專利名稱：玻璃基板蝕刻槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及玻璃基板減薄蝕刻技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及玻璃基板蝕刻槽。
背景技術(shù)：
IXD(液晶顯示器)是超薄的平面顯示設(shè)備，它由一定數(shù)量的彩色或黑白像素組成，放置于光源或者反射面前方。液晶顯示器功耗很低，適用于使用電池的電子設(shè)備。它的主要原理是以電流刺激液晶分子產(chǎn)生點(diǎn)、線、面配合背部燈管構(gòu)成畫(huà)面。為了 “追求更佳的人類肉眼舒適性”，需要對(duì)制造液晶顯示器的玻璃基板進(jìn)行化學(xué)蝕刻減薄?；瘜W(xué)蝕刻減薄通常會(huì)用到相應(yīng)的蝕刻槽，在對(duì)玻璃基板的蝕刻減薄完成之后，需要對(duì)蝕刻槽進(jìn)行清洗，以清除蝕刻槽內(nèi)殘留的蝕刻液和玻璃粉。傳統(tǒng)方案中，蝕刻槽底部為平面結(jié)構(gòu)，且排液口位于側(cè)面，導(dǎo)致蝕刻槽內(nèi)經(jīng)常留有·殘留的玻璃粉，難以排盡，蝕刻槽清洗難度較高，清洗的效率較低；傳統(tǒng)的蝕刻槽無(wú)自動(dòng)清洗裝置，需要人工操作水槍對(duì)蝕刻槽進(jìn)行沖洗，操作不便、清洗效率低且增加了人力成本。
實(shí)用新型內(nèi)容基于此，有必要針對(duì)蝕刻槽清洗難度較高的問(wèn)題，提供一種清洗較便捷的玻璃基板蝕刻槽。一種玻璃基板蝕刻槽，包括槽體，所述槽體包括側(cè)壁，以及與所述側(cè)壁連接的底壁，所述底壁開(kāi)設(shè)有排液口 ；沖洗裝置，所述沖洗裝置設(shè)置在所述槽體上，包括進(jìn)液清洗構(gòu)件，用于對(duì)所述底壁進(jìn)行清洗；出液清洗構(gòu)件，用于對(duì)所述側(cè)壁進(jìn)行清洗。在其中的一個(gè)實(shí)施例中，所述進(jìn)液清洗構(gòu)件包括進(jìn)液管，所述進(jìn)液管平行設(shè)置在所述底壁內(nèi)側(cè)；所述進(jìn)液管上開(kāi)設(shè)有進(jìn)液孔；控制件，設(shè)置在所述進(jìn)液管上，用于控制所述進(jìn)液管內(nèi)清洗液的傳輸。在其中的一個(gè)實(shí)施例中，所述進(jìn)液孔的軸向方向與所述底壁形成的夾角小于或等于45度。在其中的一個(gè)實(shí)施例中，所述進(jìn)液孔的孔徑為0. 5 2毫米，在其中的一個(gè)實(shí)施例中，相鄰的所述進(jìn)液孔之間的間距小于或等于80毫米。在其中的一個(gè)實(shí)施例中，所述出液清洗構(gòu)件包括集液管，與所述排液口連接，設(shè)置在所述底壁外側(cè)；抽液泵，與所述集液管連接，用于抽取所述槽體內(nèi)的清洗液；過(guò)濾器，與所述抽液泵連接，用于過(guò)濾所述清洗液中的雜質(zhì)；出液管，與所述過(guò)濾器連接，用于把過(guò)濾后的清洗液清洗所述側(cè)壁。在其中的一個(gè)實(shí)施例中，所述出液管上開(kāi)設(shè)有出液孔，所述出液孔的開(kāi)孔方向與所述側(cè)壁相對(duì)設(shè)置。在其中的一個(gè)實(shí)施例中，所述底壁為倒椎體狀。在其中的一個(gè)實(shí)施例中，所述排液口設(shè)置在所述底壁中心。在其中的一個(gè)實(shí)施例中，所述側(cè)壁頂端處開(kāi)設(shè)有溢流口。[0015]在玻璃基板蝕刻槽的槽體上設(shè)置沖洗裝置，具體地，是通過(guò)進(jìn)液清洗構(gòu)件對(duì)所述槽體的底壁進(jìn)行清洗，以及出液清洗構(gòu)件對(duì)所述槽體的側(cè)壁進(jìn)行清洗，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)的對(duì)槽體進(jìn)行清洗，達(dá)到清洗較便捷的目的。
圖I為玻璃基板蝕刻槽示意圖；圖2為一實(shí)施方式的進(jìn)液清洗構(gòu)件示意圖；圖3為另一實(shí)施方式的進(jìn)液清洗構(gòu)件示 意圖；圖4為一實(shí)施方式的出液清洗構(gòu)件示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)玻璃基板蝕刻槽進(jìn)行闡明。請(qǐng)參閱圖I，為玻璃基板蝕刻槽示意圖，玻璃基板蝕刻槽，包括槽體10，槽體10為長(zhǎng)方體，槽體10的頂部敞開(kāi)，槽體10的底部開(kāi)設(shè)有排液口 130。具體地，槽體10包括側(cè)壁110，以及與側(cè)壁110連接的底壁120。側(cè)壁110依次連接，圍攏形成長(zhǎng)方體。槽體10的頂部敞開(kāi)，用于把玻璃基板(例如TFT-LCD玻璃基板)放置進(jìn)槽體10進(jìn)行減薄工序。槽體10的底部由底壁120圍攏形成，并在底壁120處開(kāi)設(shè)了排液口 130，把減薄工藝中所用的蝕刻液排出。在其它實(shí)施例中，槽體10的底壁120為倒錐體狀，排液口 130設(shè)置在底壁120中心，即倒椎體狀的頂端位置。沖洗裝置，沖洗裝置設(shè)置在槽體10上，包括進(jìn)液清洗構(gòu)件20，用于對(duì)槽體10的底壁120進(jìn)行清洗。出液清洗構(gòu)件30，用于對(duì)槽體10的側(cè)壁110進(jìn)行清洗。結(jié)合附圖2 3，進(jìn)液清洗構(gòu)件20包括進(jìn)液管210，進(jìn)液管210平行設(shè)置在槽體10的底壁120內(nèi)側(cè)；進(jìn)液管210上開(kāi)設(shè)有進(jìn)液孔211。在一實(shí)施例中，進(jìn)液管210均為對(duì)稱式設(shè)計(jì)，進(jìn)液管210固定于槽體10的底壁120內(nèi)側(cè)，進(jìn)液管210的每個(gè)分支的間距小于等于8厘米，優(yōu)選的是8厘米。在進(jìn)液管210上均勻開(kāi)設(shè)有進(jìn)液孔211，進(jìn)液孔211開(kāi)口方向斜朝向槽體10的底壁120。具體地，進(jìn)液孔211軸向方向與槽體10的底壁120形成的夾角小于或等于45度，優(yōu)選角度為45度，這樣可以防止玻璃基板蝕刻過(guò)程中所產(chǎn)生的玻璃粉堵塞進(jìn)液孔211。在其它實(shí)施例中，進(jìn)液孔211的孔徑為0. 5 2毫米，優(yōu)選地為I. 2毫米；進(jìn)液孔211之間的間距是小于等于80毫米，優(yōu)選地為60毫米，以保證對(duì)槽體10的底壁120沖洗的均勻和充分?？刂萍?20，設(shè)置在進(jìn)液管210上，優(yōu)選地是設(shè)置在進(jìn)液管210的進(jìn)液端處，用于控制進(jìn)液管210內(nèi)清洗液的傳輸和關(guān)閉，進(jìn)而控制進(jìn)液管210內(nèi)清洗液的流量大小，達(dá)到控制清洗液對(duì)底壁120的沖洗強(qiáng)度的目的。在其它實(shí)施例中，進(jìn)液清洗構(gòu)件20的可以是兩端進(jìn)液結(jié)構(gòu)的布局，或者是四端進(jìn)液結(jié)構(gòu)的布局。結(jié)合附圖4，出液清洗構(gòu)件30包括集液管310，與排液口 130連接，設(shè)置在槽體10的底壁130外側(cè)。具體地，當(dāng)玻璃基板進(jìn)行減薄完畢，蝕刻槽內(nèi)的蝕刻液(清洗液)就通過(guò)排液口 130排出。[0032]抽液泵320，與集液管310連接，用于抽取槽體10內(nèi)的清洗液。具體地,通過(guò)抽液泵320對(duì)清洗液的抽取，能夠把抽出的清洗液拉升至更高的位置。過(guò)濾器330，與抽液泵320連接，用于過(guò)濾清洗液中的雜質(zhì)。因?yàn)樗槿〉那逑匆?即蝕刻過(guò)程的蝕刻液)有在蝕刻過(guò)程所殘留的玻璃粉末等雜質(zhì)，需要過(guò)濾該雜質(zhì)才可以用于清洗槽體10的側(cè)壁110。出液管340，與過(guò)濾器330連接，用于把過(guò)濾后的清洗液清洗槽體10的側(cè)壁110。從出液管340流出的是經(jīng)過(guò)過(guò)濾的蝕刻液(即清洗液)，與原來(lái)槽體10內(nèi)裝載的液體是一致，用該液體對(duì)側(cè)壁110進(jìn)行清洗，不會(huì)對(duì)槽體10造成二次污染，也方便日后再次執(zhí)行對(duì)玻璃基板蝕刻的工序。抽液泵320通過(guò)集液管310把槽體10內(nèi)的清洗液抽出，清洗液通過(guò)過(guò)濾器330的過(guò)濾，經(jīng)過(guò)出液管340噴射出，對(duì)側(cè)壁110進(jìn)行清洗。清洗后的清洗液可以再次通過(guò)集液管 310的收集、過(guò)濾器330的過(guò)濾，出液管340的噴射，循環(huán)用于清洗側(cè)壁110。在一實(shí)施例中，出液管340上開(kāi)設(shè)有出液孔341，出液孔341的開(kāi)孔方向與槽體10的側(cè)壁110相對(duì)設(shè)置。通過(guò)開(kāi)設(shè)出液孔341，增加出液的液體壓力以及清洗的面積，有利于全面的沖洗槽體10的側(cè)壁110。在一實(shí)施例中，槽體10的側(cè)壁110頂端處開(kāi)設(shè)有溢流口 140。在側(cè)壁110靠近頂端處所開(kāi)設(shè)的溢流口 140可以是長(zhǎng)條形，也可以是一排單個(gè)的孔洞，防止槽體10內(nèi)的清洗液過(guò)多而溢流，減少浪費(fèi)。以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種玻璃基板蝕刻槽，其特征在于，包括 槽體，所述槽體包括側(cè)壁，以及與所述側(cè)壁連接的底壁，所述底壁開(kāi)設(shè)有排液口 ； 沖洗裝置，所述沖洗裝置設(shè)置在所述槽體上，包括 進(jìn)液清洗構(gòu)件，用于對(duì)所述底壁進(jìn)行清洗； 出液清洗構(gòu)件，用于對(duì)所述側(cè)壁進(jìn)行清洗。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于，所述進(jìn)液清洗構(gòu)件包括 進(jìn)液管，所述進(jìn)液管平行設(shè)置在所述底壁內(nèi)側(cè)；所述進(jìn)液管上開(kāi)設(shè)有進(jìn)液孔； 控制件，設(shè)置在所述進(jìn)液管上，用于控制所述進(jìn)液管內(nèi)清洗液的傳輸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于，所述進(jìn)液孔的軸向方向與所述底壁形成的夾角小于或等于45度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于，所述進(jìn)液孔的孔徑為0.5 2毫米，
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于，相鄰的所述進(jìn)液孔之間的間距小于或等于80毫米。
6.根據(jù)權(quán)利要求I 5任意一項(xiàng)所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于，所述出液清洗構(gòu)件包括 集液管，與所述排液口連接，設(shè)置在所述底壁外側(cè)； 抽液泵，與所述集液管連接，用于抽取所述槽體內(nèi)的清洗液； 過(guò)濾器，與所述抽液泵連接，用于過(guò)濾所述清洗液中的雜質(zhì)； 出液管，與所述過(guò)濾器連接，用于把過(guò)濾后的清洗液清洗所述側(cè)壁。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于，所述出液管上開(kāi)設(shè)有出液孔，所述出液孔的開(kāi)孔方向與所述側(cè)壁相對(duì)設(shè)置。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于，所述底壁為倒椎體狀。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于，所述排液口設(shè)置在所述底壁中心。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于，所述側(cè)壁頂端處開(kāi)設(shè)有溢流□。
專利摘要一種玻璃基板蝕刻槽，包括槽體，所述槽體包括側(cè)壁，以及與所述側(cè)壁連接的底壁，所述底壁開(kāi)設(shè)有排液口；沖洗裝置，所述沖洗裝置設(shè)置在所述槽體上，包括進(jìn)液清洗構(gòu)件，用于對(duì)所述底壁進(jìn)行清洗；出液清洗構(gòu)件，用于對(duì)所述側(cè)壁進(jìn)行清洗。在玻璃基板蝕刻槽的槽體上設(shè)置沖洗裝置，具體地，是通過(guò)進(jìn)液清洗構(gòu)件對(duì)所述槽體的底壁進(jìn)行清洗，以及出液清洗構(gòu)件對(duì)所述槽體的側(cè)壁進(jìn)行清洗，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)的對(duì)槽體進(jìn)行清洗，達(dá)到清洗較便捷的目的。
文檔編號(hào)C03C15/00GK202576241SQ20122013995
公開(kāi)日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2012年4月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月5日
發(fā)明者楊會(huì)良, 孫一綺 申請(qǐng)人:江西沃格光電科技有限公司