本技術(shù)涉及半導(dǎo)體，尤其涉及一種防震地基。
背景技術(shù)：
1、隨著半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)的發(fā)展，針對(duì)光刻設(shè)備需要更高的曝光精度的要求，這就要求對(duì)設(shè)備的振動(dòng)水平進(jìn)行較好的控制。以往都是對(duì)設(shè)備內(nèi)部進(jìn)行減振，但是無(wú)法消除全部的振動(dòng)，導(dǎo)致曝光精度受限，因此需要一種能夠在源頭消除震動(dòng)的防震地基。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，現(xiàn)有的半導(dǎo)體的減震設(shè)計(jì)多設(shè)計(jì)在設(shè)備內(nèi)部，這種設(shè)計(jì)無(wú)法消除全部震動(dòng)，導(dǎo)致曝光精度受限。
2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：一種防震地基，包括頂板和底板，所述頂板設(shè)置在底板上方，所述頂板四個(gè)底角均設(shè)有第一支撐桿，所述底板四個(gè)頂角靠近第一支撐桿也對(duì)應(yīng)安裝四根第二支撐桿，所述頂板和底板之間還設(shè)有加強(qiáng)筋斜梁，所述加強(qiáng)筋斜梁呈斜向設(shè)置，且頂部通過(guò)設(shè)置消能梁和頂板相連接，所述底板下方設(shè)有多個(gè)減震板。
3、可選的，所述減震板包括減震板底部、減震板頂部和承壓部，所述減震板底部寬度與厚度均大于減震板頂部，且二者背部均貼合在底板底部，所述承壓部位于減震板底部最低點(diǎn)。
4、可選的，所述減震板采用彈性減震材質(zhì)。
5、可選的，所述承壓部底部覆蓋有橡膠墊片。
6、可選的，所述加強(qiáng)筋斜梁和消能梁設(shè)計(jì)成y字型。
7、可選的，所述第一支撐桿和第二支撐桿之間設(shè)有減震墊塊。
8、可選的，所述底板內(nèi)開(kāi)設(shè)多個(gè)線性排列的疏水管道，所述疏水管道的進(jìn)水孔位于底板頂部,所述疏水管道的排水孔位于底板外周邊框上。
9、可選的，所述疏水管道內(nèi)部設(shè)有濾網(wǎng)。
10、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和積極效果在于，
11、1、本實(shí)用新型中，通過(guò)配置第一支撐桿和第二支撐桿，增強(qiáng)了頂板和底板之間的連接強(qiáng)度，此外，加強(qiáng)筋斜梁與消能梁共同構(gòu)成一個(gè)y字型的標(biāo)準(zhǔn)消能梁端，這種設(shè)計(jì)有效地吸收震動(dòng)，與此同時(shí)，底部的多個(gè)減震板協(xié)同工作，將震動(dòng)在地面源頭消散，從而顯著提升了整體結(jié)構(gòu)的抗震能力和安全性。
12、2、本實(shí)用新型中，在底板下方減震板被成對(duì)地反向設(shè)置，形成對(duì)稱(chēng)布局，增強(qiáng)了整體的穩(wěn)定性，有益于提升抗震能力，此外，這些減震板采用水滴形狀設(shè)計(jì)，不僅有效地吸收和分散震動(dòng)能量，而且在水流作用下，能有效引導(dǎo)流體，從而進(jìn)一步增強(qiáng)地基的穩(wěn)定性。
1.一種防震地基，包括頂板(1)和底板(2)，所述頂板(1)設(shè)置在底板(2)上方，其特征在于：所述頂板(1)四個(gè)底角均設(shè)有第一支撐桿(3)，所述底板(2)四個(gè)頂角靠近第一支撐桿(3)也對(duì)應(yīng)安裝四根第二支撐桿(4)，所述頂板(1)和底板(2)之間還設(shè)有加強(qiáng)筋斜梁(6)，所述加強(qiáng)筋斜梁(6)呈斜向設(shè)置，且頂部通過(guò)設(shè)置消能梁(12)和頂板(1)相連接，所述底板(2)下方設(shè)有多個(gè)減震板(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防震地基，其特征在于：所述減震板(9)包括減震板底部(91)、減震板頂部(92)和承壓部(93)，所述減震板底部(91)寬度與厚度均大于減震板頂部(92)，且二者背部均貼合在底板(2)底部，所述承壓部(93)位于減震板底部(91)最低點(diǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防震地基，其特征在于：所述減震板(9)采用彈性減震材質(zhì)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種防震地基，其特征在于：所述承壓部(93)底部覆蓋有橡膠墊片(10)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防震地基，其特征在于：所述加強(qiáng)筋斜梁(6)和消能梁(12)設(shè)計(jì)成y字型。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防震地基，其特征在于：所述第一支撐桿(3)和第二支撐桿(4)之間設(shè)有減震墊塊(5)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防震地基，其特征在于：所述底板(2)內(nèi)開(kāi)設(shè)多個(gè)線性排列的疏水管道，所述疏水管道的進(jìn)水孔(7)位于底板(2)頂部,所述疏水管道的排水孔(8)位于底板(2)外周邊框上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種防震地基，其特征在于：所述疏水管道內(nèi)部設(shè)有濾網(wǎng)(11)。