專利名稱：玻璃基板減薄蝕刻槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及玻璃基板減薄蝕刻技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及玻璃基板減薄蝕刻槽。
背景技術(shù)：
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，電子通信產(chǎn)品也得到飛速的發(fā)展。電子產(chǎn)品的功能越來越強大，內(nèi)容越來越豐富，外觀越來越精美?？萍紩r尚化，人們對電子產(chǎn)品擁有時尚外觀，尤其是對電子產(chǎn)品的厚度要求更加薄。例如，帶有液晶顯示屏的電子產(chǎn)品手機、掌上電腦、筆記本電腦等，液晶顯示屏幕都是大而重要的元器件，若要整體的降低厚度，方法之一就是把液晶顯示屏幕的厚度進一步的減薄。液晶顯示屏幕的減薄需要經(jīng)過多個程序，其中蝕刻是最為重要的程序之一。蝕刻槽是執(zhí)行該蝕刻過程的重要組件，在蝕刻的過程中，為了保持最佳的蝕刻反應(yīng)速率，保證蝕刻液的溫度是十分重要，而傳統(tǒng)的玻璃基板減薄蝕刻槽沒有設(shè)計溫控的功能。
實用新型內(nèi)容基于此，有必要針對傳統(tǒng)的玻璃基板減薄蝕刻槽沒有對蝕刻液進行調(diào)溫的問題，提供一種設(shè)置有溫控功能的玻璃基板減薄蝕刻槽。一種玻璃基板減薄蝕刻槽，包括槽體；溫控裝置，包括溫度傳感器，用于獲得所述槽體內(nèi)蝕刻液的溫度值；調(diào)溫組件，用于對所述槽體內(nèi)的蝕刻液進行升溫或制冷；以及控制器，分別與所述溫度傳感器和所述調(diào)溫組件連接，根據(jù)所述溫度值控制所述調(diào)溫組件對所述槽體內(nèi)的蝕刻液進行升溫或制冷。在其中一實施例中，所述溫度傳感器包括第一溫度傳感單元，所述第一溫度傳感單元獲取所述槽體內(nèi)蝕刻液的第一溫度值；所述調(diào)溫組件包括冷卻管，所述冷卻管用于對所述槽體內(nèi)的蝕刻液進行制冷；以及所述控制器包括冷卻控制器，分別與所述第一溫度傳感單元和所述冷卻管連接，根據(jù)所述第一溫度值控制所述冷卻管對所述槽體內(nèi)的蝕刻液進行制冷。在其中一實施例中，所述溫度傳感器還包括第二溫度傳感單元，所述第二溫度傳感單元獲取所述槽體內(nèi)蝕刻液的第二溫度值；所述調(diào)溫組件還包括加熱管，所述加熱管用于對所述槽體內(nèi)的蝕刻液進行升溫；以及所述控制器還包括加熱控制器，分別與所述第二溫度傳感單元和所述加熱管連接，根據(jù)所述第二溫度值控制所述加熱管對所述槽體內(nèi)的蝕刻液進行升溫。在其中一實施例中，還包括設(shè)置在所述槽體底部的鼓泡裝置，所述鼓泡裝置包括鼓泡管，設(shè)置在所述槽體底部內(nèi)側(cè)，所述鼓泡管開設(shè)有鼓泡孔；氣體控制件，與所述鼓泡管連接，控制所述鼓泡管內(nèi)氣體的傳輸。在其中一實施例中，所述鼓泡裝置還包括與所述鼓泡管連接的清洗液控制件，控制所述鼓泡管內(nèi)清洗液的傳輸。在其中一實施例中，所述鼓泡孔的軸向方向與所述槽體的底壁形成的夾角小于等于45°，所述鼓泡孔的孔徑為0.5 2毫米。 在其中一實施例中，所述槽體底部開設(shè)有排液口，所述玻璃基板減薄蝕刻槽還包括循環(huán)過濾裝置，所述循環(huán)過濾裝置包括循環(huán)進液管，設(shè)置在所述槽體底部外側(cè)，且與所述排液口連接；循環(huán)進液泵，與所述循環(huán)進液管連接，用于抽取所述槽體內(nèi)的蝕刻液；過濾器，與所述循環(huán)進液泵連接，用于過濾所述蝕刻液中的雜質(zhì)；循環(huán)出液管，與所述過濾器連接，用于排出所述過濾后的蝕刻液。在其中一實施例中，所述循環(huán)出液管開設(shè)有出液孔，所述出液孔與所述槽體的側(cè)壁相對設(shè)置。在其中一實施例中，所述槽體底部為倒錐體狀，所述排液口設(shè)置在所述槽體底部的中心。在其中一實施例中，所述槽體的側(cè)壁開設(shè)有溢流口，所述溢流口靠近所述槽體的頂端設(shè)置?！ねㄟ^溫度傳感器獲取槽體內(nèi)蝕刻液的溫度值，控制器根據(jù)溫度值控制調(diào)溫組件對槽體內(nèi)蝕刻液的溫度進行升溫或制冷，達到溫度控制的目的。
圖I為玻璃基板減薄蝕刻槽示意圖；圖2為溫控裝置的邏輯示意圖；圖3為一實施方式溫控裝置的示意圖；圖4為另一實施方式溫控裝置的示意圖；圖5為一實施方式鼓泡裝置的示意圖；圖6為另一實施方式鼓泡裝置的示意圖；圖7為一實施方式循環(huán)過濾裝置的示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對玻璃基板減薄蝕刻槽進行闡明。參閱附圖I，為玻璃基板減薄蝕刻槽示意圖，玻璃基板減薄蝕刻槽，包括槽體10，槽體10的側(cè)壁110為長方體，槽體10的頂部敞開，槽體10的底壁120開設(shè)有排液口 130。具體地，槽體10的側(cè)壁110依次連接，圍攏形成長方體。槽體10的頂部敞開，用于把玻璃基板(例如TFT-LCD玻璃基板)放置進槽體10內(nèi)進行減薄工序。槽體10的底壁120開設(shè)了排液口 130，把減薄工藝中所用的蝕刻液排出。在其它實施例中，槽體10的底壁120為倒錐體狀，排液口 130設(shè)置在底壁120中心，即倒椎體狀的頂端位置。在排出蝕刻液的時候，蝕刻液在倒椎體狀的底壁120內(nèi)形成渦旋狀水流，能夠快速有效的排出蝕刻液，而且還可以將槽體10底壁120上的雜質(zhì)沖洗干凈。圖2為溫控裝置的邏輯示意圖。溫控裝置20用于對裝載在槽體10內(nèi)的蝕刻液進行溫度控制，使蝕刻液維持在最佳的化學(xué)反應(yīng)溫度環(huán)境中。溫控裝置20包括溫度傳感器210，用于獲得槽體10內(nèi)蝕刻液的溫度值。當玻璃基板在槽體10中進行化學(xué)反應(yīng)，隨著時間的推移，該化學(xué)反應(yīng)會逐步放熱或吸熱，溫度傳感器210時刻監(jiān)測蝕刻液的溫度變化。[0028]調(diào)溫組件230，用于對槽體10內(nèi)的蝕刻液進行升溫或制冷。當蝕刻液的溫度過高或過低時，需要對蝕刻液進行加溫或制冷，保證玻璃基板的蝕刻工序在最佳的化學(xué)反應(yīng)環(huán)境中。控制器220，分別與溫度傳感器210和調(diào)溫組件230連接，根據(jù)溫度值控制調(diào)溫組件230對槽體10內(nèi)的蝕刻液進行升溫或制冷?？刂破?20根據(jù)預(yù)先設(shè)定的溫度值，通過溫度傳感器210獲得的蝕刻液溫度值與預(yù)設(shè)的溫度值進行比較，若低，則控制調(diào)溫組件230進行升溫；若高，則控制調(diào)溫組件230進行降溫。始終維持蝕刻液在預(yù)設(shè)的溫度值范圍內(nèi)，保證最佳的蝕刻工藝的化學(xué)反應(yīng)環(huán)境。通過溫度傳感器210獲取槽體10內(nèi)蝕刻液的溫度值，控制器220根據(jù)溫度值控制調(diào)溫組件230對槽體10內(nèi)蝕刻液進行升溫或制冷，達到溫度控制的目的。參閱附圖3 4，在一實施例中，溫度傳感器210包括第一溫度傳感單元211，第 一溫度傳感單元211獲取槽體10內(nèi)蝕刻液的第一溫度值。具體地，第一溫度傳感單元211設(shè)置在槽體10的內(nèi)部，獲取蝕刻液的溫度值。調(diào)溫組件230包括冷卻管231，冷卻管用于對槽體10內(nèi)的蝕刻液進行制冷。冷卻管231設(shè)置在側(cè)壁110上，優(yōu)選地，冷卻管231平行側(cè)壁110且對稱排列設(shè)置，冷卻水分別從冷卻管231的端部進入槽體10內(nèi)，對槽體10內(nèi)的蝕刻液進行冷卻。在其它實施例中，冷卻水為DI純水。冷卻管231上均勻開設(shè)有多個冷卻水流入孔，能夠在槽體10的不同位置處流入冷卻水，對蝕刻液進行冷卻降溫，提高冷卻效率?？刂破?20包括冷卻控制器221，分別與第一溫度傳感單元211和冷卻管231連接，根據(jù)第一溫度值控制冷卻管231對槽體10內(nèi)的蝕刻液進行制冷。具體地，可以在冷卻控制器221設(shè)置對應(yīng)的冷卻閾值，當獲得的第一溫度值大于該冷卻閾值，則控制冷卻管231放入冷卻水進行冷卻。反之，則不冷卻，維持蝕刻液現(xiàn)有的溫度值。在一實施例中，溫度傳感器210還包括第二溫度傳感單元212，第二溫度傳感單元212獲取槽體10內(nèi)蝕刻液的第二溫度值。第二溫度傳感單元212設(shè)置在槽體10的內(nèi)部，獲取蝕刻液的溫度值。調(diào)溫組件230還包括加熱管232，加熱管232用于對槽體10內(nèi)的蝕刻液進行升溫。加熱管232設(shè)置在槽體10的底部四周，對槽體10的蝕刻液從下至上的進行加熱?？刂破?20還包括加熱控制器222，分別與第二溫度傳感單元212和加熱管232連接，根據(jù)第二溫度值控制加熱管232對槽體10內(nèi)的蝕刻液進行升溫。具體地，可以在加熱控制器222設(shè)置對應(yīng)的加熱閾值，當獲得的第二溫度值小于該加熱閾值，則控制加熱管232對蝕刻液進行加熱。反之，則不加熱，維持蝕刻液現(xiàn)有的溫度值。參閱附圖5 6，在一實施例中，玻璃基板減薄蝕刻槽，還包括設(shè)置在槽體10底部的鼓泡裝置30，鼓泡裝置30包括鼓泡管310，設(shè)置在槽體30底部內(nèi)側(cè)，鼓泡管310開設(shè)有鼓泡孔311。具體地，鼓泡管310設(shè)置在槽體10底部，鼓泡管310的每個分支均勻排布，且間距小于等于10厘米。在其它實施例中，鼓泡裝置30的進氣方式為兩端或四端的對稱式設(shè)計結(jié)構(gòu)。鼓泡管310開設(shè)有鼓泡孔311，鼓泡孔311開口方向斜朝向槽體10的底壁120。具體地，鼓泡孔311軸向方向與槽體10的底壁120形成的夾角小于或等于45度，優(yōu)選角度為45度，這樣可以防止玻璃基板蝕刻過程中所產(chǎn)生的玻璃粉堵塞鼓泡孔311。在其它實施例中，鼓泡孔311的孔徑為0. 5 2毫米，優(yōu)選地為I. 2毫米；相鄰兩鼓泡孔311之間的間距是小于等于80毫米，優(yōu)選地為60毫米。壓縮的空氣通過鼓泡孔311能夠均勻的吐出，使得槽體10內(nèi)的蝕刻液更加均勻，且不會被其它雜質(zhì)堵塞住鼓泡孔311。氣體控制件320，與鼓泡管310連接，控制鼓泡管310內(nèi)氣體的傳輸。在蝕刻過程中，根據(jù)蝕刻需要，通過氣體控制件320調(diào)整鼓泡管310內(nèi)氣體的氣壓流量，使得蝕刻液均勻。在其它實施例中，鼓泡裝置30還包括與鼓泡管310連接的清洗液控制件330，控制鼓泡管310內(nèi)清洗液的傳輸。具體地，當蝕刻結(jié)束后，需要對槽10進行清洗。此時，鼓泡裝置30可作為清洗槽體10的清洗裝置。通過清洗液控制件控制清洗液進入鼓泡管310，在一定的壓力下，清洗液通過鼓泡孔311射向槽體10的底壁120，達到清洗的目的。在一實施例中，結(jié)合附圖7，玻璃基板減薄蝕刻槽還包括循環(huán)過濾裝置40，包括循環(huán)進液管410，設(shè)置在槽體10底部外側(cè)，且與排液口 130連接。循環(huán)進液泵420，與循環(huán)進液管410連接，用于抽取槽體10內(nèi)的蝕刻液。具體地，通過循環(huán)進液泵420的拉升力，蝕刻液通過循環(huán)進液管410流出槽體10。過濾器430，與循環(huán)進液泵420連接，用于過濾蝕刻液中的雜質(zhì)。過濾器430把蝕刻液中的雜質(zhì)去除，可重新用于玻璃基板的蝕刻，提高蝕刻液的利用率。循環(huán)出液管440，與過濾器430連接，用于排出過濾后的蝕刻液。過濾后的蝕刻液通過循環(huán)出液管440回流到槽體10內(nèi)，繼續(xù)蝕刻的工藝過程。循環(huán)進液泵420通過循環(huán)進液管410把槽體10內(nèi)的蝕刻液抽取，并經(jīng)過過濾器430過濾蝕刻液中的雜質(zhì)，回流到槽體10內(nèi)，如此循環(huán)，提高了蝕刻液的利用率。同時，當蝕刻結(jié)束后，循環(huán)過濾裝置40可用于清洗槽體10。因為蝕刻結(jié)束后的蝕刻液與槽體10內(nèi)的蝕刻液是一致的，用該液體對槽體10進行清洗，不會對槽體10造成二次污染，即提高了蝕刻液的利用率，有達到了清洗槽體10的目的。在一實施例中，槽體10的側(cè)壁110開設(shè)有溢流口 140，溢流口 140靠近槽體10的頂端設(shè)置。當蝕刻液過多，將要溢出槽體10的時候，可以通過溢流口 140把蝕刻液引導(dǎo)至外部，保證玻璃基板的蝕刻過程。以上所述實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制。應(yīng)當指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本實用新型的保護范圍。因此，本實用新型專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準。
權(quán)利要求1.一種玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于，包括 槽體； 溫控裝置，包括 溫度傳感器，用于獲得所述槽體內(nèi)蝕刻液的溫度值； 調(diào)溫組件，用于對所述槽體內(nèi)的蝕刻液進行升溫或制冷；以及控制器，分別與所述溫度傳感器和所述調(diào)溫組件連接，根據(jù)所述溫度值控制所述調(diào)溫組件對所述槽體內(nèi)的蝕刻液進行升溫或制冷。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于， 所述溫度傳感器包括第一溫度傳感單元，所述第一溫度傳感單元獲取所述槽體內(nèi)蝕刻液的第一溫度值； 所述調(diào)溫組件包括冷卻管，所述冷卻管用于對所述槽體內(nèi)的蝕刻液進行制冷；以及所述控制器包括冷卻控制器，分別與所述第一溫度傳感單元和所述冷卻管連接，根據(jù)所述第一溫度值控制所述冷卻管對所述槽體內(nèi)的蝕刻液進行制冷。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于， 所述溫度傳感器還包括第二溫度傳感單元，所述第二溫度傳感單元獲取所述槽體內(nèi)蝕刻液的第二溫度值； 所述調(diào)溫組件還包括加熱管，所述加熱管用于對所述槽體內(nèi)的蝕刻液進行升溫；以及 所述控制器還包括加熱控制器，分別與所述第二溫度傳感單元和所述加熱管連接，根據(jù)所述第二溫度值控制所述加熱管對所述槽體內(nèi)的蝕刻液進行升溫。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于，還包括設(shè)置在所述槽體底部的鼓泡裝置，所述鼓泡裝置包括 鼓泡管，設(shè)置在所述槽體底部內(nèi)側(cè)，所述鼓泡管開設(shè)有鼓泡孔； 氣體控制件，與所述鼓泡管連接，控制所述鼓泡管內(nèi)氣體的傳輸。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于，所述鼓泡裝置還包括 與所述鼓泡管連接的清洗液控制件，控制所述鼓泡管內(nèi)清洗液的傳輸。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玻璃基板減薄蝕刻槽,其特征在于,所述鼓泡孔的軸向方向與所述槽體的底壁形成的夾角小于等于45°，所述鼓泡孔的孔徑為0. 5 2毫米。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于，所述槽體底部開設(shè)有排液口，所述玻璃基板減薄蝕刻槽還包括循環(huán)過濾裝置，所述循環(huán)過濾裝置包括 循環(huán)進液管，設(shè)置在所述槽體底部外側(cè)，且與所述排液口連接； 循環(huán)進液泵，與所述循環(huán)進液管連接，用于抽取所述槽體內(nèi)的蝕刻液； 過濾器，與所述循環(huán)進液泵連接，用于過濾所述蝕刻液中的雜質(zhì)； 循環(huán)出液管，與所述過濾器連接，用于排出所述過濾后的蝕刻液。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于，所述循環(huán)出液管開設(shè)有出液孔，所述出液孔與所述槽體的側(cè)壁相對設(shè)置。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于，所述槽體底部為倒錐體狀，所述排液口設(shè)置在所述槽體底部的中心。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于，所述槽體的側(cè)壁開設(shè)有溢流口 ，所述溢流口靠近所述槽體的頂端設(shè)置。
專利摘要一種玻璃基板減薄蝕刻槽，包括槽體；溫控裝置，包括溫度傳感器，用于獲得所述槽體內(nèi)蝕刻液的溫度值；調(diào)溫組件，用于對所述槽體內(nèi)的蝕刻液進行升溫或制冷；以及控制器，分別與所述溫度傳感器和所述調(diào)溫組件連接，根據(jù)所述溫度值控制所述調(diào)溫組件對所述槽體內(nèi)的蝕刻液進行升溫或制冷。通過溫度傳感器獲取槽體內(nèi)蝕刻液的溫度值，控制器根據(jù)溫度值控制調(diào)溫組件對槽體內(nèi)蝕刻液的溫度進行升溫或制冷，達到溫度控制的目的。
文檔編號C03C15/00GK202576240SQ20122013993
公開日2012年12月5日 申請日期2012年4月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月5日
發(fā)明者楊會良, 孫一綺 申請人:江西沃格光電科技有限公司