于基板移動部20下。多個第一、第二固定電磁鐵46a、46b遍及第 一、第二導(dǎo)軌71a、71b的各自的長尺寸方向，在各導(dǎo)軌內(nèi)等間隔地排列并固定。在朝向基板移動部20之下的面上設(shè)有空氣噴出口 47，通過從空氣噴出口 47噴出 空氣，使空氣層介于基板移動部20與第一、第二導(dǎo)軌71a、71b之間，且不接觸。當(dāng)?shù)谝?、第二移動機構(gòu)48a、48b分別各自接受從控制裝置92傳送的信號時，能分 別使多個第一、第二的固定電磁鐵46a、46b的磁極遍及各導(dǎo)軌的長尺寸方向變化，并對分 別安裝了第一、第二可變電磁鐵45a、45b的基板移動部20，施加相對于第一、第二導(dǎo)軌71a、 71b的第一、第二移動力。由于第一、第二導(dǎo)軌71a、71b固定于臺座70上，因此，當(dāng)基板移動 部20被施加第一、第二移動力時，在第一、第二導(dǎo)軌71a、71b上移動?；逡苿硬?0構(gòu)成為，通過沿第一、第二導(dǎo)軌71a、71b移動，能在頭保持部30之 下往返移動。本發(fā)明的噴出裝置10通過使基板移動部20在兩個導(dǎo)軌(第一、第二導(dǎo)軌71a、 71b)上移動，與使基板移動部20在一個導(dǎo)軌上移動的情況相比，即使基板移動部20大型化 也能穩(wěn)定地進(jìn)行移動。下面，將沿第一、第二導(dǎo)軌71a、71b移動的基板移動部20的移動方向(第一方向) 稱為y軸方向，將與之垂直且與基準(zhǔn)面平行的方向(第二方向)稱為χ軸方向。頭保持部30具有安裝板33 ；和安裝于安裝板33的多個頭32。圖4是說明頭32與噴出口 35的配置的示意圖。各頭32具有多個噴出口 35。一個頭32的多個噴出口 35在該頭32的一面排列成 一列來形成噴出口列，或者，排列成相互平行的多個列，形成相互平行的多個噴出口列。一個頭32中的噴出口 35在一方向上等間隔地配置，當(dāng)將該間隔設(shè)為噴出口間隔 (噴出口的中心間距離)D時，各頭32的噴出口間隔D彼此也設(shè)為相同的值。在本發(fā)明中，一個頭32的多個噴出口 35只要在一方向上等距離配置，則不一定必 須排列在一個直線上，例如，也可以如圖5所示那樣排成交錯排列，形成一個噴出口列。在此，各頭32以上述一方向成為與χ軸方向平行的朝向而安裝于安裝板33。各頭32形成為，頭的上述一方向的長度比噴出口列的長度(端部的噴出口的中心間的上述一方向的距離)加上噴出口間隔D的長度更大。因此，當(dāng)將多個頭32排列成與χ 軸平行的一列，并將y軸上的位置設(shè)為相同時，位于一個頭的噴出口列端部的噴出口、和位 于鄰接的頭的噴出口列端部的噴出口之間的χ軸方向的距離，以比噴出口間隔D更大的距 離分開。本發(fā)明中，沿χ軸方向排列的多個頭32即便在不同的頭的端部的噴出口之間，也 以使χ軸方向的距離變?yōu)閲姵隹陂g隔D的方式，將鄰接的頭的噴出口 35在y軸上配置于不 同的位置，鄰接的頭的端部在χ軸上重疊，包含不同的頭的噴出口之間，各噴出口 35按照在 X軸上以噴出口間隔D排列的方式配置。該情況下，沿χ軸排列的多個頭的噴出口 35能在y軸上配置為兩種位置，當(dāng)鄰接 的頭的噴出口列交替配置為兩種位置時，這樣配置的一組多個頭32被交錯排列，構(gòu)成一個 頭組38。在安裝板33上頭組38被配置多組。規(guī)定數(shù)η的頭組38構(gòu)成頭群，在一個頭群中，在一個頭組中鄰接的兩個噴出口 35 之間，以在X軸方向成等間隔D/n的方式各配置一個其它頭組的噴出口 35。頭保持部30具有未圖示墨盒，在墨盒中貯存有R、G、B三色中的一種顏色的油墨。 各頭32與墨盒連接。各噴出口 35分別具有在其內(nèi)部裝滿油墨(噴出液)的油墨室，在各油墨室分別配 置有壓力產(chǎn)生裝置。各壓力產(chǎn)生裝置接受從外部的控制裝置92傳送的信號，使油墨室內(nèi)產(chǎn) 生規(guī)定的壓力，進(jìn)而從噴出口 35噴出規(guī)定量的油墨。在頭保持部30具有三個以上的頭群的情況下，各頭32按頭群的每一個連接于不 同顏色的墨盒，由此，一個頭保持部30能噴出3種顏色的油墨。圖7是噴出裝置10的B-B線截斷剖面圖?；逡苿硬?0具有第一、第二載置臺24a、24b。第一載置臺24a比第二載置臺24b 大，第一載置臺24a配置于基板移動部20上，第二載置臺24b配置于第一載置臺24a上。第二載置臺24b的朝向上方的面，形成為與第一載置臺24a的朝向上方的面相同 的高度。第一、第二載置臺24a、24b的朝向上方的面均具有未圖示的吸入口，吸入口連接 于未圖示的真空泵。將基板50在第一、第二載置臺24a、24b上以與兩載置臺相關(guān)的方式配 置后，當(dāng)利用真空泵進(jìn)行排氣時，基板50被真空吸附于第一、第二載置臺24a、24b上并被保持。如圖8所示，對于本發(fā)明的噴出裝置10，也可將第一、第二基板50a、50b分別配置 于第一、第二載置臺24a、24b上。在配置了第一、第二基板50a、50b后，當(dāng)利用未圖示的真 空泵進(jìn)行排氣時，第一、第二基板50a、50b分別被真空吸附于第一、第二載置臺24a、24b上 并被保持。參照圖2、圖8，在基板50和第一、第二基板50a、50b上，分別規(guī)定有R、G、B各色應(yīng) 命中的區(qū)域(命中位置)?；?0和第一、第二基板50a、50b分別具有在相對于一方向平 行的方向和垂直的方向形成格子狀的黑底(black matrix)，各命中位置配置于由黑底區(qū)劃 出的區(qū)域。在基板50和第一、第二基板50a、50b的各基板上的一方向鄰接的命中位置的間隔，與一個頭群中在χ軸方向鄰接的噴出口間隔D/n相同，或者形成為在χ軸方向鄰接的噴 出口間隔D/n的整數(shù)倍的長度。噴出裝置10具有分別沿y軸方向發(fā)送第一、第二主測定光65a、65b的第一、第二 主送光裝置；在X軸方向離開設(shè)置，在照射第一、第二主測定光65a、65b時，進(jìn)行反射并對第 一、第二主反射光66a、66b進(jìn)行返光的第一、第二主鏡裝置61a、61b ；接受第一主測定光65a 和第一主反射光66a，對第一主測定光65a和第一主反射光66a的第一主干涉結(jié)果進(jìn)行檢測 的第一主干涉裝置62a ；接受第二主測定光65b和第二主反射光66b，對第二主測定光65b 和第二主反射光66b的第二主干涉結(jié)果進(jìn)行檢測的第二主干涉裝置62b。第一、第二主干涉裝置62a、62b、和第一、第二主鏡裝置61a、61b中任一個裝置被 配置于基板移動部20，其它的裝置固定于相對基準(zhǔn)面靜止的臺座70上。在此，噴出裝置10至少具有一個光源75、和第一、第二分束器63a、63b。由光源75 和第一分束器63a構(gòu)成第一主送光裝置，由光源75和第二分束器63b構(gòu)成第二主送光裝 置。從第一、第二主送光裝置分別發(fā)送第一、第二主測定光65a、65b。第一、第二主干涉裝置62a、62b配置于第一、第二主鏡裝置61a、61b的鏡面與第 一、第二主送光裝置之間。將第一、第二主干涉結(jié)果向第二測定裝置93b傳送，求出第一、第二主干涉裝置 62a、62b與第一、第二主鏡裝置61a、61b之間的第一、第二主距離。控制裝置92構(gòu)成為，當(dāng)傳送來第一、第二主距離的測定結(jié)果時，根據(jù)其差決定第 一、第二移動力的大小。在控制裝置92能設(shè)定第一、第二主距離的差A(yù)L。例如，在基板移動部20開始在y軸方向移動前，當(dāng)對控制裝置92設(shè)定使噴出口 35 的X軸方向的排列和基板50上的命中位置的X軸方向的排列平行時的第一、第二主距離的 差A(yù)L時，當(dāng)基板移動部20移動中傳送的第一、第二主距離LpL2的差比設(shè)定的值A(chǔ)L大 (L1-L2 > AL),控制裝置92控制第一移動機構(gòu)48a并減小第一移動力，或者控制第二移動 機構(gòu)48b并增大第二移動力，使第二導(dǎo)軌71b上的移動量大于第一導(dǎo)軌71a上的移動量，使 第一、第二主距離U、L2的差與設(shè)定的值A(chǔ)L相同。當(dāng)?shù)谝弧⒌诙骶嚯xU、L2的差比設(shè)定 的值A(chǔ)L小時(L1-L2 < AL)，控制裝置92控制第一移動機構(gòu)48a并增大第一移動力，或者 控制第二移動機構(gòu)48b并減小第二移動力，使第二導(dǎo)軌71b上的移動量小于第一導(dǎo)軌71a 上的移動量，使第一、第二主距離Lp L2的差與設(shè)定的值Δ L相同。因此，相對于移動中的基板移動部20的前進(jìn)方向的朝向，能維持在與移動開始前 的朝向相同。另外，因為能檢測基板移動部20的正確的移動量，所以能進(jìn)行正確的移動控制。以下的噴出裝置10的說明中，以將基板50載置于基板移動部20上的情況進(jìn)行說 明，但將第一、第二基板50a、50b載置于基板移動部20上的情況也相同。在基板移動部20即將開始移動之前，如后述那樣，載置于基板移動部20上的基板 50旋轉(zhuǎn)，以基板50上的命中位置的χ軸方向的排列與噴出口 35的χ軸方向的排列成為平 行的方式進(jìn)行角度的對位，當(dāng)將相對于基板移動部20的前進(jìn)方向的朝向維持為在與基板 50和噴出口 35的角度對位時相同的朝向時，基板移動部20在基板50相對于噴出口 35進(jìn) 行了角度的對位的狀態(tài)下，在y軸方向移動。
因此，當(dāng)將基板移動部20維持在如上所述的方向并使其移動時，基板50上的各命 中位置與向該命中位置噴出噴出液的噴出口 35之間的y軸方向的距離變?yōu)閺拈_始移動前 的值僅減去基板移動部20的移動量的值，不會在使噴出液從噴出口 35噴出時刻中產(chǎn)生誤差。噴出裝置10具有分別在χ軸方向發(fā)送第一、第二副測定光65c、65d的第一、第二 副送光裝置；當(dāng)照射第一、第二副測定光65c、65d時進(jìn)行反射并對第一、第二副反射光進(jìn)行 返光的副鏡裝置61c ；接受第一副測定光65c和第一副反射光，對第一副測定光65c和第一 副反射光的第一副干涉結(jié)果進(jìn)行檢測的第一副干涉裝置62c ；接受第二副測定光65d和第 二副反射光，對第二副測定光65d和第二副反射光的第二副干涉結(jié)果進(jìn)行檢測的第二副干 涉裝置62d。在此，噴出裝置10具有第三、第四分束器63c、63d。由光源75和第三分束器63c 構(gòu)成第一副送光裝置，由光源75和第四分束器63b構(gòu)成第二副送光裝置。從第一、第二副 送光裝置分別發(fā)送第一、第二副測定光65c、65d。第一副干涉裝置62c和副鏡裝置61c中的任一個裝置配置于與基板移動部20的 移動方向(y軸方向)平行的側(cè)面(第一副干涉裝置62c的情況下，其受光面配置于上述側(cè) 面，副鏡裝置61c的情況下，其反射面配置于上述側(cè)面)，其它的裝置固定于相對基準(zhǔn)面靜 止的臺座70上。在此，第一副干涉裝置62c設(shè)置于相對基準(zhǔn)面靜止的臺座70的、與基板移動部20 的移動范圍分開的側(cè)方位置，即頭保持部30的橫方向的位置，副鏡裝置61c設(shè)置于基板移 動部20的側(cè)面，即鏡面與第一副干涉裝置62c能面對的位置。在此，基板移動部20從在基板移動部20上載置基板50的位置即起點開始移動， 在通過頭保持部30的下方后，到達(dá)將噴出了油墨的基板50從基板移動部20上卸下的位置 即終點，完成移動。第一副干涉裝置62c配置于頭保持部30中的噴出口 35中比最接近起點的噴出口 35更接近起點的位置，副鏡裝置61c的鏡面的終點側(cè)的端部延伸至比最接近基板移動部20 上的基板50的終點的命中位置更接近終點的位置。因此，基板50的最接近終點的命中位置在到達(dá)比最接近起點的噴出口 35更接近 終點的位置之前，第一副干涉裝置62c和副鏡裝置61c的鏡面開始面對。將第一副干涉結(jié)果向第二測定裝置93b傳送，求出第一副干涉裝置62c與副鏡裝 置61c之間的第一副距離。在控制裝置92存儲有臺座70上靜止的第一副干涉裝置62c的相對于基準(zhǔn)面的χ 坐標(biāo)。因此，控制裝置92能從第一副距離的測定結(jié)果求出基板移動部20的相對于基準(zhǔn)面 的χ坐標(biāo)(χ軸方向的位置)。如后述那樣，頭保持部30具有使多個頭32 —體地相對于基準(zhǔn)面在χ軸方向能移 動的頭移動機構(gòu)49。頭移動機構(gòu)49在χ軸方向的移動量以帶士符號由第一測定裝置93a 測定，并向控制裝置92傳送。例如，在頭32開始移動前，設(shè)第一測定裝置93a的值為零，當(dāng) 使頭32從該狀態(tài)移動時，相對于移動開始前的位置的移動后的頭32在χ軸方向的位置就 變?yōu)榭芍??？刂蒲b置92構(gòu)成為當(dāng)傳送來第一副距離的測定結(jié)果時，從第一副距離的測定結(jié)果求出基板移動部20的χ軸方向的位置，并從基板移動部20的χ軸方向的位置與頭32的 X軸方向的位置之差，決定頭移動機構(gòu)49將頭32移動的移動量。例如，控制裝置92按照如下方式構(gòu)成，即，在基板移動部20開始移動前，在以基板 50上的命中位置通過噴出口 35的正下方的方式進(jìn)行對位時，設(shè)頭32的移動量的第一測定 裝置93a的值為零，且當(dāng)在控制裝置92中設(shè)定基板移動部20的χ軸方向的位置時，當(dāng)將基 板移動部20移動中被傳送的第一副距離的值進(jìn)行增減時，根據(jù)該增減，控制裝置92控制頭 移動機構(gòu)49并使頭32移動，使基板移動部20的χ軸方向的位置與頭32的χ軸方向的位 置之差，與設(shè)定的值相同。因此，移動中的基板移動部20與頭32之間的χ軸方向的相對位置關(guān)系能維持為 與移動開始前相同。如后所述，在基板移動部20即將開始移動前，在進(jìn)行基板50與噴出口 35的角度 的對位后，多個頭35成為一體并在χ軸方向移動，以各命中位置通過規(guī)定的噴出口 35的正 下方的方式進(jìn)行χ軸方向的對位，當(dāng)將基板移動部20的朝向如前所述那樣維持為與對位時 相同的朝向，且將基板移動部20與頭32之間的χ軸方向的相對位置關(guān)系維持為與χ軸方 向的對位時相同時，基板移動部20在基板50上的各命中位置通過規(guī)定的噴出口 35的正下 方的狀態(tài)下，在y軸方向移動。因此，當(dāng)基板移動部20維持上述的朝向和位置關(guān)系并進(jìn)行移動時，不會在使噴出 液從噴出口 35噴出的時刻中產(chǎn)生誤差，且不會在基板50上的規(guī)定的命中位置和噴出液實 際命中的位置產(chǎn)生誤差。在臺座70上，在比第一副干涉裝置62c更靠近終點側(cè)的位置，設(shè)有第二副干涉裝 置 62d。當(dāng)基板移動部20進(jìn)行移動時，在第一副干涉裝置62c與副鏡裝置61c的鏡面面對 的期間，第二副干涉裝置62d開始與副鏡裝置61c面對，基板移動部20進(jìn)行移動，副鏡裝置 61c的鏡面的起點側(cè)的端部移動至比第一副干涉裝置62c更靠終點側(cè)，在通過第一副干涉 裝置62c和副鏡裝置61c的鏡面的面對而完成第一副距離的測定時，通過第二副干涉裝置 62d和副鏡裝置61c的鏡面的面對，開始第二副干涉裝置62d與副鏡裝置61c之間的第二副 距離的測定。在控制裝置92存儲有在臺座70上靜止的第二副干涉裝置62d的相對于基準(zhǔn)面的 χ坐標(biāo)。因此，控制裝置92從第二副距離的測定結(jié)果求出基板移動部20相對于基準(zhǔn)面的χ 坐標(biāo)(χ軸方向的位置)。本發(fā)明不限定于在第一副干涉裝置62c和副鏡裝置61c的鏡面的面對結(jié)束時開始 測定第二副距離的情況，也可以是第二副干涉裝置62d和副鏡裝置61c的鏡面開始面對時， 開始第二副距離的測定，直至第一副干涉裝置62c和副鏡裝置61c的鏡面的面對結(jié)束，從第 二副距離的測定結(jié)果求出基板移動部20的χ軸方向的位置，也可從第一、第二副距離的雙 方的測定結(jié)果求出基板移動部20的χ軸方向的位置。在此，第二副干涉裝置62d配置于比最接近終點的噴出口 35的位置更接近終點的 位置，副鏡裝置61c的鏡面的起點側(cè)的端部延伸至比最接近基板移動部20上的基板50的 起點的命中位置更靠起點側(cè)。因此，在第一副干涉裝置62c與副鏡裝置61c的鏡面開始面對后，第一、第二副干涉裝置62c、62d的任一個或兩個持續(xù)進(jìn)行與副鏡裝置61c的面對，直至基板50的最接近起 點的命中位置到達(dá)比最接近終點的噴出口 35更靠近終點的位置，能在進(jìn)行χ軸方向的對位 時的狀態(tài)下，維持基板移動部20與頭32之間的χ軸方向的相對位置關(guān)系。本發(fā)明也可以構(gòu)成為，副鏡裝置61c的鏡面形成為比基板50的命中位置在y軸方 向的排列的長度和噴出口 35在y軸方向的排列的長度之和長，從基板50的最接近終點的 命中位置到達(dá)比最接近起點的噴出口 35更接近終點的位置時開始，直至基板50的最接近 起點的命中位置到達(dá)比最接近終點的噴出口 35更接近終點的位置為止，能持續(xù)進(jìn)行第一 副干涉裝置62c和副鏡裝置61c的鏡面的面對。另外，本發(fā)明中，副鏡裝置61c形成為橫長，在相對于基準(zhǔn)面靜止的臺座70的、離 開基板移動部20的移動范圍的側(cè)方位置，即在頭保持部30的橫方向的位置，長尺寸方向沿 y軸方向設(shè)置，第一、第二副干涉裝置62c、62d可以設(shè)置于基板移動部20。副鏡裝置61c的鏡面朝向基板移動部20的移動范圍配置，在基板移動部20的單 側(cè)面通過與副鏡裝置61c的鏡面相向的位置時，第一副干涉裝置62c或者第二副干涉裝置 62d 一邊與副鏡裝置61c的鏡面面對一邊通過。副鏡裝置61c的起點側(cè)的端部延伸至比最接近起點的噴出口 35更接近起點側(cè)的 位置，同樣，副鏡裝置61c的終點側(cè)的端部延伸至比最接近終點的噴出口 35更接近終點的位置。第一副干涉裝置62c配置于比基板50的最接近終點的命中位置更接近終點的位 置，第二副干涉裝置62d配置于比基板50的最接近起點的命中位置更接近起點的位置。因此，在基板移動部20從起點開始移動，基板50的最接近終點的命中位置到達(dá)比 最接近起點的噴出口 35更接近起點的位置前，第一副干涉裝置62c與副鏡裝置61c的鏡面 開始面對，直至基板50的最接近起點的部分到達(dá)比最接近終點的噴出口 35更接近終點的 位置為止，持續(xù)進(jìn)行第一副干涉裝置62c或者第二副干涉裝置62d與副鏡裝置61c的鏡面 的面對，能在進(jìn)行了 χ軸方向的對位時的狀態(tài)下，維持基板移動部20與頭32之間的χ軸方 向的相對位置關(guān)系。S卩，能利用第一、第二主干涉裝置62a、62b正確地檢測基板移動部20在xy平面上 的旋轉(zhuǎn)方向的傾斜(xy平面上的相對于χ軸方向或y軸方向的傾斜)和y軸方向的移動量。 此外，能利用第一、第二副干涉裝置62c、62d正確地檢測伴隨基板移動部20在y軸方向移 動的χ軸方向的偏移量?！从湍珖姵龇椒ā祵ο蚧?0上噴出油墨(噴出液)的噴出工序進(jìn)行說明。下面，將噴出前在基板移動部20上載置基板50的位置稱為起點，將噴出后從基板 移動部20上卸下基板50的位置稱為終點。起點和終點在y軸上使頭保持部30夾在其間 彼此位于相反側(cè)。通過后述的第一對位工序中的對位作業(yè)，各頭32相對于基準(zhǔn)位置進(jìn)行對位。首先，使基板移動部20移動到起點并靜止。將基板50按照與兩載置臺相關(guān)的方 式載置于第一、第二載置臺24a、24b上，進(jìn)行真空吸附，將基板50吸附保持在第一、第二載 置臺24a,24b上。接著，與基板移動部20 —起，使基板50朝向終點移動，在進(jìn)行頭保持部30的面前的基板50上的各命中位置與規(guī)定的噴出口 35的對位的位置，暫時靜止。如后述的第二對位工序中的對位作業(yè)那樣，通過移動攝像機21和第一、第二固定 攝像機31a、31b，將基板50上的各命中位置與規(guī)定的噴出口 35進(jìn)行對位。對位后，第一、第二主干涉裝置62a、62b已經(jīng)分別與第一、第二主鏡裝置61a、61b 面對，測定第一、第二主干涉裝置62a、62b與第一、第二主鏡裝置61a、61b之間的第一、第二 主距離、或者測定從第一、第二主距離求出的基板移動部20的xy平面上的相對于χ軸方向 (或y軸方向)的傾斜。另外，例如，在使基板移動部20靜止的狀態(tài)下，通過使移動攝像機21移動并對設(shè) 定于基準(zhǔn)面的原點進(jìn)行拍攝，求出基板移動部20的χ軸方向的位置。接著，朝向終點，開始基板移動部20的移動。從第一、第二主距離的測定結(jié)果控制第一、第二移動機構(gòu)48a、48b，且以使第一、第 二主距離之差、或者從第一、第二主距離的差求出的基板移動部20的xy平面上的相對于χ 軸方向(或者y軸方向)的傾斜，與移動開始前的值相等的方式，分別改變第一、第二導(dǎo)軌 71a、71b上的移動量，并使基板移動部20的相對于前進(jìn)方向的朝向與開始移動前已對位的 朝向相同。因此，各命中位置與將噴出液向該命中位置噴出的噴出口 35之間的y軸方向的距 離為，從開始移動前的值僅減去基板移動部20的移動量的值，能算出各命中位置通過將噴 出液噴出到該命中位置的噴出口 35的下方位置的時刻。從由最初進(jìn)行噴出的噴出口 35開始噴出之前，到由最后進(jìn)行噴出的噴出口 35噴 出噴出液為止，持續(xù)進(jìn)行第一、第二副干涉裝置62c、62d的任一個或兩個與副鏡裝置61c的 鏡面的面對，測定第一、第二副干涉裝置62c、62d與副鏡裝置61c之間的第一、第二副距離 的任一個或兩個。從第一、第二副距離的測定結(jié)果的任一個或兩個，求出基板移動部20的χ軸方向 的位置，頭移動機構(gòu)49被控制，且以使基板移動部20的χ軸方向的位置與頭32的χ軸方 向的位置之差，與開始移動前對位的值相同的方式，使頭32移動，使基板移動部20與頭32 之間的χ軸方向的相對位置關(guān)系，與開始移動前已對位的關(guān)系相同。因此，各命中位置通過將噴出液噴出至該命中位置的噴出口 35的正下方。由于命 中位置通過正下方的時刻已經(jīng)算出，所以，在算出的時刻從各噴出口 35噴出的噴出液，命 中規(guī)定的命中位置。當(dāng)基板移動部20到達(dá)終點時，噴出液命中基板50上的各命中位置，在卸下的位置 進(jìn)行干燥后，解除真空吸附，從第一、第二載置臺24a、24b上卸下基板50。如圖8所示，也可將第一、第二基板50a、50b分別載置于第一、第二載置臺24a、24b 上，并將噴出液噴出到第一、第二基板50a、50b上。該情況下，在上述噴出液的噴出方法中， 在通過第二對位工序的對位作業(yè)進(jìn)行第一基板50a與頭32的對位后，立刻通過后述的第三 對位工序的對位作業(yè)進(jìn)行第二基板50b與頭32的對位，接著，朝向終點，開始基板移動部20 的移動。這樣，第一、第二基板50a、50b維持與頭32的對位狀態(tài)并在y軸方向移動，從噴出 口 35噴出的噴出液命中到第一、第二基板50a、50b上的規(guī)定的命中位置?！吹谝粚ξ还ば颉迪旅?，對由原點對位作業(yè)、頭陣列對位作業(yè)、固定攝像機的攝像機基準(zhǔn)點的位置測定作業(yè)構(gòu)成的第一對位工序進(jìn)行說明。基板移動部20具有移動攝像機21。移動攝像機21配置于基板移動部20的y軸 方向的端部。移動攝像機21在上端具有鏡頭，利用移動攝像機21拍攝的圖像通過外部的 控制裝置92進(jìn)行圖像處理。控制裝置92例如使用計算機。當(dāng)將相對于基板移動部20與基板移動部20的移動方向垂直且與基準(zhǔn)面平行的方 向稱為X方向時，基板移動部20具有能使移動攝像機21在X方向移動的攝像機移動機構(gòu) 44。在攝像機移動機構(gòu)44設(shè)置有電動機，當(dāng)接受從控制裝置92傳送的信號時，使移動攝像 機21在X方向移動?！丛c對位作業(yè)〉首先，進(jìn)行移動攝像機21和原點的對位，以判明利用移動攝像機21拍攝的圖像上 的一點的相對于基準(zhǔn)面的xy坐標(biāo)。在外部的測定裝置93設(shè)置有將移動攝像機21的χ坐標(biāo)上的移動量以帶士符號并 進(jìn)行測定的X軸方向距離測定裝置、將y坐標(biāo)上的移動量以帶士符號并進(jìn)行測定的y軸方 向距離測定裝置，在移動攝像機21在兩點間移動時，可判明連結(jié)移動的起點和終點的向量 的χ成分和y成分。由于測定的距離帶符號，因此，往返移動并返回起點時的測定值為零。在移動攝像機21能拍攝的范圍即視野內(nèi)，規(guī)定在視野內(nèi)不動的移動基準(zhǔn)點。該噴出裝置中10中，規(guī)定相對于基準(zhǔn)面靜止的xy坐標(biāo)的原點。使移動攝像機21移動，并假定原點或者通過原點的垂線由移動攝像機拍攝時，對 通過原點的垂線進(jìn)行拍攝，在使原點的圖像、或者通過原點的垂線的圖像與移動基準(zhǔn)點一 致時，設(shè)X軸方向測定距離和y軸方向測定距離的值為零。當(dāng)移動攝像機21從該狀態(tài)起移動時，可判明由移動攝像機21拍攝的圖像上的、與 移動基準(zhǔn)點重疊的位置相對于基準(zhǔn)面的xy坐標(biāo)?！搭^陣列對位作業(yè)〉接著，通過基板移動部20的y軸方向的移動、和移動攝像機21的X方向的移動， 使移動攝像機21位于一個噴出口 35之下。觀測移動攝像機21的圖像，在使移動基準(zhǔn)點和該噴出口 35的圖像的中心一致時， 從測定裝置93的值求出該噴出口 35相對于基準(zhǔn)面的xy坐標(biāo)。利用所有的噴出口 35重復(fù)進(jìn)行這樣的噴出口 35相對于基準(zhǔn)面的xy坐標(biāo)的測定 作業(yè)。各噴出口 35的相對于基準(zhǔn)面的xy坐標(biāo)分別預(yù)先決定設(shè)定值。在相對于基準(zhǔn)面的 xy坐標(biāo)的測定值與設(shè)定值存在誤差時，各頭32所具有的個別頭位置修正單元(微動螺釘) 通過人手或者控制裝置92傳送的信號進(jìn)行控制，并按照噴出口 35的相對于基準(zhǔn)面的xy坐 標(biāo)與設(shè)定值一致的方式進(jìn)行修正。修正后的各噴出口 35的相對于基準(zhǔn)面的xy坐標(biāo)存儲于 控制裝置92。<固定攝像機的攝像機基準(zhǔn)點的位置測定作業(yè)>頭保持部30具有第一、第二、第三、第四固定攝像機31a、31b、31c、31d。第一、第 二、第三、第四固定攝像機31a、31b、31c、31d固定于頭保持部30的y軸方向的一端。第一、 第二、第三、第四固定攝像機31a、31b、31c、31d在下端具有鏡頭，因此，能對在下面移動的 基板50和第一、第二基板50a、50b進(jìn)行拍攝。
第一、第二固定攝像機31a、31b的配置以下述方式設(shè)計，即，在第一、第二固定攝 像機31a、31b上分別設(shè)定的第一、第二攝像機基準(zhǔn)點之間的距離與基板50和第一基板50a 兩基板所分別具有的第一、第二基板基準(zhǔn)點51a、51b之間的距離相等，連結(jié)第一、第二攝像 機基準(zhǔn)點的線段與χ軸方向平行。第三、第四固定攝像機31c、31d的配置以如下方式設(shè)計，S卩，在第三、第四固定攝 像機31c、31d上分別設(shè)定的第三、第四攝像機基準(zhǔn)點之間的距離與第二基板50b所具有的 第三、第四基板基準(zhǔn)點51c、51d之間的距離相等，連結(jié)第三、第四攝像機基準(zhǔn)點的線段與χ 軸方向平行。但是，實際上第一、第二、第三、第四固定攝像機31a、31b、31c、31d由于固定于頭 保持部30時的安裝誤差，而被安裝于偏離設(shè)計值的位置。第一、第二、第三、第四固定攝像機31a、31b、31c、31d在各鏡頭上的攝像機基準(zhǔn)點 的位置具有可以利用移動攝像機21從外面進(jìn)行拍攝的固定標(biāo)記。使移動攝像機21移動， 并使其位于第一固定攝像機31a之下。在利用移動攝像機21拍攝的圖像上，在第一固定攝 像機31a的固定標(biāo)記的圖像與移動基準(zhǔn)點一致時，根據(jù)測定裝置93的值，測定第一固定攝 像機31a的攝像機基準(zhǔn)點的相對于基準(zhǔn)面的xy坐標(biāo)。第二、第三、第四的固定攝像機31b、 31c、31d的攝像機基準(zhǔn)點的相對于基準(zhǔn)面的xy坐標(biāo)也同樣測定，并分別進(jìn)行存儲。本發(fā)明中，基板50的第一、第二基板基準(zhǔn)點51a、51b之間的距離與第一、第二攝像 機基準(zhǔn)點間的距離相同，并不限定于利用第一、第二固定攝像機31a、31b進(jìn)行拍攝的情況， 只要四個固定攝像機31a、31b、31c、31d的攝像機基準(zhǔn)點中的不同的兩個攝像機基準(zhǔn)點間 的距離相同，能利用對應(yīng)的兩個固定攝像機進(jìn)行拍攝即可。〈第二對位工序〉下面，對如下進(jìn)行的第二對位工序進(jìn)行說明，S卩，在基板50或者第一基板50a的任 一個(以下的說明中以第一基板50a為代表)通過頭保持部30的下方的期間，按照基板上 的各命中位置通過至少一個噴出口 35的正下方的方式進(jìn)行對位作業(yè)。利用第一、第二固定攝像機31a、31b拍攝的圖像通過控制裝置92進(jìn)行圖像處理， 判明圖像內(nèi)的規(guī)定位置的相對于基準(zhǔn)面的xy坐標(biāo)。首先，使基板移動部20在y軸方向移動，并使第一基板50a所具有的第一、第二基 板基準(zhǔn)點5la、5Ib分別位于第一、第二固定攝像機3la、3Ib之下。圖3 (a)表示將第一、第二固定攝像機的圖像85a、85b放置于一個平面坐標(biāo)時的固 定攝像機圖像的示意圖。圖3(a)的符號81a、81b表示第一、第二固定攝像機31a、31b的攝像機基準(zhǔn)點，符 號82a、82b表示各自的設(shè)計值(第一、第二設(shè)計值)。符號83a、83b表示第一、第二固定攝 像機31a、31b分別拍攝的第一、第二基板基準(zhǔn)點51a、51b的圖像。控制裝置92根據(jù)各點的坐標(biāo)通過計算求出通過第一、第二設(shè)計值82a、82b的兩點 的直線與通過第一、第二基板基準(zhǔn)點的圖像83a、83b的兩點的直線所形成的角度θ工的值?？刂蒲b置92判明圖像內(nèi)的χ軸方向或者y軸方向，因此，也可通過計算求出通過 第一、第二基板基準(zhǔn)點的圖像83a、83b的兩點的直線與χ軸方向或y軸方向所形成的角度?；逡苿硬?0具有能使第一載置臺24a相對于基板移動部20與基準(zhǔn)面平行地旋 轉(zhuǎn)的第一基板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)42。第一基板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)42中例如使用通過壓縮空氣進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的空氣軸?？刂蒲b置92以連結(jié)第一基板50a上的第一、第二基板基準(zhǔn)點51a、51b的線段與χ 軸方向平行的方式，將使第一載置臺24a相對于基板移動部20與基準(zhǔn)面平行地旋轉(zhuǎn)規(guī)定角 度的信號向第一基板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)42傳送。當(dāng)?shù)谝换逍D(zhuǎn)機構(gòu)42接受從控制裝置92傳送的信號時，使第一載置臺24a、保 持在第一載置臺24a上的第一、第二基板50a、50b，相對于基板移動部20與基準(zhǔn)面平行地旋 轉(zhuǎn)規(guī)定角度。旋轉(zhuǎn)移動后的第一、第二基板基準(zhǔn)點51a、51b通過控制裝置92進(jìn)行圖像處理，相 對于各基準(zhǔn)面的xy坐標(biāo)存儲于控制裝置92。在第一基板50a上，預(yù)先設(shè)定第一、第二基板基準(zhǔn)點51a、51b與各命中位置的相對 位置，因此，根據(jù)第一、第二基板基準(zhǔn)點51a、51b的xy坐標(biāo)求出各命中位置的相對于基準(zhǔn)面 的xy坐標(biāo)。各噴出口 35通過上述的第一對位工序進(jìn)行對位，且相對于基準(zhǔn)面的xy坐標(biāo)被存 儲于控制裝置92。頭保持部30具有使安裝板33相對于頭保持部30在χ軸方向能移動的頭移動機 構(gòu)49。在頭移動機構(gòu)49設(shè)置頭移動電動機?？刂蒲b置92從規(guī)定的噴出口 35的χ坐標(biāo)、和第一基板50a上的第一、第二基板基 準(zhǔn)點51a、51b的χ坐標(biāo)求出誤差，以使誤差為零的方式，將使安裝板33在χ軸方向移動規(guī) 定的距離的信號傳送給頭移動機構(gòu)49。當(dāng)頭移動機構(gòu)49接受從控制裝置92傳送的信號時，使安裝板33、安裝在安裝板 33上的頭32相對于頭保持部30在χ軸方向移動規(guī)定距離。按照以上的順序完成第二對位工序。在該狀態(tài)下，在第一基板50a通過頭保持部 30的下方的期間，第一基板50a上的各命中位置通過至少一個噴出口 35的正下方?！吹谌龑ξ还ば颉迪旅妫瑢θ缦逻M(jìn)行的第三對位工序進(jìn)行說明，S卩，以在第二基板50b通過頭保持部 30的下方的期間，第二基板50b上的各命中位置通過至少一個噴出口 35的正下方的方式進(jìn) 行對位作業(yè)。利用第三、第四固定攝像機31c、31d拍攝的圖像通過控制裝置92進(jìn)行圖像處理， 判明圖像內(nèi)的所希望位置的坐標(biāo)。首先，使基板移動部20在y軸方向移動，并使第二基板50b所具有的第三、第四基 板基準(zhǔn)點51c、51d分別位于第三、第四固定攝像機31c、31d之下。圖3(b)表示將第三、第四固定攝像機的圖像85c、85d放置在一個平面坐標(biāo)時的固 定攝像機圖像的示意圖。圖3(b)的符號81c、81d表示第三、第四固定攝像機85c、85d的攝像機基準(zhǔn)點，符 號82c、82d表示各設(shè)計值(第三、第四設(shè)計值)。符號83c、83d表示第三、第四固定攝像機 85c、85d分別拍攝的第三、第四基板基準(zhǔn)點51c、51d的圖像。控制裝置92根據(jù)各點的坐標(biāo)，通過計算求出通過第三、第四設(shè)計值82c、82d的兩 點的直線與通過第三、第四基板基準(zhǔn)點的圖像83c、83d的兩點的直線所形成的角度θ 2的值。
控制裝置92可判明圖像內(nèi)的χ軸方向或者y軸方向，因此，也可通過計算求出通 過第三、第四基板基準(zhǔn)點的圖像83c、83d的兩點的直線與χ軸方向或y軸方向所形成的角度?；逡苿硬?0具有能使第二載置臺24b相對于第一載置臺24與基準(zhǔn)面平行地旋 轉(zhuǎn)、且在X軸方向能移動的第二基板對位機構(gòu)80。在第二基板對位機構(gòu)80中使用例如xy Θ 工作臺或者UVW工作臺中的任一個。在本發(fā)明中，當(dāng)使用UVW工作臺時，能抑制高度而構(gòu)成 機構(gòu)，因此，能確保第二載置臺24b的穩(wěn)定性，非常合適。控制裝置92以使連結(jié)第二基板50b上的第三、第四基板基準(zhǔn)點51c、51d的線段與 X軸方向平行的方式，將使第二載置臺24b相對于第一載置臺24a與基準(zhǔn)面平行地旋轉(zhuǎn)規(guī)定 角度的信號，傳送給第二基板對位機構(gòu)80。當(dāng)?shù)诙鍖ξ粰C構(gòu)80接受從控制裝置92傳送的信號時，使第二載置臺24b、保 持在第二載置臺24b上的第二基板50b相對于基板移動部20與基準(zhǔn)面平行地旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度。旋轉(zhuǎn)移動后的第三、第四基板基準(zhǔn)點51c、51d通過控制裝置92進(jìn)行圖像處理，相 對于各基準(zhǔn)面的xy坐標(biāo)存儲于控制裝置92。在第二基板50b上，預(yù)先設(shè)定有第三、第四基板基準(zhǔn)點51c、51d與各命中位置的相 對準(zhǔn)置，因此，根據(jù)第三、第四基板基準(zhǔn)點51c、51d的xy坐標(biāo)求出各命中位置的相對于基準(zhǔn) 面的xy坐標(biāo)。各噴出口 35通過上述的第一、第二對位工序進(jìn)行對位，且相對于基準(zhǔn)面的xy坐標(biāo) 被存儲于控制裝置92?？刂蒲b置92根據(jù)第二基板50b上的第三、第四基板基準(zhǔn)點51c、51d的χ坐標(biāo)與規(guī) 定的噴出口 35的χ坐標(biāo)求出誤差，以使誤差為零的方式，將使第二載置臺24b在χ軸方向 移動規(guī)定的距離的信號發(fā)送給第二基板對位機構(gòu)80。當(dāng)?shù)诙鍖ξ粰C構(gòu)80接受從控制裝置92傳送的信號時，使保持在第二載置臺 24b上的第二基板50b相對于第一載置臺24a在χ軸方向移動規(guī)定距離。按照以上的順序完成第三對位工序。在該狀態(tài)下，在第二基板50b通過頭保持部 30的下方的期間，第二基板50b上的各命中位置通過至少一個噴出口 35的正下方。
權(quán)利要求
一種噴出裝置，具有臺座，相對于基準(zhǔn)面靜止；兩個導(dǎo)軌，在所述臺座上沿第一方向配置；頭保持部，固定于所述臺座，保持分別設(shè)置了多個噴出口的頭；基板移動部，載置于所述兩個導(dǎo)軌，且能配置基板；以及導(dǎo)軌上移動機構(gòu)，能使所述基板移動部沿所述兩個導(dǎo)軌在所述第一方向移動，通過所述頭保持部之下，從所述噴出口向配置于所述基板移動部上的基板噴出噴出液，使所述噴出液的液滴命中于所述基板，其特征在于，該噴出裝置，具有第一、第二主送光裝置，分別向所述第一方向發(fā)送第一、第二主測定光；第一、第二主鏡裝置，與所述第一方向垂直且在平行于所述基準(zhǔn)面的第二方向分開設(shè)置，當(dāng)照射所述第一、第二主測定光時，進(jìn)行反射而對第一、第二主反射光進(jìn)行返光；第一主干涉裝置，接受所述第一主測定光和所述第一主反射光，對所述第一主測定光與所述第一主反射光的第一主干涉結(jié)果進(jìn)行檢測；第二主干涉裝置，接受所述第二主測定光和所述第二主反射光，對所述第二主測定光與所述第二主反射光的第二主干涉結(jié)果進(jìn)行檢測；測定裝置，根據(jù)所述第一、第二主干涉結(jié)果，分別求出所述第一主干涉裝置與所述第一主鏡裝置之間的第一主距離、和所述第二主干涉裝置與所述第二主鏡裝置之間的第二主距離；以及控制裝置，傳送給所述測定裝置的測定結(jié)果，所述第一、第二主干涉裝置、和所述第一、第二主鏡裝置中任一個裝置配置于所述基板移動部，其它的裝置相對于所述臺座靜止，所述第一、第二主干涉裝置配置于所述第一、第二主鏡裝置與所述第一、第二主送光裝置之間，所述導(dǎo)軌上移動機構(gòu)具有第一移動機構(gòu)，對所述基板移動部施加對所述第一導(dǎo)軌的第一移動力；以及，第二移動機構(gòu)，對所述基板移動部施加對所述第二導(dǎo)軌的第二移動力，所述控制裝置根據(jù)所述第一、第二主距離，決定所述第一、第二移動力的大小。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴出裝置，其特征在于，所述控制裝置基于所述第一、第二主距離的差的被設(shè)定的值，控制所述第一、第二移動 機構(gòu)，使所述基板移動部沿所述兩個導(dǎo)軌移動。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的噴出裝置，其特征在于， 具有頭移動機構(gòu)，能使所述頭在所述第二方向移動； 第一副送光裝置，在所述第二方向發(fā)送第一副測定光； 副鏡裝置，當(dāng)照射所述第一副測定光時，進(jìn)行反射并對第一副反射光進(jìn)行返光； 第一副干涉裝置，接受所述第一副測定光和所述第一副反射光，對所述第一副測定光 與所述第一副反射光的干涉結(jié)果進(jìn)行檢測；以及測定裝置，根據(jù)所述第一副干涉結(jié)果，求出所述副鏡裝置與所述第一副干涉裝置之間 的距離，所述第一副干涉裝置和所述副鏡裝置中的任一個裝置配置于與所述基板移動部的移 動方向平行的側(cè)面，其它的裝置相對于所述臺座靜止，其中，所述基板移動部的移動方向是 所述第一方向，所述控制裝置根據(jù)所述副鏡裝置和所述第一副干涉裝置之間的距離，求出所述基板移 動部在所述第二方向的位置，根據(jù)所述基板移動部在所述第二方向的位置與所述頭在所述 第二方向的位置之差，決定所述頭移動機構(gòu)移動所述頭的移動量。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的噴出裝置，其特征在于，具有頭移動機構(gòu)，能使所述頭在所述第二方向移動；第一、第二副送光裝置，發(fā)送第一、第二副測定光；副鏡裝置，當(dāng)照射所述第一、第二副測定光時，進(jìn)行反射并對第一、第二副反射光進(jìn)行 返光；第一、第二副干涉裝置，接受所述第一、第二副測定光和所述第一、第二副反射光，對所 述第一、第二副測定光與所述第一、第二副反射光的干涉結(jié)果進(jìn)行檢測；以及測定裝置，根據(jù)所述第一、第二副干涉結(jié)果，求出所述副鏡裝置與所述第一、第二副干 涉裝置之間的距離，所述第一、第二副干涉裝置和所述副鏡裝置中的任一個裝置配置于所述基板移動部， 其它的裝置相對于所述臺座靜止，所述控制裝置根據(jù)所述副鏡裝置與所述第一副干涉裝置之間的距離、所述副鏡裝置 與所述第二副干涉裝置之間的距離中的任一個或兩個，求出所述基板移動部在所述第二方 向的位置，根據(jù)所述基板移動部在所述第二方向的位置與所述頭在所述第二方向的位置之 差，決定所述頭移動機構(gòu)移動所述頭的移動量。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴出裝置，其特征在于，所述控制裝置基于所述基板移動部在所述第二方向的位置與所述頭在所述第二方向 的位置的差的被設(shè)定的值，控制所述頭移動機構(gòu)，使所述基板移動部沿所述兩個導(dǎo)軌移動。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的噴出裝置，其特征在于，所述控制裝置基于所述基板移動部在所述第二方向的位置與所述頭在所述第二方向 的位置的差的被設(shè)定的值，控制所述頭移動機構(gòu)，使所述基板移動部沿所述兩個導(dǎo)軌移動。
7.一種噴出方法，在將水平的臺座上的頭夾持于其間并彼此位于相反側(cè)的起點和終點 之間，在沿兩個導(dǎo)軌從所述起點向所述終點在第一方向移動的基板移動部上載置基板，使所述基板移動部朝向所述終點移動，在所述基板通過所述頭的下方的期間，從噴出口向所述基板噴出噴出液，所述基板移動部到達(dá)所述終點后，使所述基板干燥，從所述基板移動部上卸下所述基板，其特征在于，在所述基板移動部移動前，測定所述基板移動部的在與基準(zhǔn)面平行的面上的相對于所 述第一方向或所述第二方向的傾斜，在所述基板移動部的移動中，測定所述基板移動部的所述傾斜，分別改變所述兩個導(dǎo)軌上的各移動量，以使所述基 板移動部的所述傾斜在移動中產(chǎn)生的誤差為零，邊使所述基板移動部的所述傾斜與移動前的所述傾斜相等， 邊使所述基板通過所述頭的下方。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的噴出方法，其特征在于，在所述基板移動部移動前，預(yù)先測定所述基板移動部的所述第二方向的位置， 在所述基板移動部的移動中，在使所述基板移動部的所述傾斜與移動開始前的所述傾斜相等后，測定所述基板移動 部在所述第二方向的位置，移動所述頭，以使所述基板移動部在所述第二方向的位置與所 述頭在所述第二方向的位置之差與移動開始前相同，邊使所述基板移動部和所述頭之間的所述第二方向的相對位置關(guān)系與移動前的相對 位置關(guān)系相同，邊使所述基板通過所述頭的下方。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的噴出方法，其特征在于，在所述基板移動部上載置所述基板后，使所述基板移動部移動，在所述基板進(jìn)入所述 頭的下方之前，使一端在所述頭的面前的位置靜止，以將所述基板上的各命中位置通過設(shè) 置于所述頭的噴出口的正下方的方式進(jìn)行對位。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的噴出方法，其特征在于，在所述基板移動部上載置所述基板后，使所述基板移動部移動，在所述基板進(jìn)入所述 頭的下方之前，使一端在所述頭的面前的位置靜止，以將所述基板上的各命中位置通過設(shè) 置于所述頭的噴出口的正下方的方式進(jìn)行對位。
11.根據(jù)權(quán)利要求7 10中任一項所述的噴出方法，其特征在于，在所述基板移動部和所述臺座中的任一個上，配置當(dāng)照射第一、第二主測定光時進(jìn)行 反射并將第一、第二主反射光進(jìn)行返光的第一、第二主鏡裝置，在另一個上，配置接受所述 第一主測定光和所述第一主反射光并對所述第一主測定光與所述第一主反射光的第一主 干涉結(jié)果進(jìn)行檢測的第一主干涉裝置，以及接受所述第二主測定光和所述第二主反射光并 對所述第二主測定光與所述第二主反射光的第二主干涉結(jié)果進(jìn)行檢測的第二主干涉裝置， 根據(jù)所述第一、第二主干涉結(jié)果求出所述第一、第二主干涉裝置與所述第一、第二主鏡 裝置之間的第一、第二主距離，根據(jù)所述第一、第二主距離測定所述基板移動部的所述傾斜，在所述基板移動部和所述臺座中的任一個上，配置當(dāng)照射第一、第二副測定光時進(jìn)行 反射并將第一、第二副反射光進(jìn)行返光的副鏡裝置，在另一個上，配置接受所述第一副測定 光和所述第一副反射光并對所述第一副測定光與所述第一副反射光的第一副干涉結(jié)果進(jìn) 行檢測的第一副干涉裝置，以及接受所述第二副測定光和所述第二副反射光并對所述第二 副測定光與所述第二副反射光的第二副干涉結(jié)果進(jìn)行檢測的第二副干涉裝置，根據(jù)所述第一、第二副干涉結(jié)果求出所述第一、第二副干涉裝置與所述副鏡裝置之間 的第一、第二副距離，根據(jù)所述第一、第二副距離的任一個或兩個測定所述基板移動部的所述第二方向的位置。
全文摘要
本發(fā)明涉及噴出裝置及噴出方法。本發(fā)明提供噴出裝置及噴出方法，其構(gòu)成為，對沿兩個導(dǎo)軌移動基板的基板移動部在水平面上的旋轉(zhuǎn)方向的傾斜進(jìn)行檢測并修正。本發(fā)明的噴出裝置(10)構(gòu)成為，具有第一、第二主干涉裝置(62a)、(62b)、和第一、第二主鏡裝置(61a)、(61b)，能測定在基板移動部(20)的水平面上的旋轉(zhuǎn)方向的傾斜?；逡苿硬?20)的移動中，根據(jù)該測定結(jié)果分別控制兩個導(dǎo)軌上的移動量，使所述傾斜與移動開始前相同。噴出裝置(10)構(gòu)成為，具有第一、第二副干涉裝置(62c)、(62d)、和副鏡裝置(61c)，且能測定基板移動部(20)在x軸方向的位置?；逡苿硬?20)的移動中，通過根據(jù)該測定結(jié)果控制頭(32)的移動并使頭(32)與基板移動部(20)的x軸方向的相對位置關(guān)系與移動開始前相同，能使從噴出口(35)噴出的噴出液，命中基板(50)上的各命中位置。
文檔編號B41J2/01GK101927600SQ201010212510
公開日2010年12月29日 申請日期2010年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月22日
發(fā)明者井上祐也, 前川原博實, 滑川巧, 羽根功二, 馬場惠 申請人:株式會社愛發(fā)科