上砂裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種上砂裝置，其特征在于它包括上砂槽，所述上砂槽包括上下布置的上層上砂槽（4.1）以及下層上砂槽（4.2），上層上砂槽（4.1）以及下層上砂槽（4.2）的中部均設(shè)置有環(huán)形砂道（4.4），下層上砂槽（4.2）的前段以及后段上方均設(shè)置有上砂導(dǎo)線輪（4.7），環(huán)形砂道（4.4）右側(cè)的砂道上方設(shè)置有前后布置的兩個(gè)上砂壓輪（4.6），上砂壓輪（4.6）的下緣位于環(huán)形砂道（4.4）內(nèi)，環(huán)形砂道（4.4）包括前后布置的兩組傳動(dòng)裝置以及傳動(dòng)砂帶（4.4.1）。本實(shí)用新型上砂裝置用于組裝裸鉆石線鋸生產(chǎn)系統(tǒng)具有產(chǎn)品切割能力高、鉆石粉鍍覆均勻、且能夠?qū)崿F(xiàn)快速批量生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】上砂裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種裸鉆石線鋸生產(chǎn)系統(tǒng)，尤其涉及一種用于裸鉆石線鋸生產(chǎn)系統(tǒng)的上砂裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]電子、新能源以及光學(xué)行業(yè)迅猛發(fā)展，將單晶硅，藍(lán)寶石，磁性材料，陶瓷材料，玉石，貴金屬等材料切割成晶片的制造廠商不斷增加。市場(chǎng)上的主流多線切割工藝為“裸鋼線+磨料漿液”。這種采用游離磨料的切割方式與以往的內(nèi)圓鋸片，外圓刀片，帶鋸相比，具有可切割大直徑晶棒和多線同時(shí)切割，減少線損等優(yōu)勢(shì)，但也存在以下明顯不足:
[0003]1、晶棒以及加工區(qū)域脂基研磨液污染；
[0004]2、泥漿狀的切削液在使用后需要經(jīng)過處理排放，易造成環(huán)境污染，再處理過程中水排放很大，環(huán)保壓力大。
[0005]3、切割工藝為游離磨粒的材料去除機(jī)理，切削效率低；
[0006]4、藍(lán)寶石，砷化鎵、碳化硅等第二、三代半導(dǎo)體材料硬度高，難以切削，晶圓表面粗
糙度高。
[0007]5、切割過后廢料和磨料粒度相近，很難回收再利用。
[0008]鉆石線鋸切割工藝，切割速度是“裸鋼線+磨料漿液”的3-5倍。在切割相同材料時(shí)，前者所需要的磨粒線只有后者的1%。自從改用乳化水冷卻后，生產(chǎn)相同數(shù)量產(chǎn)品的廢水量減少到以往的2%，符合國家節(jié)能減排的倡導(dǎo)。
[0009]電鍍鉆石線鋸是將高硬度、高耐磨性的金剛石微粉固結(jié)在金屬絲上。運(yùn)用于晶體切割，切割速度快，廢水量少，晶片彎曲度、翹曲度小，平行度好，總厚度公差離散型小，刀口切割損耗小，表面損傷層淺，晶片表面粗糙度小。被切割材料覆蓋各種半導(dǎo)體材料，如硅、鍺、鉭酸鋰，砷化鎵、磷化銦，人造寶石、碳化硅以及石英玻璃、氧化鋁片等材料的精密切割。
[0010]目前生產(chǎn)電鍍鉆石線鋸的生產(chǎn)系統(tǒng)主要存在以下不足:
[0011]1、目前的鉆石電鍍鉆石線鋸都采用鍍衣金剛石微粉，即在金剛石微粉表面用電鍍或化學(xué)鍍，復(fù)合鍍等方式先鍍一層金屬，使微粉表面導(dǎo)電，然后投入使用。用這種方式可以使金剛石快速吸附在線表面，同時(shí)由于金剛石表面有導(dǎo)電性，在電沉積過程中，由于尖端效應(yīng)，會(huì)使金剛石表面的鍍層變得很厚，鍍層厚度大于裸線表面的鍍層厚度，影響線的切割能力。
[0012]2、鍍衣金剛石沉積在裸線表面的時(shí)候，本身由于導(dǎo)電的問題，很容易再鍍上金剛石，使表面產(chǎn)生團(tuán)聚或者堆積的現(xiàn)象，影響切割質(zhì)量。
[0013]3、現(xiàn)有應(yīng)用的金剛線生產(chǎn)設(shè)備一般都是單根走線，生產(chǎn)效率較低。
[0014]因此尋求一種產(chǎn)品切割能力高、鉆石粉鍍覆均勻、且能夠?qū)崿F(xiàn)快速批量生產(chǎn)的裸鉆石線鋸生產(chǎn)系統(tǒng)尤為重要。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0015]本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種用于組裝產(chǎn)品切割能力高、鉆石粉鍍覆均勻、且能夠?qū)崿F(xiàn)快速批量生產(chǎn)的裸鉆石線鋸生產(chǎn)系統(tǒng)的上砂裝置。
[0016]本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0017]一種上砂裝置，于它包括上砂槽，所述上砂槽包括上下布置的上層上砂槽以及下層上砂槽，上層上砂槽以及下層上砂槽的中部均設(shè)置有環(huán)形砂道，下層上砂槽的前段以及后段上方均設(shè)置有上砂導(dǎo)線輪，環(huán)形砂道右側(cè)的砂道上方設(shè)置有前后布置的兩個(gè)上砂壓輪，上砂壓輪的下緣位于環(huán)形砂道內(nèi)，環(huán)形砂道包括前后布置的兩組傳動(dòng)裝置以及傳動(dòng)砂帶，環(huán)形砂道的傳動(dòng)砂帶布置金剛砂，上層上砂槽以及下層上砂槽內(nèi)設(shè)置上砂液，上砂液的液面高于傳動(dòng)砂帶上的金剛砂的砂面。
[0018]傳動(dòng)裝置包括同軸連接的主動(dòng)齒輪、傳動(dòng)齒輪以及托板，傳動(dòng)砂帶的兩端架設(shè)于托板上，傳動(dòng)砂帶的內(nèi)緣與傳動(dòng)齒輪的外緣嚙合。
[0019]所述上砂槽的下方設(shè)置有上砂液集液槽。
[0020]托板為圓形板。
[0021]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:
[0022]1、金剛砂為裸金剛石，切割過程中無需要開刃，切割能力強(qiáng)。
[0023]2、裸金剛石不導(dǎo)電，沒有堆積的現(xiàn)象，很少團(tuán)聚。
[0024]3、本系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)多根裸線同時(shí)走線生產(chǎn)，提高生產(chǎn)效率，實(shí)現(xiàn)快速批量生產(chǎn)，而且裸金剛石生產(chǎn)的線鋸，成品線徑比常規(guī)生產(chǎn)線徑小10-20微米，減少線損，經(jīng)濟(jì)效益好。
[0025]因此本實(shí)用新型上砂裝置用于組裝裸鉆石線鋸生產(chǎn)系統(tǒng)具有產(chǎn)品切割能力高、鉆石粉鍍覆均勻、且能夠?qū)崿F(xiàn)快速批量生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0026]圖1為裸鉆石線鋸生產(chǎn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。
[0027]圖2為上砂裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0028]圖3為上砂槽的結(jié)構(gòu)圖。
[0029]圖4為上層上砂槽的結(jié)構(gòu)圖。
[0030]圖5為下層上砂槽的結(jié)構(gòu)圖。
[0031]圖6為環(huán)形砂道的結(jié)構(gòu)圖。
[0032]圖7為圖6的爆炸圖。
[0033]其中:
[0034]放線裝置I
[0035]鍍前處理裝置2
[0036]預(yù)鍍裝置3
[0037]上砂裝置4、上層上砂槽4.1、下層上砂槽4.2、上砂液集液槽4.3、環(huán)形砂道4.4、傳動(dòng)砂帶4.4.1、主動(dòng)齒輪4.4.2、傳動(dòng)齒輪4.4.3、托板4.4.4、上砂槽前導(dǎo)輪4.5、上砂壓輪4.6、上砂導(dǎo)線輪4.7
[0038]固化裝置5
[0039]鍍后處理裝置6
[0040]烘箱7[0041]收線裝置8。
【具體實(shí)施方式】
[0042]參見圖1，一種裸鉆石線鋸生產(chǎn)系統(tǒng)，它從前至后依次包括放線裝置1、鍍前處理裝置2、預(yù)鍍裝置3、上砂裝置4、固化裝置5、鍍后處理裝置6、烘箱7以及收線裝置8。
[0043]參見圖1?圖7，本實(shí)用新型涉及的上砂裝置4包括上砂裝置機(jī)架，上砂裝置機(jī)架分別上下兩層，上層的上砂裝置機(jī)架上設(shè)置有上砂槽，下層的上砂裝置機(jī)架上設(shè)置有上砂液集液槽4.3，上砂槽包括上下布置的上層上砂槽4.1以及下層上砂槽4.2，上層上砂槽4.1以及下層上砂槽4.2的中部均設(shè)置有環(huán)形砂道4.4，下層上砂槽4.2的前方設(shè)置有上砂槽前導(dǎo)輪4.5，下層上砂槽4.2的長度長于上層上砂槽4.1，下層上砂槽4.2的前段以及后段上方均設(shè)置有上砂導(dǎo)線輪4.7，即兩個(gè)上砂導(dǎo)線輪4.7分別位于上層上砂槽4.1的前方以及后方，環(huán)形砂道4.4右側(cè)的砂道上方設(shè)置有前后布置的兩個(gè)上砂壓輪4.6，上砂壓輪4.6的下緣位于環(huán)形砂道4.4內(nèi)，環(huán)形砂道4.4包括前后布置的兩組傳動(dòng)裝置以及傳動(dòng)砂帶
4.4.1，傳動(dòng)砂帶4.4.1的形狀呈腰圓形，傳動(dòng)裝置包括同軸連接的主動(dòng)齒輪4.4.2、傳動(dòng)齒輪4.4.3以及托板4.4.4，托板4.4.4為圓形板，傳動(dòng)砂帶4.4.1的兩端架設(shè)于托板4.4.4上，傳動(dòng)砂帶4.4.1的內(nèi)緣與傳動(dòng)齒輪4.4.3的外緣嚙合，環(huán)形砂道4.4的傳動(dòng)砂帶4.4.1布置金剛砂，上層上砂槽4.1以及下層上砂槽4.2內(nèi)設(shè)置上砂液，上砂液的液面高于傳動(dòng)砂帶4.4.1上的金剛砂的砂面，上層上砂槽4.1以及下層上砂槽4.2的底部設(shè)置有排液孔，通過各個(gè)排液孔將上砂槽內(nèi)的上砂液排放至其下方的上砂液集液槽4.3內(nèi)，上砂液集液槽
4.3又通過輸送泵將上砂液集液槽4.3內(nèi)的上砂液輸送至上層上砂槽4.1以及下層上砂槽
4.2內(nèi)。上砂裝置4的上砂液為氨基磺酸鎳鍍液，金剛砂采用l(T50um裸金剛石。
[0044]上砂裝置原理:傳送砂帶上布滿金剛砂，金剛砂厚度約3?5mm，裸線通過上砂壓輪調(diào)整高低，使裸線底面距離傳動(dòng)砂帶約廣2_，使裸線完全埋入金剛砂中，通過控制傳動(dòng)砂帶的傳動(dòng)速度與裸線的牽引速度一致，使得在上砂過程中保持金剛砂與裸線相對(duì)靜止，增加上砂的效率，上層上砂槽以及下層上砂槽兩側(cè)安裝鎳條，接負(fù)極，兩個(gè)上砂導(dǎo)線輪接正極，通過調(diào)整電流大小以及傳動(dòng)砂帶的傳動(dòng)速度與裸線的牽引速度，得到裸線上上有合適的金剛砂密度。
【權(quán)利要求】
1.一種上砂裝置，其特征在于它包括上砂槽，所述上砂槽包括上下布置的上層上砂槽(4.1)以及下層上砂槽(4.2)，上層上砂槽(4.1)以及下層上砂槽(4.2)的中部均設(shè)置有環(huán)形砂道(4.4)，下層上砂槽(4.2)的前段以及后段上方均設(shè)置有上砂導(dǎo)線輪(4.7)，環(huán)形砂道(4.4)右側(cè)的砂道上方設(shè)置有前后布置的兩個(gè)上砂壓輪(4.6)，上砂壓輪(4.6)的下緣位于環(huán)形砂道(4.4)內(nèi)，環(huán)形砂道(4.4)包括前后布置的兩組傳動(dòng)裝置以及傳動(dòng)砂帶(4.4.1)，環(huán)形砂道(4.4)的傳動(dòng)砂帶(4.4.1)布置金剛砂，上層上砂槽(4.1)以及下層上砂槽(4.2)內(nèi)設(shè)置上砂液，上砂液的液面高于傳動(dòng)砂帶(4.4.1)上的金剛砂的砂面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種上砂裝置，其特征在于傳動(dòng)裝置包括同軸連接的主動(dòng)齒輪(4.4.2)、傳動(dòng)齒輪(4.4.3)以及托板(4.4.4)，傳動(dòng)砂帶(4.4.1)的兩端架設(shè)于托板(4.4.4)上，傳動(dòng)砂帶(4.4.1)的內(nèi)緣與傳動(dòng)齒輪(4.4.3)的外緣嚙合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種上砂裝置，其特征在于所述上砂槽的下方設(shè)置有上砂液集液槽(4.3)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種上砂裝置，其特征在于托板(4.4.4)為圓形板。
【文檔編號(hào)】B28D7/00GK203818354SQ201420184690
【公開日】2014年9月10日 申請(qǐng)日期:2014年4月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月17日
【發(fā)明者】張偉 申請(qǐng)人:江蘇中博鉆石科技有限公司