一種多線切割機(jī)的定心定位結(jié)構(gòu)的制作方法

本發(fā)明屬于多線切割機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種多線切割機(jī)的定心定位結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

多線切割是一種通過(guò)金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng)，把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進(jìn)行研磨，將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法，是目前單晶硅、多晶硅及電子級(jí)硅、藍(lán)寶石等硬脆材料加工的主要設(shè)備，總厚度公差(ttv)是晶片質(zhì)量最主要的參數(shù)之一，而加工過(guò)程中導(dǎo)輪的對(duì)心情況直接影響晶片ttv。目前，市面上的多線切割機(jī)普遍使用關(guān)節(jié)軸承進(jìn)行對(duì)心，這種對(duì)心方式效率低，造成晶片ttv參數(shù)偏大。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的以上問(wèn)題，提供一種多線切割機(jī)的定心定位結(jié)構(gòu)，該發(fā)明保證導(dǎo)輪的定心定位和扭矩的傳遞，從而保證了晶片的加工精度和質(zhì)量。

技術(shù)方案：本發(fā)明公開了一種多線切割機(jī)的定心定位結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)包括芯軸，錐面彈性定位體和所述芯軸之間采用大過(guò)盈配合，定位盤的內(nèi)錐面與所述彈性定位體的外錐面配合連接，所述彈性定位體的內(nèi)腔設(shè)有拉桿，所述拉桿上設(shè)有外螺紋，導(dǎo)輪設(shè)置在拉桿的外側(cè)并與所述定位盤的外側(cè)相接觸，所述導(dǎo)輪與定位盤結(jié)合的一側(cè)與所述芯軸與彈性定位體結(jié)合的一側(cè)相接觸。

進(jìn)一步的，所述芯軸外側(cè)設(shè)置有軸承座。

進(jìn)一步的，所述軸承座外側(cè)固定在機(jī)架上。

進(jìn)一步的，所述芯軸與所述軸承座之間設(shè)有圓柱滾子軸承、角接觸球軸承和雙列調(diào)心球軸承。

優(yōu)選的，所述圓柱滾子軸承和一對(duì)角接觸球軸承設(shè)置在同一端，雙列調(diào)心球軸承設(shè)置在另一端。

進(jìn)一步的，所述兩端軸承之間設(shè)有內(nèi)隔套。

進(jìn)一步的，所述彈性定位體的錐面斜角在30°~40°之間。

進(jìn)一步的，所述彈性定位體的材料為65mn鋼。

進(jìn)一步的，與所述彈性定位體錐面相對(duì)側(cè)的兩個(gè)對(duì)稱突出結(jié)構(gòu)為彈性結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述彈性定位體和芯軸的裝配方式為溫差法裝配。

有益效果：本發(fā)明公開了一種多線切割機(jī)的定心定位結(jié)構(gòu)，彈性定位體和芯軸采用大過(guò)盈配合，溫差法裝配，可以將此兩個(gè)零件視作一個(gè)組合件，當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)拉桿時(shí)，它的螺紋會(huì)被旋緊，通過(guò)導(dǎo)輪和定位盤向彈性定位體和芯軸形成的組合件施力，此時(shí)定位盤的錐面和彈性定位體的錐面貼合，起到定心與傳遞扭矩的作用；彈性定位體的彈性部分被壓縮，導(dǎo)輪右側(cè)端面與芯軸左側(cè)端面相接觸，起到定位的作用。這種定心定位結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)多線切割機(jī)上的導(dǎo)輪組件可拆缷、定心與定位準(zhǔn)確、傳遞扭矩的效果，并且保證了切片后晶片的加工精度。

附圖說(shuō)明

圖1多線切割機(jī)定心定位結(jié)構(gòu)的剖視示意圖。

圖2多線切割機(jī)定心定位結(jié)構(gòu)的彈性定位體的剖視示意圖。

圖中標(biāo)號(hào)說(shuō)明：1、拉桿；2、導(dǎo)輪；3、定位盤；4、彈性定位體；5、芯軸；6、機(jī)架；7、軸承座；8、雙列調(diào)心球軸承；9、內(nèi)隔套；10、角接觸球軸承；11、圓柱滾子軸承。

具體實(shí)施方式

下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例，來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。

一種多線切割機(jī)的定心定位結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)包括芯軸5，錐面彈性定位體4和所述芯軸5之間采用大過(guò)盈配合，定位盤3的內(nèi)錐面與所述彈性定位體4的外錐面配合連接，所述彈性定位體4的內(nèi)腔設(shè)有拉桿1，所述拉桿1上設(shè)有外螺紋，導(dǎo)輪2設(shè)置在拉桿1的外側(cè)并與所述定位盤3的外側(cè)相接觸，所述導(dǎo)輪2與定位盤3結(jié)合的一側(cè)與所述芯軸5與彈性定位體4結(jié)合的一側(cè)相接觸，所述芯軸5外側(cè)設(shè)置有軸承座7，所述軸承座7外側(cè)固定在機(jī)架6上。

進(jìn)一步的，所述芯軸5與所述軸承座7之間設(shè)有圓柱滾子軸承11、角接觸球軸承10和雙列調(diào)心球軸承8，所述圓柱滾子軸承11和一對(duì)角接觸球軸承10設(shè)置在同一端，雙列調(diào)心球軸承8設(shè)置在另一端。

進(jìn)一步的，所述兩端軸承之間設(shè)有內(nèi)隔套。

進(jìn)一步的，所述彈性定位體的錐面斜角在30°~40°之間。

進(jìn)一步的，所述彈性定位體的材料為65mn鋼。

進(jìn)一步的，與所述彈性定位體錐面相對(duì)側(cè)的兩個(gè)對(duì)稱突出結(jié)構(gòu)為彈性結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述彈性定位體和芯軸的裝配方式為溫差法裝配。

以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種多線切割機(jī)的定心定位結(jié)構(gòu)，包括拉桿、導(dǎo)輪、定位盤、彈性定位體、芯軸，彈性定位體和芯軸采用大過(guò)盈配合，溫差法裝配，可以將此兩個(gè)零件視作一個(gè)組合件，當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)拉桿時(shí)，它的螺紋會(huì)被旋緊，通過(guò)導(dǎo)輪和定位盤向彈性定位體和芯軸形成的組合件施力，此時(shí)定位盤的錐面和彈性定位體的錐面貼合，起到定心與傳遞扭矩的作用；彈性定位體的彈性部分被壓縮，導(dǎo)輪與定位盤結(jié)合的一側(cè)與芯軸與彈性定位體結(jié)合的一側(cè)相接觸，起到定位的作用。這種定心定位結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)多線切割機(jī)上的導(dǎo)輪組件可拆缷、定心與定位準(zhǔn)確、傳遞扭矩的效果，從而保證了晶片的加工精度。

技術(shù)研發(fā)人員：喬衛(wèi)民;譚雷;馬艷
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州赫瑞特電子專用設(shè)備科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.07
技術(shù)公布日：2017.07.21