漿料再生裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種漿料再生裝置(10),將廢棄冷卻液亦即漿料(S)再生為能夠再利用的冷卻液,所述廢棄冷卻液包含用線鋸(51)切斷硅錠(I)時產(chǎn)生的切削屑和磨粒。所述漿料再生裝置(10)包括:貯存進行再生處理的漿料(S)的貯存罐(11);以及用于儲備向貯存罐(11)供應(yīng)的漿料(So)的儲備罐(41)。由此,無論漿料(So)的回收量如何,均能夠始終穩(wěn)定地連續(xù)再生漿料(S)。
【專利說明】漿料再生裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種漿料再生裝置,通過從在用線鋸切斷硅錠時所使用的廢棄冷卻液(有時將其稱作“漿料”)去除切削屑等,從而將所述漿料再生為能夠再利用的冷卻液。
【背景技術(shù)】 [0002]太陽能電池等中所用的硅晶片通過用線鋸將硅錠切薄而獲得。硅錠的切斷方式大致分為固定磨粒方式與游離磨粒方式。固定磨粒方式是使磨粒固定于線鋸的方式,游離磨粒方式是使磨粒含在作為冷卻劑的冷卻液中的方式。無論是何種方式,在切斷作業(yè)過程中,均須對用線鋸切斷硅錠的部位供應(yīng)冷卻液。由此,切斷部位受到冷卻,從而從切斷部位排出切削屑。切斷后的金屬硅薄片附著有冷卻液或切削屑等,因此,對其進行清洗而獲得硅晶片。
[0003]在切斷硅錠時所使用的廢棄冷卻液處于包含切削屑和磨粒等的泥狀態(tài)。因此,廢棄冷卻液有時被稱作漿料。為削減成本,對漿料進行再利用。但是,若直接進行再利用,則會因混入的切削屑等而導(dǎo)致硅晶片的表面劃傷,或硅晶片發(fā)生破損,或線鋸發(fā)生劣化。對此,例如通過國際公開第2013/035438號中公開的再生方法,從漿料去除切削屑等,將漿料再生為能夠再利用的冷卻液。
[0004]即,國際公開第2013/035438號中公開的漿料再生方法包括離心分離工序及膜分離工序。離心分離工序是對漿料進行離心分離,分離為以高濃度含有切削屑等的固體成分(淤泥)和以低濃度含有切削屑等的離心分離液,將固體成分去除,并將離心分離液混合到漿料中使其循環(huán)的工序。膜分離工序是對漿料進行膜分離,分離為濃縮含有切削屑等的濃縮液和幾乎不含切削屑等的膜過濾液,將膜過濾液回收,并將濃縮液混合到漿料中使其循環(huán)的工序。并且,通過將在離心分離工序循環(huán)的離心分離液與在膜分離工序回收的膜過濾液予以混合,從而將漿料再生為能夠再利用的冷卻液。
[0005]此時,如國際公開第2013/035438號的說明書段落0036~0039中所記載,將從硅錠的切斷現(xiàn)場回收的漿料貯存到貯存罐中,從該貯存罐將漿料分配供應(yīng)到離心分離裝置及膜分離裝置,在離心分離裝置中,一邊使所述離心分離液向貯存罐循環(huán),一邊進行所述離心分離工序,在膜分離裝置中,一邊使所述濃縮液向貯存罐循環(huán),一邊進行所述膜分離工序。
[0006]在此,例如,當從硅錠的切斷現(xiàn)場大量地回收了漿料時,所回收的漿料無法全部裝入貯存罐中,漿料的回收作業(yè)甚至硅錠的切斷作業(yè)有可能中斷至貯存罐內(nèi)的漿料量(將其稱作“貯存量”)減少為止。相反,在硅錠的切斷作業(yè)處于運行率低的狀態(tài)下,漿料的回收量較少或為零時,貯存罐內(nèi)的漿料有可能枯竭,出現(xiàn)無法進行漿料的再生處理的空閑時間。
實用新型內(nèi)容
[0007]本實用新型鑒于漿料再生裝置中產(chǎn)生的所述問題而作出,其目的在于提供一種無論漿料的回收量如何,均能夠始終穩(wěn)定地連續(xù)再生漿料的漿料再生裝置,所述漿料再生裝置將廢棄冷卻液(也就是漿料)再生為能夠再利用的冷卻液,所述廢棄冷卻液包含用線鋸切斷硅錠時產(chǎn)生的切削屑和磨粒。
[0008]本實用新型所涉及的漿料再生裝置,是將廢棄冷卻液亦即漿料再生為能夠再利用的冷卻液的漿料再生裝置,其中,所述廢棄冷卻液包含用線鋸切斷硅錠時產(chǎn)生的切削屑和磨粒,所述漿料再生裝置包括:貯存罐,貯存進行再生處理的漿料;以及儲備罐,用于儲備向所述貯存罐供應(yīng)的漿料。
[0009]根據(jù)本實用新型,由于具備用于儲備向貯存進行再生處理的漿料的貯存罐供應(yīng)的漿料的儲備罐,因此,能夠?qū)墓桢V的切斷現(xiàn)場回收的漿料暫且儲備在儲備罐中。因此,例如,當大量地回收了漿料時,通過將其儲備在儲備罐中,能夠避免貯存罐溢出。因此,能夠不中斷漿料的回收作業(yè)甚至硅錠的切斷作業(yè)而持續(xù)進行。相反,在漿料的回收量較少或為零時,通過從儲備罐向貯存罐供應(yīng)漿料,能夠持續(xù)進行漿料的再生處理。因此,能夠避免無法進行漿料的再生處理的空閑時間的產(chǎn)生。如上所述,通過具備儲備罐,無論漿料的回收量如何,均能夠始終穩(wěn)定地連續(xù)再生漿料,能夠?qū)崿F(xiàn)漿料的回收進而再生產(chǎn)性的提高。
[0010]另外,在本實用新型中,所謂“磨?!?,例如包括固定磨粒方式中的從線鋸脫落的磨粒及游離磨粒方式中的冷卻液中所含的磨粒等。
[0011]在本實用新型中,較為理想的是,所述儲備罐的容量被設(shè)定為比所述貯存罐的容量大的值。
[0012]根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠在儲備罐中儲備大于貯存罐的容量的量的漿料,因此,漿料的回收量較少或為零時,能夠長時間持續(xù)進行漿料的再生處理,進一步避免空閑時間的產(chǎn)生。
[0013]在本實用新型中,較為理想的是,所述儲備罐的容量被設(shè)定為在硅錠的一次切斷作業(yè)中所使用的冷卻液的量的2?5倍。
[0014]根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠在儲備罐中儲備硅錠的2?5次切斷作業(yè)的漿料,因此,能夠不中斷硅錠的切斷作業(yè)而持續(xù)進行的可能性進一步提高。
[0015]在本實用新型中,較為理想的是,所述漿料再生裝置還包括:導(dǎo)管,連接所述儲備罐與所述貯存罐;泵,能夠?qū)⑺鰞涔迌?nèi)的漿料經(jīng)由所述導(dǎo)管而輸送到所述貯存罐;以及供應(yīng)調(diào)整控制部,驅(qū)動所述泵,使得漿料從所述儲備罐經(jīng)由所述導(dǎo)管被供應(yīng)到所述貯存罐。
[0016]根據(jù)該結(jié)構(gòu),通過泵的驅(qū)動,從儲備罐經(jīng)由導(dǎo)管向貯存罐穩(wěn)定地供應(yīng)漿料。
[0017]在本實用新型中,較為理想的是,所述漿料再生裝置還包括:儲備用導(dǎo)管,用于從娃錠的切斷現(xiàn)場向所述儲備罐供應(yīng)衆(zhòng)料。
[0018]根據(jù)該結(jié)構(gòu),在硅錠的切斷現(xiàn)場生成的漿料經(jīng)由儲備用導(dǎo)管而穩(wěn)定地供應(yīng)至儲備罐。并且,也無需作業(yè)者將在硅錠的切斷現(xiàn)場生成的漿料搬運至儲備罐。
[0019]在本實用新型中,較為理想的是,所述漿料再生裝置還包括:再生處理部,從所述貯存罐導(dǎo)出漿料并進行再生處理。
[0020]根據(jù)該結(jié)構(gòu),將漿料從貯存罐導(dǎo)出到再生處理部,因此,貯存罐內(nèi)的漿料量減少。但是,即使在該情況下,通過從儲備罐向貯存罐供應(yīng)漿料,能夠抑制貯存罐內(nèi)的漿料枯竭的情況。并且,通過調(diào)節(jié)漿料的供應(yīng)量,能夠抑制漿料溢出。
[0021]在本實用新型中,較為理想的是,所述再生處理部將再生處理后的一部分漿料送回所述貯存罐。
[0022]根據(jù)該結(jié)構(gòu),從再生處理部將一部分漿料導(dǎo)入貯存罐,因此,貯存罐內(nèi)的漿料量時時刻刻發(fā)生各種變化且減少。但是,即使在該情況下,通過從儲備罐向貯存罐供應(yīng)漿料,能夠抑制貯存罐內(nèi)的漿料枯竭的情況。并且,通過調(diào)節(jié)漿料的供應(yīng)量,能夠抑制漿料溢出。
[0023]在本實用新型中,較為理想的是,所述再生處理部是離心分離部和膜分離部中的至少一個,其中,所述離心分離部對漿料進行離心分離,將漿料分離為以高濃度含有切削屑的固體成分和以低濃度含有切削屑且送回所述貯存罐而被循環(huán)利用的離心分離液,所述膜分離部對漿料進行膜分離,將漿料分離為濃縮含有切削屑且送回所述貯存罐而被循環(huán)利用的濃縮液和不含切削屑的膜過濾液。
[0024]根據(jù)該結(jié)構(gòu),從貯存罐將漿料導(dǎo)出到離心分離部及/或膜分離部,因此,貯存罐內(nèi)的漿料量減少。而且,從離心分離部及/或膜分離部將離心分離液及/或濃縮液導(dǎo)入貯存罐,因此,貯存罐內(nèi)的漿料量時時刻刻發(fā)生各種變化且減少。但是,即使在該情況下,通過從儲備罐向貯存罐供應(yīng)漿料,能夠抑制貯存罐內(nèi)的漿料枯竭的情況。并且,通過調(diào)節(jié)漿料的供應(yīng)量,能夠抑制漿料溢出。
[0025]另外,在本實用新型中,固體成分“以高濃度含有切削屑”并且離心分離液“以低濃度含有切削屑”是指,固體成分以比離心分離液高的濃度含有切削屑,并且離心分離液以比固體成分低的濃度含有切削屑。
[0026]而且,在本實用新型中,膜過濾液“不含切削屑”,不僅包括膜過濾液完全不含切削屑的情況,還包括膜過濾液含有如下程度的量的切削屑的情況,即在將漿料再生為冷卻液時,膜過濾液中即使含有也無妨的程度的量。
[0027]在本實用新型中,較為理想的是,所述再生處理部包括:至少一個離心分離部,對漿料進行離心分離,將漿料分離為以高濃度含有切削屑的固體成分和以低濃度含有切削屑且送回所述貯存罐而被循環(huán)利用的離心分離液;以及至少一個膜分離部,對漿料進行膜分離,將漿料分離為濃縮含有切削屑且送回所述貯存罐而被循環(huán)利用的濃縮液和不含切削屑的膜過濾液,其中,至少一個離心分離部與至少一個膜分離部并行地對漿料進行再生處理。
[0028]根據(jù)該結(jié)構(gòu),離心分離工序與膜分離工序并行地進行,因此,貯存罐內(nèi)的漿料量的變化復(fù)雜,且其變化幅度也變大。但是,即使在該情況下,通過從儲備罐向貯存罐供應(yīng)漿料,能夠抑制貯存罐內(nèi)的漿料枯竭的情況。并且,通過調(diào)節(jié)漿料的供應(yīng)量,能夠抑制漿料溢出。
[0029]在本實用新型中,較為理想的是,所述漿料再生裝置還包括:液面檢測裝置,用于檢測貯存于所述貯存罐中的漿料的液面。
[0030]根據(jù)該結(jié)構(gòu),由于具備用于檢測貯存罐內(nèi)的漿料的液面的液面檢測裝置,因此,根據(jù)由所述液面檢測裝置檢測到的漿料的液面,能夠掌握貯存罐內(nèi)的漿料量。因此,在漿料的再生過程中,能夠抑制貯存罐內(nèi)的漿料枯竭,或漿料從貯存罐溢出的現(xiàn)象。
[0031]在本實用新型中,較為理想的是,所述液面檢測裝置包括能夠檢測指定的下限液面的傳感器,所述漿料再生裝置還包括:導(dǎo)管,連接所述儲備罐與所述貯存罐;泵,能夠?qū)⑺鰞涔迌?nèi)的漿料經(jīng)由所述導(dǎo)管而輸送到所述貯存罐;以及供應(yīng)調(diào)整控制部,在所述傳感器檢測到所述下限液面時,驅(qū)動所述泵,使得漿料從所述儲備罐經(jīng)由所述導(dǎo)管被供應(yīng)到所述貯存罐。
[0032]根據(jù)該結(jié)構(gòu),在傳感器檢測到指定的下限液面時,通過泵的驅(qū)動,無須經(jīng)由人工便能自動地從儲備罐經(jīng)由導(dǎo)管向貯存罐穩(wěn)定地供應(yīng)漿料。因此,能夠可靠地防止貯存罐內(nèi)的漿料發(fā)生枯竭的問題。[0033]另外,在本實用新型中,所謂“下限液面”,例如包括當貯存罐內(nèi)的漿料量變得少于該下限液面時,無法足以進行漿料再生的程度的液面等。更詳細而言,包含如下的液面,即當貯存罐內(nèi)的漿料量變得少于該下限液面時,向離心分離裝置及膜分離裝置的漿料供應(yīng)量不足或中斷,其結(jié)果,在離心分離裝置中,例如淤泥的排出性下降或者發(fā)生異常振動的程度的液面,或者在膜分離裝置中,例如淤泥在過濾膜的殼體的內(nèi)部沉降并堆積,從而使導(dǎo)管或過濾膜堵塞的程度的液面等。
[0034]在本實用新型中,較為理想的是,所述漿料再生裝置還包括:加熱器,用于對貯存于所述貯存罐中的漿料進行加熱。
[0035]根據(jù)該結(jié)構(gòu),通過對貯存罐內(nèi)的漿料進行加熱,漿料的粘度下降而漿料的流動性提高。因此,漿料的再生作業(yè)得以促進。
[0036]在本實用新型中,較為理想的是,所述漿料再生裝置還包括:攪拌部,用于對貯存于所述貯存罐中的漿料進行攪拌。
[0037]根據(jù)該結(jié)構(gòu),通過對貯存罐內(nèi)的漿料進行攪拌,從而混入漿料中的切削屑等不會沉降而會分散。因此,漿料得以均勻地再生。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0038]圖1是本實用新型的實施方式所涉及的漿料再生裝置的整體結(jié)構(gòu)圖。
【具體實施方式】
[0039][結(jié)構(gòu)]
[0040]圖1是本實用新型的第一實施方式所涉及的漿料再生裝置10的整體結(jié)構(gòu)圖。該漿料再生裝置(以下簡稱作“再生裝置”)10是將廢棄冷卻液亦即漿料S再生為能夠再利用的冷卻液的裝置,所述廢棄冷卻液包含在硅錠I的切斷現(xiàn)場50用線鋸51將硅錠I切薄時產(chǎn)生的切削屑、磨粒等。另外,在本實施方式中,硅錠I的切斷方式為固定磨粒方式。即,硬質(zhì)金剛石制的磨粒被固定于線鋸51。因此,與游離磨粒方式相比,漿料S中幾乎不含磨粒,因此,多數(shù)情況下不需要從漿料S回收磨粒的前工序。
[0041]冷卻液是在二乙二醇或聚乙二醇中,根據(jù)需要混合有水、pH調(diào)整劑、粘度調(diào)整劑、分散劑、凝聚劑等而成的物質(zhì)。冷卻液在硅錠I的切斷作業(yè)中,被供應(yīng)到用線鋸51切斷硅錠I的部位,由此,切斷部位得到冷卻,從切斷部位排出切削屑。硅錠I的切斷時所使用的廢棄冷卻液、即漿料S中,混入有在硅錠I的切斷時產(chǎn)生的切削屑等。
[0042]再生裝置10具備貯存罐11及再生處理部100。貯存罐11貯存從硅錠I的切斷現(xiàn)場50回收的、作為再生處理的對象物的漿料S。再生處理部100從貯存罐11導(dǎo)出漿料S并進行再生處理。再生裝置10通過在再生處理部100中從漿料S去除切削屑或磨粒等,從而將漿料S再生為能夠再利用的冷卻液。
[0043]另外,在圖1中,對貯存于貯存罐11之后的漿料標注符號S,對貯存于貯存罐11之前的漿料標注符號So,以區(qū)分兩者。
[0044]再生處理部100具備進行離心分離工序的離心分離裝置(離心分離部)20和進行膜分離工序的膜分離裝置(膜分離部)30。離心分離裝置20及膜分離裝置30分別為一個。在離心分離裝置20與貯存罐11之間設(shè)置有漿料導(dǎo)出用導(dǎo)管20a和離心分離液循環(huán)用導(dǎo)管20b。在膜分離裝置30與貯存罐11之間設(shè)置有漿料導(dǎo)出用導(dǎo)管30a和濃縮液循環(huán)用導(dǎo)管30b。另外,雖未圖示,但在各導(dǎo)管20a、20b、30a、30b中設(shè)置有能夠輸送流體的泵。
[0045]在本實施方式中,所謂離心分離工序是對經(jīng)由漿料導(dǎo)出用導(dǎo)管20a從貯存罐11導(dǎo)出并導(dǎo)入離心分離裝置20的漿料S進行離心分離的工序。在該工序,漿料S被分離為以比離心分離液S2高的濃度含有切削屑等的固體成分(淤泥)S1、和以比固體成分SI低的濃度含有切削屑等的離心分離液S2。固體成分SI從離心分離裝置20被取出。離心分離液S2從離心分離裝置20經(jīng)由離心分離液循環(huán)用導(dǎo)管20b而向貯存罐11循環(huán)。
[0046]在本實施方式中,所謂膜分離工序是對經(jīng)由漿料導(dǎo)出用導(dǎo)管30a從貯存罐11導(dǎo)出并導(dǎo)入膜分離裝置30的漿料S進行膜分離的工序。在該工序,漿料S被分離為濃縮含有切削屑等的濃縮液S3和幾乎不含切削屑等的膜過濾液S4。濃縮液S3從膜分離裝置30經(jīng)由濃縮液循環(huán)用導(dǎo)管30b而向貯存罐11循環(huán)。膜過濾液S4經(jīng)由膜過濾液回收用導(dǎo)管30c被回收。
[0047]離心分離裝置20是使從貯存罐11導(dǎo)出的漿料S繞垂直軸旋轉(zhuǎn)而離心分離的縱型的離心分離裝置。該離心分離裝置20具備在下端側(cè)具有錐部的筒形狀的旋轉(zhuǎn)體21。旋轉(zhuǎn)體21通過未圖示的馬達驅(qū)動而繞垂直軸旋轉(zhuǎn)。
[0048]在該離心分離裝置20中,漿料S被導(dǎo)入旋轉(zhuǎn)體21的內(nèi)部。漿料S中所含的切削屑等基于離心力而被按壓于旋轉(zhuǎn)體21的內(nèi)表面而被分離。對于分離后的切削屑等,每隔固定時間停止衆(zhòng)料S的導(dǎo)入,一邊使旋轉(zhuǎn)體21低速旋轉(zhuǎn),一邊將未圖示的刮板(scraper)推碰到旋轉(zhuǎn)體21的內(nèi)表面,從而分離后的切削屑等作為固體成分SI而從離心分離裝置20取出。另一方面,切削屑等被分離后的漿料S的成分(再生處理后的漿料S的一部分)作為離心分離液S2,從離心分離裝置20經(jīng)由離心分離液循環(huán)用導(dǎo)管20b而返回到貯存罐11。
[0049]膜分離裝置30使用過濾膜31,將從貯存罐11導(dǎo)出的漿料S膜分離成濃縮液S3和膜過濾液S4。該膜分離裝置30采用將親水性聚偏二氟乙烯制的中空纖維膜捆束而成的膜來作為過濾膜31。
[0050]在該膜分離裝置30中,濃縮液S3是未通過過濾膜31的漿料S的成分(再生處理后的漿料S的一部分),濃縮含有切削屑等。濃縮液S3從膜分離裝置30經(jīng)由濃縮液循環(huán)用導(dǎo)管30b返回到貯存罐11。另一方面,膜過濾液S4是通過過濾膜31后的漿料S的成分,幾乎不含切削屑等。膜過濾液S4從膜分離裝置30經(jīng)由膜過濾液回收用導(dǎo)管30c而導(dǎo)出,并被回收。
[0051]在貯存罐11具備用于檢測貯存于貯存罐11中的漿料S的液面的傳感器(液面檢測裝置)12L、用于攪拌貯存于貯存罐11中的漿料S的攪拌裝置(攪拌部)13、以及用于加熱貯存于貯存罐11中的漿料S的加熱器14。
[0052]傳感器12L例如是在從貯存罐11將漿料S導(dǎo)出至離心分離裝置20及膜分離裝置30的結(jié)果,貯存罐11內(nèi)的漿料S的量(貯存量)減少而漿料S的液面下降時,檢測下降的漿料S的液面的液面檢測傳感器。傳感器12L被設(shè)置在能夠檢測指定的下限液面的位置。此處,在本實施方式中,“下限液面”是指當貯存罐11內(nèi)的漿料S的量變得少于該下限液面時,無法足以進行漿料S的再生的液面。以下,根據(jù)狀況,有時將所述傳感器12L稱作“下限液面?zhèn)鞲衅?2L”。另外,圖1例示該下限液面?zhèn)鞲衅?2L檢測到所述下限液面的狀態(tài)。
[0053]攪拌裝置13包含設(shè)置于貯存罐11內(nèi)的攪拌葉片13a、以及具備連接有該攪拌葉片13a的旋轉(zhuǎn)軸13b的馬達13c,通過馬達13c使攪拌葉片13a旋轉(zhuǎn),從而攪拌貯存罐11內(nèi)的漿料S。通過攪拌貯存罐11內(nèi)的漿料S,混入漿料S中的切削屑等不會沉降而會分散。因此,通過離心分離裝置20及膜分離裝置30均勻地進行貯存于貯存罐11中的漿料S的再生。
[0054]加熱器14通過加熱貯存罐11內(nèi)的漿料S,從而降低漿料S的粘度,提高漿料S的流動性。漿料S的流動性提高,從而離心分離裝置20及膜分離裝置30進行的對貯存于貯存罐11中的漿料S的再生作業(yè)得以促進。
[0055]除了以上的結(jié)構(gòu)以外,本實施方式的再生裝置10還具備向貯存罐11供應(yīng)漿料So的供應(yīng)調(diào)整部40A。該供應(yīng)調(diào)整部40A具備儲備罐41、導(dǎo)管42、泵43及控制盤44。
[0056]儲備罐41用于儲備供應(yīng)至貯存罐11的漿料So。儲備罐41被供應(yīng)從硅錠I的切斷現(xiàn)場50回收的漿料So。在硅錠I的切斷現(xiàn)場50與儲備罐41之間設(shè)置有用于從切斷現(xiàn)場50向儲備罐41供應(yīng)漿料So的儲備用導(dǎo)管52。儲備罐41的容量被設(shè)定成在硅錠I的一次切斷作業(yè)中所使用的冷卻液的量的2?5倍的容量。這是比貯存罐11的容量大的容量。
[0057]在儲備罐41具備未圖示的攪拌機構(gòu)。作為攪拌機構(gòu)的攪拌方式,例如可采用借助攪拌葉片來攪拌的方式、通過泵來使液體循環(huán)以進行攪拌的方式等。另外,在儲備罐41中也可設(shè)置液面?zhèn)鞲衅鳌?br>
[0058]另外,也可取代儲備用導(dǎo)管52而使用圖1中標注符號X所示的容器,將在切斷現(xiàn)場50生成的漿料So自動或由作業(yè)者經(jīng)由人工運輸?shù)絻涔?1 (參照符號Y)。
[0059]導(dǎo)管42連接儲備罐41與貯存罐11。從儲備罐41經(jīng)由該導(dǎo)管42而向貯存罐11供應(yīng)漿料So。
[0060]泵43設(shè)置在導(dǎo)管42中,能夠?qū)涔?1內(nèi)的漿料So經(jīng)由導(dǎo)管42輸送到貯存罐11。
[0061]控制盤44進行以該再生裝置10的開/關(guān)為代表的各種動作和各種設(shè)定的種種控制??刂票P44內(nèi)置有供應(yīng)調(diào)整控制部44a。如眾所周知,供應(yīng)調(diào)整控制部44a是包含CPU、ROM,RAM等的微處理器。供應(yīng)調(diào)整控制部44a與下限液面?zhèn)鞲衅?2L以能夠進行通信的方式被連接,供應(yīng)調(diào)整控制部44a與泵43電連接。在下限液面?zhèn)鞲衅?2L檢測到下降的漿料S的液面時,從傳感器12L向供應(yīng)調(diào)整控制部44a發(fā)送檢測信號A。供應(yīng)調(diào)整控制部44a在收到該檢測信號A時,向泵43輸出驅(qū)動信號B以驅(qū)動泵43。由此,儲備罐41內(nèi)的漿料So經(jīng)由導(dǎo)管42被供應(yīng)到貯存罐11。供應(yīng)調(diào)整控制部44a驅(qū)動泵43,以從儲備罐41向貯存罐11供應(yīng)預(yù)先規(guī)定的固定量的漿料So。供應(yīng)調(diào)整控制部44a進行大致如上的控制。
[0062][動作]
[0063]接下來,說明本實施方式所涉及的再生裝置10的動作。
[0064]包含在硅錠I的切斷現(xiàn)場50用線鋸51切薄硅錠I時產(chǎn)生的切削屑及磨粒等的漿料So被回收,并從切斷現(xiàn)場50經(jīng)由儲備用導(dǎo)管52而被供應(yīng)到儲備罐41。
[0065]在貯存罐11中貯存有超過下限液面?zhèn)鞲衅?2L能檢測的下限液面的量的漿料S。SP,在貯存罐11中,傳感器12L處于被漿料S沒過而未檢測到漿料S的液面的狀態(tài)。
[0066]在此狀態(tài)下,從貯存罐11向離心分離裝置20及膜分離裝置30分別分配供應(yīng)漿料S0
[0067]在離心分離裝置20中,使離心分離液S2向貯存罐11循環(huán),與貯存罐11內(nèi)的漿料S進行混合,并進行離心分離工序。在膜分離裝置30中,使?jié)饪s液S3向貯存罐11循環(huán),與貯存罐11內(nèi)的漿料S進行混合,并進行膜分離工序。即,離心分離裝置20中的離心分離工序與膜分離裝置30中的膜分離工序同時并行地進行。
[0068]離心分離液S2通過在離心分離裝置20中進行的離心分離工序而去除了切削屑等,因此,通過將其與貯存罐11內(nèi)的漿料S進行混合,從而貯存罐11內(nèi)的漿料S的固體成分濃度下降。另一方面,濃縮液S3通過在膜分離裝置30中進行的膜分離工序而濃縮含有切削屑等,因此,通過將其與貯存罐11內(nèi)的漿料S進行混合,從而貯存罐11內(nèi)的漿料S的固體成分濃度上升。
[0069]通過同時并行地以指定次數(shù)或指定時間來反復(fù)進行離心分離液S2的循環(huán)(具體地說,貯存罐11內(nèi)的漿料S向離心分離裝置20的導(dǎo)出、以及去除了切削屑等的離心分離液S2向貯存罐11的導(dǎo)入)和濃縮液S3的循環(huán)(具體地說,貯存罐11內(nèi)的漿料S向膜分離裝置30的導(dǎo)出、以及濃縮含有切削屑等的濃縮液S3向貯存罐11的導(dǎo)入),由此使貯存罐11內(nèi)的漿料S的固體成分濃度逐漸變化,在兩者對固體成分濃度變化的影響平衡的時刻穩(wěn)定。
[0070]并且,通過使離心分離工序的離心分離液S2的循環(huán)及膜分離工序的濃縮液S3的循環(huán)反復(fù)進行指定次數(shù)或指定時間,并回收膜過濾液S4,從而將貯存罐11內(nèi)的漿料S再生為能夠再利用的冷卻液。此時,適當?shù)匮a充新的冷卻液,進行成分調(diào)整。
[0071]而且,通過同時并行地以指定次數(shù)或指定時間來反復(fù)進行離心分離液S2的循環(huán)(具體地說,貯存罐11內(nèi)的漿料S向離心分離裝置20的導(dǎo)出、以及離心分離液S2向貯存罐11的導(dǎo)入)和濃縮液S3的循環(huán)(具體地說,貯存罐11內(nèi)的漿料S向膜分離裝置30的導(dǎo)出、以及濃縮液S3向貯存罐11的導(dǎo)入),由此使貯存罐11內(nèi)的漿料S的量(貯存量)發(fā)生各種變化,并逐漸減少。
[0072]然后,當漿料S的貯存量減少到下限液面,下限液面?zhèn)鞲衅?2L檢測到下降的漿料S的液面時,從傳感器12L向供應(yīng)調(diào)整控制部44a發(fā)送檢測信號A。供應(yīng)調(diào)整控制部44a接收該檢測信號A,向泵43輸出驅(qū)動信號B。由此,儲備罐41內(nèi)的指定的固定量的漿料So被供應(yīng)到貯存罐11。其結(jié)果,貯存罐11內(nèi)的漿料S的量恢復(fù)到傳感器12L能夠檢測的下限液面加上所述固定量的量。
[0073]進行此種漿料S的液面管理或貯存量管理,并反復(fù)進行漿料S從貯存罐11向離心分離裝置20及膜分離裝置30的分配供應(yīng)、與離心分離液S2的循環(huán)及濃縮液S3的循環(huán),當漿料S的貯存量再次減少到下限液面而下限液面?zhèn)鞲衅?2L檢測到漿料S的液面時,使?jié){料S的貯存量恢復(fù)所述固定量。
[0074]這樣,在本實施方式所涉及的再生裝置10中,漿料S的貯存量始終處于固定的幅度內(nèi),即,始終處于下限液面與對下限液面加上所述固定量時的液面之間,能夠抑制貯存罐11內(nèi)的漿料S的性狀(例如固體成分濃度等)發(fā)生大幅變化,并且始終穩(wěn)定地連續(xù)進行漿料S的再生。
[0075][作用]
[0076]如上所述,根據(jù)本實用新型的實施方式,由于具備用于儲備向貯存進行再生處理的漿料S的貯存罐11供應(yīng)的漿料So的儲備罐41,因此,能夠?qū)墓桢VI的切斷現(xiàn)場50回收的漿料So暫時儲備在儲備罐41中。因此,例如,當大量回收了漿料So時,通過將其儲備在儲備罐41中,能夠避免貯存罐11溢出。因此,能夠不中斷漿料So的回收作業(yè)甚至硅錠的切斷作業(yè)而持續(xù)進行。相反,在漿料So的回收量較少或為零時,通過從儲備罐41向貯存罐11供應(yīng)漿料So,能夠持續(xù)進行漿料S的再生處理。因此,能夠避免無法進行漿料S的再生處理的空閑時間的產(chǎn)生。如上所述,通過具備儲備罐41,無論漿料So的回收量如何,均能夠始終穩(wěn)定地連續(xù)再生漿料S,能夠?qū)崿F(xiàn)漿料So的回收進而再生產(chǎn)性的提高。
[0077]而且,在該實施方式中,能夠在儲備罐41中儲備大于貯存罐11的容量的量的漿料So,因此,當漿料So的回收量較少或為零時,能夠長時間持續(xù)進行漿料S的再生處理,進一步避免空閑時間的產(chǎn)生。
[0078]而且,在該實施方式中,能夠在儲備罐41中儲備硅錠I的2?5次切斷作業(yè)的漿料So,因此,能夠不中斷硅錠I的切斷作業(yè)而持續(xù)進行的可能性進一步提高。
[0079]而且,在該實施方式中,通過泵43的驅(qū)動,從儲備罐41經(jīng)由導(dǎo)管42向貯存罐11穩(wěn)定地供應(yīng)漿料So。
[0080]而且,在該實施方式中,經(jīng)由儲備用導(dǎo)管52,將在硅錠I的切斷現(xiàn)場50生成的漿料So穩(wěn)定地供應(yīng)至儲備罐41。并且,也無需作業(yè)者將在硅錠I的切斷現(xiàn)場50生成的漿料So搬運至儲備罐41。
[0081]而且,在該實施方式中,從貯存罐11向再生處理部100導(dǎo)出漿料S,因此,貯存罐11內(nèi)的漿料S的量減少。但是,即使在該情況下,通過從儲備罐41向貯存罐11供應(yīng)漿料So,能夠抑制貯存罐11內(nèi)的漿料S枯竭的情況。并且,通過調(diào)節(jié)漿料So的供應(yīng)量,能夠抑制漿料S溢出。
[0082]而且,在該實施方式中,從再生處理部100向貯存罐11導(dǎo)入一部分漿料S,因此,貯存罐11內(nèi)的漿料S的量時時刻刻發(fā)生各種變化并減少。但是,即使在該情況下,通過從儲備罐41向貯存罐11供應(yīng)漿料So,能夠抑制貯存罐11內(nèi)的漿料S枯竭的情況。并且,通過調(diào)節(jié)漿料So的供應(yīng)量,能夠抑制漿料S溢出。
[0083]而且,在該實施方式中,從貯存罐11向離心分離裝置20及膜分離裝置30導(dǎo)出漿料S,因此,貯存罐11內(nèi)的漿料S的量減少。而且,從離心分離裝置20及膜分離裝置30向貯存罐11導(dǎo)入離心分離液S2及濃縮液S3,因此,貯存罐11內(nèi)的漿料S的量時時刻刻發(fā)生各種變化并減少。但是,即使在該情況下,通過從儲備罐41向貯存罐11供應(yīng)漿料So,能夠抑制貯存罐11內(nèi)的漿料S枯竭的情況。并且,通過調(diào)節(jié)漿料So的供應(yīng)量,能夠抑制漿料S溢出。
[0084]而且,在該實施方式中,離心分離工序與膜分離工序并行地進行,因此,貯存罐11內(nèi)的漿料S的量的變化復(fù)雜,且其變化幅度也變大。但是,即使在該情況下,通過從儲備罐41向貯存罐11供應(yīng)漿料So,能夠抑制貯存罐11內(nèi)的漿料S枯竭的情況。并且,通過調(diào)節(jié)漿料So的供應(yīng)量,能夠抑制漿料S溢出。
[0085]而且,在該實施方式中,由于具備用于檢測貯存罐11內(nèi)的漿料S的液面的傳感器12L,因此,根據(jù)由所述傳感器12L檢測到的漿料S的液面,能夠掌握貯存罐11內(nèi)的漿料S的量。因此,在漿料S的再生過程中,能夠抑制貯存罐11內(nèi)的漿料S枯竭,或漿料S從貯存罐11溢出。
[0086]而且,在該實施方式中,在傳感器12L檢測到指定的下限液面時,通過泵43的驅(qū)動,無須經(jīng)由人工便能自動地從儲備罐41經(jīng)由導(dǎo)管42向貯存罐11穩(wěn)定地供應(yīng)漿料So。因此,能夠可靠地防止貯存罐11內(nèi)的漿料S枯竭的問題。[0087]而且,在該實施方式中,通過對貯存罐11內(nèi)的漿料S進行加熱,從而漿料S的粘度下降而漿料S的流動性提高。因此,漿料S的再生作業(yè)得以促進。
[0088]而且,在該實施方式中,通過對貯存罐11內(nèi)的漿料S進行攪拌,從而混入漿料S中的切削屑等不會沉降而會分散。因此,漿料S得以均勻地再生。
[0089][其他實施方式]
[0090]硅錠I的切斷方式也可為使磨粒含在冷卻液中的游離磨粒方式。此時,在漿料S中,與切削屑一并含有磨粒,因此,較為理想的是進行從漿料S回收磨粒的前工序。
[0091]再生處理部100也可僅具備離心分離裝置20,還可僅具備膜分離裝置30。
[0092]離心分離裝置20及膜分離裝置30也可具備兩個以上。
[0093]也可以采用兩個以上的離心分離裝置20與兩個以上的膜分離裝置30并行地對漿料S進行再生處理的結(jié)構(gòu)。
[0094]離心分離裝置20的離心分離工序及膜分離裝置30的膜分離工序也可不同時并行地進行。例如,也可不使離心分離工序與膜分離工序在時間上重疊,而是依次進行。
[0095]離心分離工序的離心分離液S2的循環(huán)及膜分離工序的濃縮液S3的循環(huán)也可不反復(fù)進行。例如,也可將離心分離液S2的循環(huán)及濃縮液S3的循環(huán)僅設(shè)為一次。
[0096]另外,也可取代離心分離裝置20而使用例如壓濾機(filter press)來作為從漿料S去除固體成分(淤泥)S1的裝置。
【權(quán)利要求】
1.一種漿料再生裝置,將廢棄冷卻液亦即漿料再生為能夠再利用的冷卻液,其中,所述廢棄冷卻液包含用線鋸切斷硅錠時產(chǎn)生的切削屑和磨粒,所述漿料再生裝置的特征在于包括: 貯存罐,貯存進行再生處理的漿料;以及 儲備罐,用于儲備向所述貯存罐供應(yīng)的漿料。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的漿料再生裝置,其特征在于: 所述儲備罐的容量被設(shè)定為比所述貯存罐的容量大的值。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的漿料再生裝置,其特征在于: 所述儲備罐的容量被設(shè)定為在硅錠的一次切斷作業(yè)中所使用的冷卻液的量的2~5倍。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的漿料再生裝置,其特征在于還包括: 導(dǎo)管,連接所述儲備罐與所述貯存罐; 泵,能夠?qū)⑺鰞涔迌?nèi)的漿料經(jīng)由所述導(dǎo)管而輸送到所述貯存罐;以及 供應(yīng)調(diào)整控制部,驅(qū)動所述泵,使得漿料從所述儲備罐經(jīng)由所述導(dǎo)管被供應(yīng)到所述貯存罐。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的漿料再生裝置,其特征在于還包括: 儲備用導(dǎo)管,用于從硅 錠的切斷現(xiàn)場向所述儲備罐供應(yīng)漿料。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的漿料再生裝置,其特征在于還包括: 再生處理部,從所述貯存罐導(dǎo)出漿料并進行再生處理。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的漿料再生裝置,其特征在于: 所述再生處理部將再生處理后的一部分漿料送回所述貯存罐。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的漿料再生裝置,其特征在于: 所述再生處理部是離心分離部和膜分離部中的至少一個,其中, 所述離心分離部對漿料進行離心分離,將漿料分離為以高濃度含有切削屑的固體成分和以低濃度含有切削屑且送回所述貯存罐而被循環(huán)利用的離心分離液, 所述膜分離部對漿料進行膜分離,將漿料分離為濃縮含有切削屑且送回所述貯存罐而被循環(huán)利用的濃縮液和不含切削屑的膜過濾液。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的漿料再生裝置,其特征在于,所述再生處理部包括: 至少一個離心分離部,對漿料進行離心分離,將漿料分離為以高濃度含有切削屑的固體成分和以低濃度含有切削屑且送回所述貯存罐而被循環(huán)利用的離心分離液;以及 至少一個膜分離部,對漿料進行膜分離,將漿料分離為濃縮含有切削屑且送回所述貯存罐而被循環(huán)利用的濃縮液和不含切削屑的膜過濾液,其中, 至少一個離心分離部與至少一個膜分離部并行地對漿料進行再生處理。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的漿料再生裝置,其特征在于還包括: 液面檢測裝置,用于檢測貯存于所述貯存罐中的漿料的液面。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的漿料再生裝置,其特征在于: 所述液面檢測裝置包括能夠檢測指定的下限液面的傳感器, 所述漿料再生裝置還包括: 導(dǎo)管,連接所述儲備罐與所述貯存罐;泵,能夠?qū)⑺鰞涔迌?nèi)的漿料經(jīng)由所述導(dǎo)管而輸送到所述貯存罐;以及供應(yīng)調(diào)整控制部,在所述傳感器檢測到所述下限液面時,驅(qū)動所述泵,使得漿料從所述儲備罐經(jīng)由所述導(dǎo)管被供應(yīng)到所述貯存罐。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的漿料再生裝置,其特征在于還包括: 加熱器,用于對貯存于所述貯存罐中的漿料進行加熱。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的漿料再生裝置,其特征在于還包括: 攪拌部,用 于對貯存于所述貯存罐中的漿料進行攪拌。
【文檔編號】B28D5/04GK203471978SQ201320437347
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年7月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月22日
【發(fā)明者】井上一真, 延藤芳樹, 荻田大, 玉井雅之, 本岡榮二 申請人:可樂麗股份有限公司