一種多線切割機(jī)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的制作方法

本發(fā)明涉及多線切割機(jī)領(lǐng)域，具體涉及一種多線切割機(jī)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

多線切割機(jī)是目前單晶硅、多晶硅及電子級(jí)硅、藍(lán)寶石等硬脆材料加工的主要設(shè)備，張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)是多線切割機(jī)的主要功能部件之一。目前，市面上的多線切割機(jī)張力調(diào)節(jié)技術(shù)通常使用向旋轉(zhuǎn)電機(jī)施加一定扭矩來(lái)調(diào)節(jié)張力，其靈敏度低，張力調(diào)節(jié)不穩(wěn)定，且易斷線。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

要解決的技術(shù)問(wèn)題：本發(fā)明的主要目的在于，保證金剛線上的張力恒定，降低設(shè)備斷線率。

技術(shù)方案：為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種多線切割機(jī)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，本發(fā)明的技術(shù)方案為：

一種多線切割機(jī)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，包括直線導(dǎo)軌、機(jī)架、定子組件、磁柵尺、動(dòng)子組件、滑線輪組件和動(dòng)子，直線導(dǎo)軌固定在機(jī)架上；定子組件固定在機(jī)架上，并且位于兩直線導(dǎo)軌中間；磁柵尺固定在機(jī)架上，并沿著一側(cè)直線導(dǎo)軌方向設(shè)置；動(dòng)子組件滑動(dòng)地設(shè)置在直線導(dǎo)軌上；滑線輪組件與動(dòng)子組件連接在一起；動(dòng)子連接并驅(qū)動(dòng)動(dòng)子組件。

所述的一種多線切割機(jī)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述直線導(dǎo)軌通過(guò)螺紋緊固件固定在機(jī)架上。

所述的一種多線切割機(jī)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述磁柵尺與直線導(dǎo)軌平行。

所述的一種多線切割機(jī)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述滑線輪組件上纏繞有金剛線，金剛線從所述滑線輪組件上側(cè)進(jìn)入后從下側(cè)出，進(jìn)線和出線在同一平面并且平行。

所述的一種多線切割機(jī)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述動(dòng)子與定子組件形成直線電機(jī)，并通過(guò)動(dòng)子帶動(dòng)動(dòng)子組件移動(dòng)。

采用直線電機(jī)進(jìn)行金剛線的張力調(diào)節(jié)，這種結(jié)構(gòu)靈敏度高，響應(yīng)快，保證了金剛線上的張力恒定，大大減少了斷線率。

采用磁柵尺測(cè)量距離，磁柵尺成本較光柵低，測(cè)量精度高，距離反饋準(zhǔn)確。

張力調(diào)節(jié)組件導(dǎo)向采用直線導(dǎo)軌，直線導(dǎo)軌傳動(dòng)平穩(wěn)，使得張力調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)無(wú)抖動(dòng)，降低了斷線率。

有益效果：本發(fā)明的有益技術(shù)效果在于：本發(fā)明的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)保證了金剛線上的張力恒定，降低了設(shè)備斷線率。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明多線切割機(jī)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的正視圖。

圖2是本發(fā)明多線切割機(jī)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的側(cè)剖視圖。

具體實(shí)施方式

為了進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的原理，現(xiàn)結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

如圖1和2所示，多線切割機(jī)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括直線導(dǎo)軌1、機(jī)架2、定子組件3、磁柵尺4、動(dòng)子組件5、滑線輪組件6和動(dòng)子7，直線導(dǎo)軌1固定在機(jī)架2上；定子組件3固定在機(jī)架2上，并且位于兩直線導(dǎo)軌2中間；磁柵尺4固定在機(jī)架2上，并沿著一側(cè)直線導(dǎo)軌1方向設(shè)置；動(dòng)子組件5滑動(dòng)地設(shè)置在直線導(dǎo)軌1上；滑線輪組件6與動(dòng)子組件5連接在一起；動(dòng)子7連接并驅(qū)動(dòng)動(dòng)子組件5。

如圖1所示，直線導(dǎo)軌1通過(guò)螺紋緊固件固定在機(jī)架上。

磁柵尺4與直線導(dǎo)軌1平行。

滑線輪組件6上纏繞有金剛線，金剛線從滑線輪組件6上側(cè)進(jìn)入后從下側(cè)出，進(jìn)線和出線在同一平面并且平行。

動(dòng)子7與定子組件3形成直線電機(jī)，并通過(guò)動(dòng)子7帶動(dòng)動(dòng)子組件5移動(dòng)，采用直線電機(jī)進(jìn)行金剛線的張力調(diào)節(jié)，這種結(jié)構(gòu)靈敏度高，響應(yīng)快，保證了金剛線上的張力恒定，大大減少了斷線率。

采用磁柵尺4測(cè)量距離，磁柵尺4成本較光柵低，測(cè)量精度高，距離反饋準(zhǔn)確。

張力調(diào)節(jié)組件導(dǎo)向采用直線導(dǎo)軌1，直線導(dǎo)軌1傳動(dòng)平穩(wěn)，使得張力調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)無(wú)抖動(dòng)，降低了斷線率。

加電后，直線電機(jī)的動(dòng)子組件5帶動(dòng)滑線輪組件6在直線導(dǎo)軌1上運(yùn)動(dòng)，當(dāng)張力小于額定張力，直線電機(jī)移動(dòng)動(dòng)子組件5將金剛線拉緊，達(dá)到恒定張力，將金剛線放松，達(dá)到恒定張力。

該多線切割機(jī)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)可以保證金剛線上的張力恒定，降低設(shè)備斷線率。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳可行實(shí)施例，并非限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡是利用本發(fā)明說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等效遠(yuǎn)離，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專(zhuān)利保護(hù)范圍內(nèi)。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種多線切割機(jī)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，包括：直線導(dǎo)軌、機(jī)架、定子組件、磁柵尺、動(dòng)子組件、滑線輪組件和動(dòng)子，直線導(dǎo)軌固定在機(jī)架上；定子組件固定在機(jī)架上，并且位于兩直線導(dǎo)軌中間；磁柵尺固定在機(jī)架上，并沿著一側(cè)直線導(dǎo)軌方向；動(dòng)子組件滑動(dòng)地設(shè)置在直線導(dǎo)軌上；滑線輪組件與動(dòng)子組件連接在一起；動(dòng)子連接并驅(qū)動(dòng)動(dòng)子組件。該多線切割機(jī)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)能夠保證金剛線上的張力恒定，降低設(shè)備斷線率。

技術(shù)研發(fā)人員：喬衛(wèi)民;翟新;馬艷
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州赫瑞特電子專(zhuān)用設(shè)備科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.07
技術(shù)公布日：2017.07.21