專利名稱:改進(jìn)的石英爐臺遮熱板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及遮熱板裝置,具體為一種改進(jìn)的石英爐臺遮熱板。
背景技術(shù):
單晶硅棒是生產(chǎn)單晶硅片的原材料,隨著國內(nèi)和國際市場對單晶硅片需求量的快速增加,單晶硅棒的市場需求也呈快速增長趨勢,制作單晶硅棒所使用的石英坩堝的需求量也快速增加?,F(xiàn)在制作石英坩堝采用電弧法,期間要使用石英爐臺遮熱板,但是現(xiàn)有的石英爐臺遮熱板,由四塊方形板組成,中間形成一個(gè)方形的孔,不易安裝,而且因?yàn)殡娀〔环€(wěn)定,在放電的時(shí)候容易對遮熱板產(chǎn)生水銹點(diǎn)而造成產(chǎn)品報(bào)廢,降低了產(chǎn)品的合格率。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題在于提供一種改進(jìn)的石英爐臺遮熱板,以解決上述背景技術(shù)中的缺點(diǎn)。本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)改進(jìn)的石英爐臺遮熱板,包括板體,所述板體上設(shè)有遮熱板孔,所述遮熱板孔為錐度孔,所述板體的側(cè)面開有觀察孔,所述板體的厚度為100mm。本實(shí)用新型中,所述錐度孔的上口徑為300mm,下口徑為500mm。有益效果本實(shí)用新型易于安裝,而且解決了電弧不穩(wěn)定造成的產(chǎn)品報(bào)廢問題,提高了產(chǎn)品的合格率。
圖1為改進(jìn)的石英爐臺遮熱板的俯視圖。圖2為圖1的B-B方向截面圖。
具體實(shí)施方式
為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解,下面結(jié)合具體圖示,進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。參見圖1和圖2,改進(jìn)的石英爐臺遮熱板的俯視圖和圖1的B-B方向截面圖,現(xiàn)有的遮熱板孔徑為300mm,厚度為500mm,生產(chǎn)過程中,電弧的不穩(wěn)定性直接對遮熱板放電造成產(chǎn)品產(chǎn)生水銹點(diǎn),造成產(chǎn)品報(bào)廢,如果單純得把孔 徑改大又會影響保溫作用。改進(jìn)的石英爐臺遮熱板,包括板體3,所述板體上設(shè)有遮熱板孔1,所述遮熱板孔I為錐度孔,所述板體3的側(cè)面開有觀察孔2。所述錐度孔的上口徑為300mm,下口徑為500mm,所述板體3的厚度為100mm,解決了電弧不穩(wěn)定造成的產(chǎn)品報(bào)廢問題,在原產(chǎn)品合格率基礎(chǔ)上提高了 2%。以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征及本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn),本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解,本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制,上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理,在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下,本實(shí)用新型還會有各種變化和改進(jìn),這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi),本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán) 利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求1.改進(jìn)的石英爐臺遮熱板,包括板體,所述板體上設(shè)有遮熱板孔,其特征在于,所述遮熱板孔為錐度孔,所述板體的側(cè)面開有觀察孔,所述板體的厚度為100mm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)的石英爐臺遮熱板,其特征在于,所述錐度孔的上口徑為 300mm,下口徑為 500mm。
專利摘要改進(jìn)的石英爐臺遮熱板,包括板體,所述板體上設(shè)有遮熱板孔,所述遮熱板孔為錐度孔,所述板體的側(cè)面開有觀察孔,所述板體的厚度為100mm,所述錐度孔的上口徑為300mm,下口徑為500mm。本實(shí)用新型易于安裝,而且解決了電弧不穩(wěn)定造成的產(chǎn)品報(bào)廢問題,提高了產(chǎn)品的合格率。
文檔編號C03B20/00GK202898219SQ20122041533
公開日2013年4月24日 申請日期2012年8月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月21日
發(fā)明者羅松波, 張啟達(dá), 鄧寅 申請人:江西中昱新材料科技有限公司