工業(yè)用機(jī)器人的制作方法

專利名稱：工業(yè)用機(jī)器人的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種搬運(yùn)規(guī)定搬運(yùn)對象物的工業(yè)用機(jī)器人。
背景技術(shù)：
一直以來，搬運(yùn)規(guī)定搬運(yùn)對象物的工業(yè)用機(jī)器人得到了廣泛使用。作 為這種工業(yè)用機(jī)器人，已知有一種包括裝載搬運(yùn)對象物的手、保持手的臂、 使臂上下運(yùn)動的滾珠絲杠在內(nèi)的工業(yè)用機(jī)器人(例如參照專利文獻(xiàn)D。在該 專利文獻(xiàn)1記載的工業(yè)用機(jī)器人中，在滾珠絲杠上連結(jié)一臺電動機(jī)，滾珠 絲杠由一臺電動機(jī)來驅(qū)動。
另外，雖然不是搬運(yùn)搬運(yùn)對象物的工業(yè)用機(jī)器人，但還已知有一種裝 載機(jī)器人的主體部分的底座能沿水平方向移動的工業(yè)用機(jī)器人(例如參照 專利文獻(xiàn)2)。該專利文獻(xiàn)2記載的工業(yè)用機(jī)器人包括用于使底座沿水平 方向移動的齒條和小齒輪、用于驅(qū)動小齒輪旋轉(zhuǎn)的一臺電動機(jī)。
專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2006—102886號公報
專利文獻(xiàn)2:日本專利特開平6—106487號公報
在像液晶顯示器用玻璃基板等那樣由工業(yè)用機(jī)器人來搬運(yùn)的搬運(yùn)對象 物中，有的在逐年大型化。隨著這種搬運(yùn)對象物的大型化，搬運(yùn)大型化的 搬運(yùn)對象物的工業(yè)用機(jī)器人具有大型化的傾向。另外，隨著工業(yè)用機(jī)器人 的大型化，工業(yè)用機(jī)器人的成本具有增大的傾向。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種即使搬運(yùn)大型化的搬運(yùn)對象物時也能小 型化并降低成本的工業(yè)用機(jī)器人。
為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人的特征是，包括裝載搬運(yùn)對象物的手、與手連結(jié)的臂、以及支撐臂的支撐部件，并包括使支撐部件 上下運(yùn)動的上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)和/或用于使支撐部件沿水平方向移動的水平驅(qū)動機(jī) 構(gòu)和/或用于使支撐部件以將上下方向作為軸向的規(guī)定中心軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn) 的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)、以及控制上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)和/或水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)和/或旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī) 構(gòu)的控制部，上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)和/或水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)和/或旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括多臺驅(qū) 動用電動機(jī)，控制部包括控制多臺驅(qū)動用電動機(jī)的電動機(jī)控制部，電動機(jī)控制 部對多臺驅(qū)動用電動機(jī)中的某些驅(qū)動用電動機(jī)即第一驅(qū)動用電動機(jī)、除了第一 驅(qū)動用電動機(jī)以外的其余的驅(qū)動用電動機(jī)即第二驅(qū)動用電動機(jī)單獨(dú)地進(jìn)行控 制。
隨著搬運(yùn)對象物的大型化，上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)、水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)和/或旋轉(zhuǎn)驅(qū)動 機(jī)構(gòu)所要求的驅(qū)動用電動機(jī)的總?cè)萘孔兇?。因此，在用一臺驅(qū)動用電動機(jī)來驅(qū) 動上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)、水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)和/或旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)時，需要使用體型較大的 電動機(jī)，工業(yè)用機(jī)器人可能會大型化。
在本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人中，上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)、水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)和/或旋轉(zhuǎn)驅(qū) 動機(jī)構(gòu)包括多臺驅(qū)動用電動機(jī)。因此，即使上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)、水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)和/ 或旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)所要求的驅(qū)動用電動機(jī)的總?cè)萘枯^大時，也能使用體型較小的 驅(qū)動用電動機(jī)。另外，與使用體型較大的一臺驅(qū)動用電動機(jī)時相比，使用體型 較小的多臺驅(qū)動用電動機(jī)時，驅(qū)動用電動機(jī)的配置自由度變大。因此，在本發(fā) 明中，即使搬運(yùn)大的搬運(yùn)對象物，也能實(shí)現(xiàn)工業(yè)用機(jī)器人的小型化。
另外，在驅(qū)動用電動機(jī)的容量超過規(guī)定容量時，驅(qū)動用電動機(jī)的價格會急 劇上升，在本發(fā)明中，由于能使用容量較小的驅(qū)動用電動機(jī)，因此即便在使用 多臺驅(qū)動用電動機(jī)時，也能降低工業(yè)用機(jī)器人的成本。
此外，在本發(fā)明中，由于能使用容量較小的驅(qū)動用電動機(jī)，因此從一臺驅(qū) 動用電動機(jī)傳遞來的動力減小。因此，能減小朝傳遞驅(qū)動用電動機(jī)的動力的齒 輪等動力傳遞機(jī)構(gòu)傳遞的傳遞動力，能簡化動力傳遞機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。另外，能抑 制動力傳遞機(jī)構(gòu)的損傷。
另一方面，在使用多臺驅(qū)動用電動機(jī)時，由于旋轉(zhuǎn)速度差等原因，可能會 出現(xiàn)某一驅(qū)動用電動機(jī)的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩成為其它驅(qū)動用電動機(jī)的大負(fù)載的情況。在本發(fā)明中，電動機(jī)控制部對多臺驅(qū)動用電動機(jī)中的某些驅(qū)動用電動機(jī)即第一驅(qū) 動用電動機(jī)、除了第一驅(qū)動用電動機(jī)以外的其余的驅(qū)動用電動機(jī)即第二驅(qū)動用 電動機(jī)單獨(dú)地進(jìn)行控制。因此，能對第一驅(qū)動用電動機(jī)和第二驅(qū)動用電動機(jī)進(jìn)
行控制，以防止第一驅(qū)動用電動機(jī)的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩成為第二驅(qū)動用電動機(jī)的大負(fù) 載，并防止第二驅(qū)動用電動機(jī)的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩成為第一驅(qū)動用電動機(jī)的大負(fù)載。因 此，在本發(fā)明中，即便使用多臺驅(qū)動用電動機(jī)，也能防止某一驅(qū)動用電動機(jī)的 驅(qū)動轉(zhuǎn)矩成為其它驅(qū)動用電動機(jī)的大負(fù)載。
在本發(fā)明中，最好第一驅(qū)動用電動機(jī)是一臺驅(qū)動用電動機(jī)。這樣構(gòu)成時， 能以一臺驅(qū)動用電動機(jī)為基準(zhǔn)來控制其余的驅(qū)動用電動機(jī)。因此，例如通過對 一臺第一驅(qū)動用電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行控制、并對其余的第二驅(qū)動用電動機(jī)的 旋轉(zhuǎn)速度不進(jìn)行控制，能使第二驅(qū)動用電動機(jī)追隨一臺第一驅(qū)動用電動機(jī)的旋 轉(zhuǎn)速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。其結(jié)果是，能可靠地防止某一驅(qū)動用電動機(jī)的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩成為 其它驅(qū)動用電動機(jī)的大負(fù)載。
在本發(fā)明中，最好電動機(jī)控制部通過速度控制或位置控制、以及轉(zhuǎn)矩控制 來控制第一驅(qū)動用電動機(jī)，并通過轉(zhuǎn)矩控制來控制第二驅(qū)動用電動機(jī)。這樣構(gòu) 成時，第二驅(qū)動用電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度或旋轉(zhuǎn)位置不受控制，因此，第二驅(qū)動用 電動機(jī)追隨第一驅(qū)動用電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度或旋轉(zhuǎn)位置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。因此，能防止 某一驅(qū)動用電動機(jī)的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩成為其它驅(qū)動用電動機(jī)的大負(fù)載。
在本發(fā)明中，最好工業(yè)用機(jī)器人包括水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其具有作為第一驅(qū)動 用電動機(jī)的第一水平驅(qū)動用電動機(jī)并具有作為第二驅(qū)動用電動機(jī)的第二水平 驅(qū)動用電動機(jī)，控制部包括作為電動機(jī)控制部的控制第一水平驅(qū)動用電動機(jī)和 第二水平驅(qū)動用電動機(jī)的水平電動機(jī)控制部，水平電動機(jī)控制部通過速度控制 或位置控制、以及轉(zhuǎn)矩控制來控制第一水平驅(qū)動用電動機(jī)，并且，在第二水平 驅(qū)動用電動機(jī)的停止前，通過速度控制或位置控制、以及轉(zhuǎn)矩控制來控制第二 水平驅(qū)動用電動機(jī)，在并非第二水平驅(qū)動用電動機(jī)的停止前時，通過轉(zhuǎn)矩控制 來控制第二水平驅(qū)動用電動機(jī)。
這樣構(gòu)成時，在并非第二水平驅(qū)動用電動機(jī)的停止前時，第二水平驅(qū)動用 電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度或旋轉(zhuǎn)位置不受控制，因此，第二水平驅(qū)動用電動機(jī)追隨第一水平驅(qū)動用電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度或旋轉(zhuǎn)位置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。因此，能防止某一水平 驅(qū)動用電動機(jī)的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩成為其它水平驅(qū)動用電動機(jī)的大負(fù)載。另外，在第二 水平驅(qū)動用電動機(jī)的停止前，通過控制第二水平驅(qū)動用電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度或旋 轉(zhuǎn)位置，能使用于將第一水平驅(qū)動用電動機(jī)和第二水平驅(qū)動用電動機(jī)的動力傳 遞給支撐部件的動力傳遞機(jī)構(gòu)在停止時的齒隙消失。
在本發(fā)明中，最好工業(yè)用機(jī)器人包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其具有作為第一驅(qū)動 用電動機(jī)的第一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)并具有作為第二驅(qū)動用電動機(jī)的第二旋轉(zhuǎn) 驅(qū)動用電動機(jī)，控制部包括作為電動機(jī)控制部的控制第一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)和 第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部，旋轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部通過速度控制 或位置控制、以及轉(zhuǎn)矩控制來控制第一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)，并且，在第二旋轉(zhuǎn) 驅(qū)動用電動機(jī)的停止前，通過速度控制或位置控制、以及轉(zhuǎn)矩控制來控制第二 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)，在并非第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)的停止前時，通過轉(zhuǎn)矩控制 來控制第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)。
這樣構(gòu)成時，在并非第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)的停止前時，第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用 電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度或旋轉(zhuǎn)位置不受控制，因此，第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)追隨第 一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度或旋轉(zhuǎn)位置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。因此，能防止某一旋轉(zhuǎn) 驅(qū)動用電動機(jī)的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩成為其它旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)的大負(fù)載。另外，在第二 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)的停止前，通過控制第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度或旋 轉(zhuǎn)位置，能使用于將第一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)和第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)的動力傳 遞給支撐部件的動力傳遞機(jī)構(gòu)在停止時的齒隙消失。
如上所述，在本發(fā)明所涉及的工業(yè)用機(jī)器人中，即使在搬運(yùn)大型化的搬運(yùn) 對象物時，也能實(shí)現(xiàn)工業(yè)用機(jī)器人的小型化和工業(yè)用機(jī)器人的成本的降低。


圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的工業(yè)用機(jī)器人的俯視圖。
圖2是從圖1的E — E方向表示工業(yè)用機(jī)器人的圖。 圖3是從圖1的F — F方向表示工業(yè)用機(jī)器人的圖。 圖4是從圖1的F — F方向表示支撐部件和上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)的圖。圖5是從圖4的G — G方向表示支撐部件、柱狀部件和上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)的圖。
圖6是從圖4的H — H方向表示上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)的圖。
圖7是用于說明圖2的J部的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖。
圖8是從圖3的K一K方向說明水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)等的結(jié)構(gòu)用的圖。
圖9是從圖8的L一L方向說明水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)用的圖。
圖10是圖l所示的繞轉(zhuǎn)部件的俯視圖。
圖11是圖10的M — M截面的剖視圖。
圖12是圖l所示的工業(yè)用機(jī)器人的控制部及其相關(guān)部分的方框圖。 (符號說明)
1機(jī)器人(工業(yè)用機(jī)器人) 2基板(搬運(yùn)對象物) 3手 4臂
7支撐部件 16上下驅(qū)動機(jī)構(gòu) 17水平驅(qū)動機(jī)構(gòu) 18旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)
20上下驅(qū)動用電動機(jī)(驅(qū)動用電動機(jī)、第一驅(qū)動用電動機(jī)、第二驅(qū)動用電 動機(jī))
40水平驅(qū)動用電動機(jī)(驅(qū)動用電動機(jī)、第一驅(qū)動用電動機(jī)、第二驅(qū)動用電 動機(jī))
60旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)(驅(qū)動用電動機(jī)、第一驅(qū)動用電動機(jī)、第二驅(qū)動用電 動機(jī))
80控制部
81上下電動機(jī)控制部(電動機(jī)控制部) 82水平電動機(jī)控制部(電動機(jī)控制部) 83旋轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部(電動機(jī)控制部)CL中心軸
具體實(shí)施例方式
下面，根據(jù)附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施方式。 (工業(yè)用機(jī)器人的概略結(jié)構(gòu))
圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的工業(yè)用機(jī)器人1的俯視圖。圖2是
從圖1的E — E方向表示工業(yè)用機(jī)器人1的圖。圖3是從圖1的F —F方向 表示工業(yè)用機(jī)器人1的圖。
本實(shí)施方式的工業(yè)用機(jī)器人l(下面稱為"機(jī)器人1")是用于搬運(yùn)作為 搬運(yùn)對象物的液晶顯示器用玻璃基板2(下面稱為"基板2")的機(jī)器人。本 實(shí)施方式的機(jī)器人1是特別適合在搬運(yùn)大型基板2時使用的大型機(jī)器人， 例如搬運(yùn)一邊長約3ra的大致正方形的基板2。另外，搬運(yùn)對象物并不周限 于基板2，也可以是半導(dǎo)體晶片等。
如圖1 圖3所示，該機(jī)器人l包括裝載基板2的兩個手3、在前端側(cè) 分別連結(jié)兩個手3的兩條臂4、支撐兩條臂4的主體部5、將主體部5支撐成 能沿水平方向移動的底座部件6。主體部5包括支撐兩條臂4的基端側(cè)并能 上下運(yùn)動的支撐部件7、用于將支撐部件7支撐成能沿上下方向移動的柱狀部 件8、構(gòu)成主體部5的下端部分并能相對于底座部件6水平移動的基臺9、固 定柱狀部件8的下端并能相對于基臺9繞轉(zhuǎn)的繞轉(zhuǎn)部件10。
如上所述，本實(shí)施方式的機(jī)器人1是大型的機(jī)器人。例如，機(jī)器人1的高 度約7ra，支撐部件7的上下方向的行程(移動最)約5m。另外，例如，手3的 水平方向的行程約5. 5m。
手3包括用于裝載基板2的多個爪部12。手3的基端能轉(zhuǎn)動地與臂4的 前端連結(jié)。臂4具有兩個關(guān)節(jié)部13，整體進(jìn)行伸縮。另外，臂4的基端與支撐 部件7固定。
本實(shí)施方式中，兩個手3和兩條臂4配置成在上下方向上重疊。g卩，本實(shí) 施方式的機(jī)器人1是雙臂型機(jī)器人。另外，機(jī)器人1也可以是包括一個手3和 一條臂4的單臂型機(jī)器人。另外，機(jī)器人l包括使支撐部件7上下運(yùn)動的上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16(參照圖
4)、使主體部5沿水平方向移動的水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17 (參照圖7)、使繞轉(zhuǎn)部件10 相對于基臺9繞轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)18(參照圖7)。下面，說明上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16、 水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)18的結(jié)構(gòu)及其周邊部分的結(jié)構(gòu)。 (上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)及其周邊部的結(jié)構(gòu))
圖4是從圖1的F — F方向表示支撐部件7和上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16的圖。圖5 是從圖4的G—G方向表示支撐部件7、柱狀部件8和上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16的圖。 圖6是從圖4的H—H方向表示上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16的圖。
如圖5所示，上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16配置在柱狀部件8的側(cè)方(圖5的柱狀部件 8的下方)。該上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16包括兩臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20、與兩臺上下 驅(qū)動用電動機(jī)20分別連結(jié)的兩個減速機(jī)21。如圖4所示， 一臺上下驅(qū)動用電 動機(jī)20、兩個減速機(jī)21和一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20從上方起依次固定在支撐 部件7上。
另外，上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16包括固定在兩個減速機(jī)21的各輸出軸上的作為 上下驅(qū)動用小齒輪的兩個小齒輪(pinion)22、與兩個小齒輪22嚙合的作為上 下驅(qū)動用齒條的齒條23。利用這兩個小齒輪22和齒條23，使支撐部件7沿上 下方向移動。此外，上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16包括用于使上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16停止的(即 用于使支撐部件7停止的)兩個上下制動機(jī)構(gòu)24。
另外，如圖5所示，機(jī)器人1包括用于沿上下方向引導(dǎo)支撐部件7的導(dǎo)向 部25。導(dǎo)向部25由導(dǎo)軌26、與導(dǎo)軌26卡合的導(dǎo)向塊27構(gòu)成。另外，柱狀部 件8形成為以上下方向為長邊方向的細(xì)長的大致角柱狀，支撐部件7形成為塊 狀。
上下驅(qū)動用電動機(jī)20包括用于對上下驅(qū)動用電動機(jī)20的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行檢 測的速度檢測機(jī)構(gòu)(未圖示)。該速度檢測機(jī)構(gòu)例如由形成為圓板狀的狹縫板、 以將狹縫板夾在中間的狀態(tài)相對配置的發(fā)光元件和光接收元件構(gòu)成。
如圖6所示，在上下驅(qū)動用電動機(jī)20的輸出軸上固定有帶輪28。另外， 在減速機(jī)21的輸入軸上固定有直徑比帶輪28大的帶輪29。在帶輪28、 29上 張設(shè)有皮帶30，在上下方向上相鄰配置的上下驅(qū)動用電動機(jī)20和減速機(jī)21由該皮帶30連結(jié)。
齒條23以上下方向為長邊方向固定在柱狀部件8上(參照圖5)。如上所 述，本實(shí)施方式中，支撐部件7的上下方向的行程較長。即，齒條23的長度 較長。因此，本實(shí)施方式中，齒條23通過接合多個齒條片而形成。另外，一 個齒條片的長度比兩個小齒輪22的配置間距長。
如圖6等所示，上下制動機(jī)構(gòu)24以與帶輪29相鄰的形態(tài)安裝在減速機(jī) 21的輸入軸上。即，兩個上下制動機(jī)構(gòu)24分別通過帶輪28、 29和皮帶30分 別與兩臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20連結(jié)。
該上下制動機(jī)構(gòu)24是所謂的無勵磁動作型的制動器，包括收納有線圈 的殼體、固定在殼體上的側(cè)板、配置成能相對于殼體沿軸向移動的電樞、配置 在側(cè)板與電樞之間并固定在減速機(jī)21的輸入軸上的制動盤、將電樞朝著制動 盤施力的壓縮螺旋彈簧。上下制動機(jī)構(gòu)24中，在線圈成為通電狀態(tài)時，電樞 被殼體吸引，制動盤被釋放。另外，在停止對線圈通電時，壓縮螺旋彈簧的作 用力使制動盤夾在電樞與側(cè)板之間，對減速機(jī)21進(jìn)行緊急制動。另外， 一個 上下制動機(jī)構(gòu)24具有足夠使包括基板2、手3、臂4和支撐部件7等在內(nèi)的沿 上下方向移動的部分停止的制動力。
導(dǎo)軌26以上下方向為長邊方向固定在柱狀部件8上(參照圖5)。本實(shí)施 方式中，兩條導(dǎo)軌26固定在柱狀部件8上。具體而言，導(dǎo)軌26分別固定在與 圖5的左右方向平行的兩個柱狀部件8的安裝面上。另外，配置在圖5下側(cè)的 導(dǎo)軌26以與齒條23相鄰的形態(tài)固定。
導(dǎo)向塊27固定在支撐部件7上。具體而言，導(dǎo)向塊27固定在支撐都材7 的、與臂4的固定面(圖5的右端面)正交的面上，導(dǎo)向塊27從圖5的上下方 向的外側(cè)與導(dǎo)軌26卡合。
另外，本實(shí)施方式中，如圖5所示，在柱狀部件8上固定有蓋部件31。 該蓋部件31配置成從圖5的上下覆蓋導(dǎo)軌26。
(水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)及其周邊部的結(jié)構(gòu))
圖7是用于說明圖2的J部的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖。圖8是從圖3的K一K方向 說明水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17等的結(jié)構(gòu)用的圖。圖9是從圖8的L一L方向說明水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17的結(jié)構(gòu)用的圖。
如圖7所示，水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17配置在圖7中基臺9的左端側(cè)。該水平驅(qū) 動機(jī)構(gòu)17包括兩臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40。如圖8所示，兩臺水平驅(qū)動用電動 機(jī)40配置成在圖8的左右方向上相鄰。另外，兩臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40分別 固定于兩個支架52，這兩個支架52固定在基臺9上。在兩個支架52各自上， 如圖8、圖9所示，轉(zhuǎn)軸53通過軸承54能旋轉(zhuǎn)地得到保持。兩根轉(zhuǎn)軸53配置 成在圖8的左右方向上相鄰。
另外，水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17包括固定在兩根轉(zhuǎn)軸53各自的下端的作為水平 驅(qū)動用小齒輪的兩個小齒輪42、與兩個小齒輪42嚙合的作為水平驅(qū)動用齒條 的齒條43。利用這兩個小齒輪42和齒條43，使基臺9沿水平方向移動。此外， 水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17包括用于使水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17停止的(即用于使基臺9停止的) 兩個水平制動機(jī)構(gòu)44。
另外，機(jī)器人1包括沿水平方向引導(dǎo)基臺9用的導(dǎo)向部45。導(dǎo)向部45由 導(dǎo)軌46、與導(dǎo)軌46卡合的導(dǎo)向塊47構(gòu)成。另外，如圖7、圖8所示，底座部 件6包括細(xì)長的兩條軌道狀部件51。該軌道狀部件51以在圖7的左右方向上 空開規(guī)定間隔的狀態(tài)平行地配置。
水平驅(qū)動用電動機(jī)40包括用于對水平驅(qū)動用電動機(jī)40的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行檢 測的速度檢測機(jī)構(gòu)(未圖示)。該速度檢測機(jī)構(gòu)例如由形成為圓板狀的狹縫板、 以將狹縫板夾在中間的狀態(tài)相對配置的發(fā)光元件和光接收元件構(gòu)成。
如圖9所示，在水平驅(qū)動用電動機(jī)40的輸出軸上固定有帶輪48。另外， 在轉(zhuǎn)軸53的上端側(cè)固定有直徑比帶輪48大的帶輪49。在帶輪48、 49上張設(shè) 有皮帶50，在圖8的上下方向上相鄰配置的水平驅(qū)動用電動機(jī)40與轉(zhuǎn)軸53 由該皮帶50連結(jié)。
如圖8所示，齒條43固定在軌道狀部件51的上表面上。本實(shí)施方式中， 基臺9的移動量較大，因此，齒條43的長度較長。因此，齒條43通過接合多 個齒條片而形成。
如圖9所示，水平制動機(jī)構(gòu)44以與帶輪48相鄰的形態(tài)安裝在水平驅(qū)動用 電動機(jī)40的輸出軸上。該水平制動機(jī)構(gòu)44與上下制動機(jī)構(gòu)24同樣是所謂的無勵磁動作型的制動器，與上下制動機(jī)構(gòu)24同樣地構(gòu)成。g卩，水平制動機(jī)構(gòu)
44中，在線圈成為通電狀態(tài)時，電樞被殼體吸引，制動盤被釋放。另外，在停
止對線圈通電時，壓縮螺旋彈簧的作用力使制動盤夾在電樞與側(cè)板之間，對水
平驅(qū)動用電動機(jī)40進(jìn)行緊急制動。
如圖8所示，導(dǎo)軌46固定在軌道狀部件51的上表面上。本實(shí)施方式中， 導(dǎo)軌46固定在兩條軌道狀部件51的各上表面上。另外，配置在圖8的上側(cè)的 導(dǎo)軌46固定成與齒條43相鄰。如圖7所示，導(dǎo)向塊47固定在圖7的左右方 向的基臺9的兩端部。該導(dǎo)向塊47從上側(cè)與導(dǎo)軌46卡合。
(旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)及其周邊部分的結(jié)構(gòu))
圖10是圖1所示的繞轉(zhuǎn)部件10的俯視圖。圖11是圖10的M—M截面的 剖視圖。
如圖10、圖11所示，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)18配置在作為繞轉(zhuǎn)部件10的繞轉(zhuǎn)中 心的中心軸CL的四周。該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)18包括兩臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60。如 圖10所示，兩臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60相對于中心軸CL呈點(diǎn)對稱配置，固定 在繞轉(zhuǎn)部件10的中心部。另外，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)18包括固定在繞轉(zhuǎn)部件10的 中心部的減速機(jī)61。此外，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)18包括用于使旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)18停止 的(即用于使繞轉(zhuǎn)部件10停止的)一個旋轉(zhuǎn)制動機(jī)構(gòu)64。另外，繞轉(zhuǎn)部件10 是細(xì)長的塊狀部件，在一端側(cè)(圖10的左端側(cè))固定有柱狀部件8的下端。
旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60包括用于對旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行檢 測的速度檢測機(jī)構(gòu)(未圖示)。該速度檢測機(jī)構(gòu)例如由形成為圓板狀的狹縫板、 以將狹縫板夾在中間的狀態(tài)相對配置的發(fā)光元件和光接收元件構(gòu)成。
如圖11所示，在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的輸出軸上固定有輸出齒輪68， 兩個輸出齒輪68與減速機(jī)61的輸入齒輪69嚙合。利用這兩個輸出齒輪68和 包括輸入齒輪69的減速機(jī)61，使繞轉(zhuǎn)部件10相對于基臺9繞轉(zhuǎn)。即，在繞轉(zhuǎn) 部件10的中心部固定有減速機(jī)61的輸出側(cè)，在通過減速機(jī)61傳遞的旋轉(zhuǎn)驅(qū) 動用電動機(jī)60的動力的作用下，繞轉(zhuǎn)部件10相對于基臺9旋轉(zhuǎn)。
如圖11所示，旋轉(zhuǎn)制動機(jī)構(gòu)64固定在轉(zhuǎn)軸73的上端，轉(zhuǎn)軸73通過軸承 74能旋轉(zhuǎn)地保持在繞轉(zhuǎn)部件10的中心部上。在轉(zhuǎn)軸73的下端固定有與減速機(jī)61的輸入齒輪69嚙合的齒輪70。另外，如圖10所示，旋轉(zhuǎn)制動機(jī)構(gòu)64配置 在以中心軸CL為中心相對旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60轉(zhuǎn)過90°的位置上。
該旋轉(zhuǎn)制動機(jī)構(gòu)64與上下制動機(jī)構(gòu)24同樣是所謂的無勵磁動作型的制動 器，與上下制動機(jī)構(gòu)24同樣地構(gòu)成。即，旋轉(zhuǎn)制動機(jī)構(gòu)64中，在線圈成為通 電狀態(tài)時，電樞被殼體吸引，制動盤被釋放。另外，在停止對線圈通電時，壓 縮螺旋彈簧的作用力使制動盤夾在電樞與側(cè)板之間，對輸入齒輪69進(jìn)行緊急 制動。
(控制部的結(jié)構(gòu))
圖12是圖1所示的工業(yè)用機(jī)器人1的控制部80及其相關(guān)部分的方框圖。 另外，在圖12中，圖示了與上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16、水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī) 構(gòu)18的控制相關(guān)的控制部80的結(jié)構(gòu)。
如圖12所示，作為與上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16、水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī) 構(gòu)18的控制相關(guān)的結(jié)構(gòu)，控制部80包括控制兩臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20的 上下電動機(jī)控制部81、控制兩臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40的水平電動機(jī)控制部82、 控制兩臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的旋轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部83、控制兩個上下制動機(jī) 構(gòu)24的上下制動器控制部84、控制兩個水平制動機(jī)構(gòu)44的水平制動器控制部 85、控制一個旋轉(zhuǎn)制動機(jī)構(gòu)64的旋轉(zhuǎn)制動器控制部86。另外，在控制部80 連接著控制指令部87。
上下電動機(jī)控制部81分別控制兩臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20。具體而言，上 下電動機(jī)控制部81通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制兩臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20 中的一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20，并通過轉(zhuǎn)矩控制來控制另一臺上下驅(qū)動用電動 機(jī)20。 B卩，上下電動機(jī)控制部81針對一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20進(jìn)行基于來自 該上下驅(qū)動用電動機(jī)20的速度檢測機(jī)構(gòu)的輸出的反饋控制和控制該上下驅(qū)動 用電動機(jī)20的電流值的轉(zhuǎn)矩控制，針對另一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20，在不進(jìn) 行基于來自該上下驅(qū)動用電動機(jī)20的速度檢測機(jī)構(gòu)的輸出的反饋控制的情況 下進(jìn)行控制該上下驅(qū)動用電動機(jī)20的電流值的轉(zhuǎn)矩控制。
本實(shí)施方式中，兩臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20中的一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20 是第一驅(qū)動用電動機(jī)。另外，另一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20是第二驅(qū)動用電動機(jī)。水平電動機(jī)控制部82分別控制兩臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40。具體而言，水平電動機(jī)控制部82通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制兩臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40 中的一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40。另外，在另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40的停止 前，與一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40—樣，水平電動機(jī)控制部82通過速度控制和 轉(zhuǎn)矩控制來控制另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40，但在并非另一臺水平驅(qū)動用電動 機(jī)40的停止前時，水平電動機(jī)控制部82通過轉(zhuǎn)矩控制來控制另一臺水平驅(qū)動 用電動機(jī)40。艮卩，在并非另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40的停止前時，水平電動機(jī)控制部 82針對另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40，在不進(jìn)行基于來自該水平驅(qū)動用電動機(jī) 40的速度檢測機(jī)構(gòu)的輸出的反饋控制的情況下進(jìn)行轉(zhuǎn)矩控制。另外，在另一臺 水平驅(qū)動用電動機(jī)40的停止前，水平電動機(jī)控制部82針對另一臺水平驅(qū)動用 電動機(jī)40進(jìn)行基于來自該水平驅(qū)動用電動機(jī)40的速度檢測機(jī)構(gòu)的輸出的反饋 控制，對另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行控制，以使兩個小齒輪 42與齒條43之間的齒隙消失。此處，例如水平電動機(jī)控制部82根據(jù)來自一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40的速 度檢測機(jī)構(gòu)的輸出來判斷另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40是否是停止前狀態(tài)。例 如，水平電動機(jī)控制部82計算由一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40的速度檢測機(jī)構(gòu)檢 測出的、基臺9的從規(guī)定基準(zhǔn)位置到停止預(yù)定位置的脈沖數(shù)與用速度檢測機(jī)構(gòu) 實(shí)際檢測出的脈沖數(shù)之差，若該差為規(guī)定值以下，則判斷為另一臺水平驅(qū)動用 電動機(jī)40是停止前狀態(tài)。即，在基臺9進(jìn)入從停止預(yù)定位置離開規(guī)定距離的 范圍內(nèi)時，成為另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40的停止前狀態(tài)。本實(shí)施方式中，兩臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40中的一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40 是第一驅(qū)動用電動機(jī)，且是第一水平驅(qū)動用電動機(jī)。另外，另一臺水平驅(qū)動用 電動機(jī)40是第二驅(qū)動用電動機(jī)，且是第二水平驅(qū)動用電動機(jī)。同樣地，旋轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部83分別控制兩臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60。具體 而言，旋轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部83通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制兩臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用 電動機(jī)60中的一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60。另外，在另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)電動機(jī)60—樣，旋轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部83通過速 度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60，但在并非另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū) 動用電動機(jī)60的停止前時，旋轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部83通過轉(zhuǎn)矩控制來控制另一臺 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60。艮口，在并非另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的停止前時，旋轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部 83針對另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60，在不進(jìn)行基于來自該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī) 60的速度檢測機(jī)構(gòu)的輸出的反饋控制的情況下進(jìn)行轉(zhuǎn)矩控制。另外，在另一臺 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的停止前，旋轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部83針對另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用 電動機(jī)60進(jìn)行基于來自該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的速度檢測機(jī)構(gòu)的輸出的反饋 控制，對另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行控制，以使兩個輸出齒 輪68與輸入齒輪69之間的齒隙消失。此處，例如旋轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部83根據(jù)來自一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的速 度檢測機(jī)構(gòu)的輸出來判斷另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60是否是停止前狀態(tài)。例 如，旋轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部83計算由一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的速度檢測機(jī)構(gòu)檢 測出的、繞轉(zhuǎn)部件10的從規(guī)定基準(zhǔn)位置到停止預(yù)定位置的脈沖數(shù)與用速度檢 測機(jī)構(gòu)實(shí)際檢測出的脈沖數(shù)之差，若該差為規(guī)定值以下，則判斷為另一臺旋轉(zhuǎn) 驅(qū)動用電動機(jī)60是停止前狀態(tài)。即，在繞轉(zhuǎn)部件10進(jìn)入從停止預(yù)定位置離開 規(guī)定角度的范圍內(nèi)，成為另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的停止前狀態(tài)。本實(shí)施方式中，兩臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60中的一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60 是第一驅(qū)動用電動機(jī)，且是第一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)。另外，另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用 電動機(jī)60是第二驅(qū)動用電動機(jī)，且是第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)。在上下制動器控制部84從控制指令部87得到支撐部件7的停止信號的輸 入時，使兩個上下制動機(jī)構(gòu)24分階段地動作。S卩，在從控制指令部87得到支 撐部件7的停止信號的輸入時，上下制動器控制部84使兩個上下制動機(jī)構(gòu)24 動作，以使一個上下制動機(jī)構(gòu)24的動作開始時刻與另一個上下制動機(jī)構(gòu)24的 動作開始時刻不同(錯開)。具體而言，上下制動器控制部84使兩個上下制動 機(jī)構(gòu)24動作，以使另一個上下制動機(jī)構(gòu)24的動作開始時刻遲于一個上下制動 機(jī)構(gòu)24的動作開始時刻。 更具體而言，上下制動器控制部84停止對兩個上下制動機(jī)構(gòu)24的線圈的通電，以使對另一個上下制動機(jī)構(gòu)24的線圈的通電的停 止時刻遲于對一個上下制動機(jī)構(gòu)24的線圈的通電的停止時刻。同樣地，在水平制動器控制部85從控制指令部87得到基臺9的停止信號 的輸入時，使兩個水平制動機(jī)構(gòu)44分階段地動作。g卩，在從控制指令部87得 到基臺9的停止信號的輸入時，水平制動器控制部85使兩個水平制動機(jī)構(gòu)44 動作，以使一個水平制動機(jī)構(gòu)44的動作開始時刻與另一個水平制動機(jī)構(gòu)44的 動作開始時刻錯開。具體而言，水平制動器控制部85使兩個水平制動機(jī)構(gòu)44 動作，以使另一個水平制動機(jī)構(gòu)44的動作開始時刻遲于一個水平制動機(jī)構(gòu)44 的動作開始時刻。另外，在水平制動器控制部85從控制指令部87得到基臺9 的停止信號的輸入時，也可使兩個水平制動機(jī)構(gòu)44同時動作。(本實(shí)施方式的主要效果)如以上說明，本實(shí)施方式中，上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16包括兩臺上下驅(qū)動用電動 機(jī)20。因此，為了搬運(yùn)大型的基板2，即使要求上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16具有的上下 驅(qū)動用電動機(jī)20的總?cè)萘孔兇髸r，也能使用體型較小的上下驅(qū)動用電動機(jī)20。 例如，在要求上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16具有的上下驅(qū)動用電動機(jī)20的總?cè)萘繛?0kW 時，不是使用體型較大的10kW的上下驅(qū)動用電動機(jī)，而是能使用體型較小的 5kW的上下驅(qū)動用電動機(jī)20。另外，與使用體型較大的一臺上下驅(qū)動用電動機(jī) 時相比，在使用體型較小的兩臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20時，上下驅(qū)動用電動機(jī) 20的配置自由度變大。因此，本實(shí)施方式中，即使搬運(yùn)大的基板2，也能實(shí)現(xiàn) 機(jī)器人1的小型化。另外，在上下驅(qū)動用電動機(jī)20的容量超過規(guī)定容量時，上下驅(qū)動用電動 機(jī)20的價格會急劇上升，但本實(shí)施方式中，能使用容量較小的上下驅(qū)動用電 動機(jī)20，因此，即便使用兩臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20，也能降低機(jī)器人l的成 本。此外，本實(shí)施方式中，能使用容量較小的上下驅(qū)動用電動機(jī)20，從一臺 上下驅(qū)動用電動機(jī)20傳遞來的動力減小。因此，能減小朝傳遞上下驅(qū)動用電 動機(jī)20的動力的減速機(jī)21、小齒輪22和齒條23等動力傳遞機(jī)構(gòu)傳遞的傳遞 動力，能簡化減速機(jī)21、小齒輪22和齒條23等動力傳遞機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。另外，能抑制減速機(jī)2、小齒輪22和齒條23等動力傳遞機(jī)構(gòu)的損傷。另一方面，上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16使用兩臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20，因此，可能 會出現(xiàn)一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩成為另一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20 的大負(fù)載、另一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩成為一臺上下驅(qū)動用電動 機(jī)20的大負(fù)載的情況，但本實(shí)施方式中，上下電動機(jī)控制部81通過速度控制 和轉(zhuǎn)矩控制來控制兩臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20中的一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20， 并通過轉(zhuǎn)矩控制來控制另一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20。即，上下電動機(jī)控制部 81對一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行控制，但不對另一臺上下驅(qū)動 用電動機(jī)20的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行控制，另一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20追隨一臺上下 驅(qū)動用電動機(jī)20進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。因此，不會在兩臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20之間產(chǎn)生 大的旋轉(zhuǎn)速度差。因此，能防止一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩成為另 —臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20的大負(fù)載，防止另一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20的驅(qū)動 轉(zhuǎn)矩成為一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20的大負(fù)載。另外，由于另一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20追隨一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20 進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，因此即使在通過減速機(jī)21等與兩臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20分別連結(jié) 的兩個小齒輪22和齒條23嚙合時，也能防止兩個小齒輪22的齒和齒條23的 齒以過大的力嚙合。其結(jié)果是，能抑制小齒輪22和齒條23的損傷，能用上下 驅(qū)動機(jī)構(gòu)16使支撐部件7適當(dāng)?shù)厣舷逻\(yùn)動。本實(shí)施方式中，水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17包括兩臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40。因此， 與上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16 —樣，即使在要求水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17具有的水平驅(qū)動用電動 機(jī)40的總?cè)萘孔兇髸r，也能使用體型較小的水平驅(qū)動用電動機(jī)40，另外，水 平驅(qū)動用電動機(jī)40的配置自由度變大。因此，在本實(shí)施方式中，即使搬運(yùn)大 的基板2，也能實(shí)現(xiàn)機(jī)器人1的小型化。另外，本實(shí)施方式中，能使用容量較小的水平驅(qū)動用電動機(jī)40，因此， 即便使用兩臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40，也能降低機(jī)器人l的成本。此外，本實(shí)施 方式中，能使用容量較小的水平驅(qū)動用電動機(jī)40，因此，從一臺水平驅(qū)動用電 動機(jī)40傳遞來的動力減小。因此，能減小朝傳遞水平驅(qū)動用電動機(jī)40的動力 的小齒輪42和齒條43等動力傳遞機(jī)構(gòu)傳遞的傳遞動力，能簡化傳遞水平驅(qū)動用電動機(jī)40的動力的動力傳遞機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。另外，能抑制傳遞水平驅(qū)動用電動機(jī)40的動力的動力傳遞機(jī)構(gòu)的損傷。另一方面，水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17使用兩臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40，因此，可能 會出現(xiàn)一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40(或另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40)的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩 成為另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40(或一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40)的大負(fù)載的情 況，但本實(shí)施方式中，水平電動機(jī)控制部82通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制 兩臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40中的一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40，并且，在并非另一 臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40的停止前時，通過轉(zhuǎn)矩控制來控制另一臺水平驅(qū)動用 電動機(jī)40。即，在并非另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40的停止前時對一臺水平驅(qū)動用電 動機(jī)40的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行控制，但不對另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40的旋轉(zhuǎn)速度 進(jìn)行控制，另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40追隨一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40進(jìn)行旋 轉(zhuǎn)。因此，在并非另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40的停止前時，不會在兩臺水平 驅(qū)動用電動機(jī)40之間產(chǎn)生大的旋轉(zhuǎn)速度差，能防止一臺水平驅(qū)動用電動機(jī) 40(或另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40)的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩成為另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī) 40 (或一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40)的大負(fù)載。另外，在并非另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40的停止前時，另一臺水平驅(qū)動 用電動機(jī)40追隨一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，因此，即使在通過帶輪 48、 49和皮帶50與兩臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40分別連結(jié)的兩個小齒輪42和齒 條43嚙合時，也能防止兩個小齒輪42的齒與齒條43的齒以過大的力嚙合。 其結(jié)果是，能抑制小齒輪42和齒條43的損傷，能用水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17使主體 部5適當(dāng)?shù)厮揭苿?。另外，本?shí)施方式中，在另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40的停止前，另一臺 水平驅(qū)動用電動機(jī)40由速度控制和轉(zhuǎn)矩控制進(jìn)行控制，另一臺水平驅(qū)動用電 動機(jī)40的旋轉(zhuǎn)速度受到控制，以使兩個小齒輪42與齒條43之間的齒隙消失。 因此，在基臺9停止時，能使兩個小齒輪42與齒條43之間的齒隙消失。本實(shí)施方式中，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)18包括兩臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60。因此， 與上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16 —樣，即使旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)18所要求的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60型較小的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60，另外，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的配置自由度變大。因此，本實(shí)施方式中，即使搬運(yùn)大的基板2， 也能實(shí)現(xiàn)機(jī)器人1的小型化。另外，本實(shí)施方式中，能使用容量較小的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60，因此， 即便使用兩臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60，也能降低機(jī)器人l的成本。此外，本實(shí)施 方式中，能使用容量較小的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60，因此，從一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電 動機(jī)60傳遞來的動力減小。因此，能減小朝傳遞旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的動力 的輸出齒輪68和減速機(jī)61等動力傳遞機(jī)構(gòu)傳遞的傳遞動力，能簡化傳遞旋轉(zhuǎn) 驅(qū)動用電動機(jī)60的動力的動力傳遞機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。另外，能抑制傳遞旋轉(zhuǎn)驅(qū)動 用電動機(jī)60的動力的動力傳遞機(jī)構(gòu)的損傷。另一方面，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)18使用兩臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60，因此，可能 會出現(xiàn)一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60(或另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60)的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩 成為另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60(或一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60)的大負(fù)載的情 況，但本實(shí)施方式中，旋轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部83通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制 兩臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60中的一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60，并且，在并非另一 臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的停止前時，通過轉(zhuǎn)矩控制來控制另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用 電動機(jī)60。艮P，在并非另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的停止前時，對一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用 電動機(jī)60的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行控制，但不對另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的旋轉(zhuǎn)速 度進(jìn)行控制，另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60追隨一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60進(jìn)行 旋轉(zhuǎn)。因此，在并非另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的停止前時，不會在兩臺旋 轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60之間產(chǎn)生大的旋轉(zhuǎn)速度差，能防止一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī) 60(或另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60)的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩成為另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī) 60 (或一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60)的大負(fù)載。另外，在并非另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的停止前時，另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動 用電動機(jī)60追隨一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，因此，即使在兩個輸出 齒輪68與減速機(jī)61的輸入齒輪69嚙合時，也能防止輸出齒輪68的齒與輸入 齒輪69的齒以過大的力嚙合。其結(jié)果是，能抑制輸入齒輪68和輸出齒輪69的損傷，能用旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)18使繞轉(zhuǎn)部件10適當(dāng)?shù)乩@轉(zhuǎn)。另外，本實(shí)施方式中，在另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的停止前，另一臺 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60由速度控制和轉(zhuǎn)矩控制進(jìn)行控制，另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電 動機(jī)60的旋轉(zhuǎn)速度受到控制，以使兩個輸出齒輪68與輸入齒輪69的齒隙消 失。因此，在繞轉(zhuǎn)部件10停止時，能使兩個輸出齒輪68與輸入齒輪69之間 的齒隙消失。(其它實(shí)施方式)上述實(shí)施方式是本發(fā)明的較為理想的實(shí)施方式的一例，但并不局限于此， 可在不變更本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形實(shí)施。上述實(shí)施方式中，上下電動機(jī)控制部81通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制 兩臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20中的一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20。除此之外，例如上 下電動機(jī)控制部81也可利用基于通過對用速度檢測機(jī)構(gòu)檢測出的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn) 行積分而計算出的上下驅(qū)動用電動機(jī)20的旋轉(zhuǎn)位置的位置控制和轉(zhuǎn)矩控制來 控制一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20。同樣地，上述實(shí)施方式中，水平電動機(jī)控制部82通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控 制來控制一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40，并在規(guī)定情況下通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制 來控制另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40，但水平電動機(jī)控制部82也可通過位置控 制和轉(zhuǎn)矩控制來控制水平驅(qū)動用電動機(jī)40。另外，上述實(shí)施方式中，旋轉(zhuǎn)電動 機(jī)控制部83通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60，并在 規(guī)定情況下通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60，但旋 轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部83也可通過位置控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī) 60。上述實(shí)施方式中，上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16包括兩臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20。除此 之外，例如上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16也可包括三臺以上的上下驅(qū)動用電動機(jī)20。這種 情況下，最好上下電動機(jī)控制部81通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制三臺以上 的上下驅(qū)動用電動機(jī)20中的某些上下驅(qū)動用電動機(jī)20，并通過轉(zhuǎn)矩控制來控 制其余的上下驅(qū)動用電動機(jī)20。另外，這種情況下，為了可靠地防止某一上下 驅(qū)動用電動機(jī)20的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩成為其它上下驅(qū)動用電動機(jī)20的大負(fù)載，最好上下電動機(jī)控制部81通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制三臺以上的上下驅(qū)動用電動機(jī)20中的一臺上下驅(qū)動用電動機(jī)20，并通過轉(zhuǎn)矩控制來控制其余的上下驅(qū) 動用電動機(jī)20。另外，上述實(shí)施方式中，水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17包括兩臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40， 但水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17也可包括三臺以上的水平驅(qū)動用電動機(jī)40。這種情況下， 最好水平電動機(jī)控制部82通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制三臺以上的水平驅(qū) 動用電動機(jī)40中的某些水平驅(qū)動用電動機(jī)40，在其余的水平驅(qū)動用電動機(jī)40 的停止前，通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制其余的水平驅(qū)動用電動機(jī)40，并且， 在并非其余的水平驅(qū)動用電動機(jī)40的停止前時，通過轉(zhuǎn)矩控制來控制其余的 水平驅(qū)動用電動機(jī)40。另外，這種情況下，為了可靠地防止某一水平驅(qū)動用電 動機(jī)40的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩成為其它水平驅(qū)動用電動機(jī)40的大負(fù)載，最好水平電動機(jī) 控制部82通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制三臺以上的水平驅(qū)動用電動機(jī)40中 的一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40，并且，在并非其余的水平驅(qū)動用電動機(jī)40的停 止前時，通過轉(zhuǎn)矩控制來控制其余的水平驅(qū)動用電動機(jī)40。同樣地，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)18也可包括三臺以上的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60。這 種情況下，最好旋轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部83通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制三臺以 上的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60中的某些旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60，在其余的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動 用電動機(jī)60的停止前，通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制其余的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電 動機(jī)60，并且，在并非其余的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的停止前時，通過轉(zhuǎn)矩控 制來控制其余的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60。另外，這種情況下，為了可靠地防止某 一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩成為其它旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60的大負(fù)載， 最好旋轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部83通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制三臺以上的旋轉(zhuǎn)驅(qū) 動用電動機(jī)60中的一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60，并且，在并非其余的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動 用電動機(jī)60的停止前時，通過轉(zhuǎn)矩控制來控制其余的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60。上述實(shí)施方式中，在另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40的停止前，水平電動機(jī) 控制部82通過速度控制和轉(zhuǎn)矩控制來控制另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40，在并 非另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40的停止前時，水平電動機(jī)控制部82通過轉(zhuǎn)矩控 制來控制另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40。除此之外，例如水平電動機(jī)控制部82也可始終通過轉(zhuǎn)矩控制來控制另一臺水平驅(qū)動用電動機(jī)40。同樣地，旋轉(zhuǎn)電動 機(jī)控制部83也可始終通過轉(zhuǎn)矩控制來控制另一臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)60。
上述實(shí)施方式中，上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16、水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)18 均包括兩臺驅(qū)動用電動機(jī)20、 40、 60，但只要上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16、水平驅(qū)動機(jī) 構(gòu)17和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)18中的至少任一個驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括兩臺驅(qū)動用電動機(jī)20、 40、 60，則其它驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括的驅(qū)動用電動機(jī)20、 40、 60也可以是一臺。
上述實(shí)施方式中，利用兩個小齒輪22和齒條23，使支撐部件7沿上下方 向移動。除此之外，例如也可通過滾珠絲杠和與該滾珠絲杠螺合的多個螺母部 件，使支撐部件7沿上下方向移動。同樣地，上述實(shí)施方式中，利用兩個小齒 輪42和齒條43使基臺9沿水平方向移動，但也可利用滾珠絲杠和與該滾珠絲 杠螺合的多個螺母部件，使基臺9沿水平方向移動。
上述實(shí)施方式中，機(jī)器人1包括上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16、水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17、旋 轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)18。除此之外，例如，機(jī)器人1也可僅包括從上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)16、 水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)17和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)18中任意選出的兩個或一個驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
權(quán)利要求
1.一種工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于，包括裝載搬運(yùn)對象物的手、與所述手連結(jié)的臂、以及支撐所述臂的支撐部件，并包括使所述支撐部件上下運(yùn)動的上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)和/或用于使所述支撐部件沿水平方向移動的水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)和/或用于使所述支撐部件以將上下方向作為軸向的規(guī)定中心軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)、以及控制所述上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)和/或所述水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)和/或所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)的控制部，所述上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)和/或所述水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)和/或所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括多臺驅(qū)動用電動機(jī)，所述控制部包括控制多個所述驅(qū)動用電動機(jī)的電動機(jī)控制部，所述電動機(jī)控制部對多個所述驅(qū)動用電動機(jī)中的某些所述驅(qū)動用電動機(jī)即第一驅(qū)動用電動機(jī)、除了所述第一驅(qū)動用電動機(jī)以外的其余的所述驅(qū)動用電動機(jī)即第二驅(qū)動用電動機(jī)單獨(dú)地進(jìn)行控制。
2. 如權(quán)利要求l所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于，所述第一驅(qū)動用電動機(jī)是一臺所述驅(qū)動用電動機(jī)。
3. 如權(quán)利要求l或2所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于，所述電動機(jī)控制部通過速度控制或位置控制、以及轉(zhuǎn)矩控制來控制所述第一驅(qū)動用電動機(jī)，并通過轉(zhuǎn)矩控制來控制所述第二驅(qū)動用電動機(jī)。
4. 如權(quán)利要求1或2所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于，包括所述水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)，該水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)具有作為所述第一驅(qū)動用電動機(jī)的第一水平驅(qū)動用電動機(jī)并具有作為所述第二驅(qū)動用電動機(jī)的第二水平驅(qū)動用電動機(jī)，所述控制部包括作為所述電動機(jī)控制部的水平電動機(jī)控制部，該水平電動機(jī)控制部控制所述第一水平驅(qū)動用電動機(jī)和所述第二水平驅(qū)動用電動機(jī)，所述水平電動機(jī)控制部通過速度控制或位置控制、以及轉(zhuǎn)矩控制來控 制所述第一水平驅(qū)動用電動機(jī)，并且，在所述第二水平驅(qū)動用電動機(jī)的停 止前，通過速度控制或位置控制、以及轉(zhuǎn)矩控制來控制所述第二水平驅(qū)動 用電動機(jī)，在并非所述第二水平驅(qū)動用電動機(jī)的停止前時，通過轉(zhuǎn)矩控制 來控制所述第二水平驅(qū)動用電動機(jī)。
5.如權(quán)利要求1或2所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于，包括所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)具有作為所述第一驅(qū)動用電動機(jī)的第一旋轉(zhuǎn) 驅(qū)動用電動機(jī)并具有作為所述第二驅(qū)動用電動機(jī)的第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動 機(jī)，所述控制部包括作為所述電動機(jī)控制部的旋轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部，該旋轉(zhuǎn) 電動機(jī)控制部控制所述第一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)和所述第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動 機(jī)，所述旋轉(zhuǎn)電動機(jī)控制部通過速度控制或位置控制、以及轉(zhuǎn)矩控制來控 制所述第一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)，并且，在所述第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)的停 止前，通過速度控制或位置控制、以及轉(zhuǎn)矩控制來控制所述第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動 用電動機(jī)，在并非所述第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)的停止前時，通過轉(zhuǎn)矩控制 來控制所述第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動用電動機(jī)。
全文摘要
一種工業(yè)用機(jī)器人，既使搬運(yùn)大型化的搬運(yùn)對象物時也能小型化并降低成本。工業(yè)用機(jī)器人包括裝載搬運(yùn)對象物的手、與手連結(jié)的臂、支撐臂的支撐部件、使支撐部件上下運(yùn)動的上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)、以及控制上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)的控制部(80)。上下驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括兩臺驅(qū)動用電動機(jī)(20)，控制部(80)包括控制兩臺驅(qū)動用電動機(jī)(20)的電動機(jī)控制部(81)。電動機(jī)控制部(81)對一臺驅(qū)動用電動機(jī)(20)、另一臺驅(qū)動用電動機(jī)(20)單獨(dú)地進(jìn)行控制。
文檔編號B25J9/00GK101659055SQ20091017105
公開日2010年3月3日 申請日期2009年8月25日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月26日
發(fā)明者矢澤隆之, 荒川洋 申請人:日本電產(chǎn)三協(xié)株式會社