專利名稱:工件定位粘合裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種硅片加工線切割工件準(zhǔn)備用輔助裝置,尤其涉及一種工件定位粘
口衣且O
背景技術(shù):
太陽(yáng)能、半導(dǎo)體級(jí)硅片加工過程中,特別是太陽(yáng)能硅片加工,多數(shù)是采用多線切割設(shè)備進(jìn)行切片。為了達(dá)到較高的切割效率和效益,力求使多線切割機(jī)以合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、較高的運(yùn)動(dòng)及位置精度、有效的控制及監(jiān)控功能、較大的適應(yīng)性來(lái)實(shí)現(xiàn)。切割工件的準(zhǔn)備作為晶棒切片前的主要作業(yè)環(huán)節(jié)之一,主要包括工件連接件與切割墊塊的粘合、工件墊塊與工件的粘合、挾持導(dǎo)軌與工件連接件的固定等作業(yè)過程。工件對(duì)中的準(zhǔn)確性、粘接的牢固性、膠層的厚度及均勻性等對(duì)切割質(zhì)量存在直接的影響,另外,操作的便捷性在規(guī)?;庸み^程中的作用也不容被忽視的。因此,切割工件的準(zhǔn)備尤其是工件的定位粘合過程需要采用特定的輔助裝置加以完成。目前,多線切割設(shè)備的配套工件定位粘合裝置的結(jié)構(gòu)如圖1所示該工件定位粘合裝置包括工件連接件放置底座1、工件連接件定位螺桿2、切割墊塊定位螺桿3、定位靠板 4和工件固定加壓模塊5。使用時(shí),如圖2所示將工件連接件放在工件連接件放置底座1 上,工件連接件上放置切割墊塊,在切割墊塊上放置工件,最后用切割墊塊定位螺桿3、工件連接件定位螺桿2以及工件固定加壓模塊5來(lái)完成工件連接件與切割墊塊、切割墊塊與工件之間的定位,并且在工件連接件與切割墊塊、切割墊塊與工件之間采用樹脂作為粘合劑進(jìn)行粘合?,F(xiàn)有的工件定位粘合裝置雖然可將工件連接件與切割墊塊、切割墊塊與工件固定,但仍然存在以下幾點(diǎn)不足
1、位于最底層的工件連接件采用兩點(diǎn)式定位螺桿進(jìn)行定位,工件連接件定位的準(zhǔn)確性直接影響到工件的整體定位,由于螺桿具有旋轉(zhuǎn)可動(dòng)性,該定位方法易造成整體定位的不精確;
2、整個(gè)裝置的操作平臺(tái)與水平面之間的夾角較大,各粘合步驟中采用的樹脂粘合劑會(huì)向較低的一方流動(dòng),造成最終的膠層厚度均勻性不一致,切割墊塊與工件之間的膠層厚度不一致將會(huì)影響切割質(zhì)量;
3、所采用的工件固定加壓模塊需通過緊固頂部的螺帽予以施壓,以保證粘接的牢固, 由于人為旋轉(zhuǎn)緊固螺帽很難保持一致的松緊程度,因此,會(huì)導(dǎo)致最終的膠層厚度不可控及厚度均勻性不一致;
4、完成工件的粘合并固定加壓后,需對(duì)切割墊塊與工件粘合縫邊緣溢流出的粘合劑進(jìn)行清潔,由于該裝置采用靠板對(duì)工件定位,工件固定加壓后,只有通過后部的方孔進(jìn)行清潔,清潔方便;
5、采用該裝置一同完成工件連接件與切割墊塊、切割墊塊與工件之間的定位粘合,單次只能完成一錠工件的粘接作業(yè),操作的便捷性不足,工作效率不高。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種設(shè)計(jì)更加合理、操作更加便捷的工件定位粘合裝置, 以保證切割工件更精確的對(duì)中粘合、提高工作效率,從而能有效的解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題。本發(fā)明目的通過下述技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)一種工件定位粘合裝置,包括工件連接件與切割墊塊粘合裝置和工件墊塊與工件粘合裝置,所述工件連接件與切割墊塊粘合裝置包括第一放置底座、第一定位靠梯和切割墊塊定位片,所述第一定位靠梯與第一放置底座所在平面垂直相交為一體,所述切割墊塊定位片所在平面與第一放置底座平行;所述工件墊塊與工件粘合裝置包括第二放置底座、第二定位靠梯、可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿、拉力桿、不可動(dòng)工件固定圍桿和工件定位靠板;所述第二定位靠梯與第二放置底座所在平面垂直相交為一體,第二定位靠梯的兩側(cè)面及背面分別固定一與之相垂直的豎塊,所述可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿的兩端與兩側(cè)豎塊的上端旋接,拉力桿的一端與背面豎塊的上端旋接,另一端與可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿相扣,所述不可動(dòng)工件固定圍桿固定在兩側(cè)及背面豎塊的上端且與第二放置底座平行,工件定位靠板與不可動(dòng)工件固定圍桿螺紋連接。作為優(yōu)選方式,包括豎向螺桿,所述切割墊塊定位片、第一定位靠梯和第一放置底座由螺桿固連。作為進(jìn)一步優(yōu)選方式,工件連接件與切割墊塊粘合裝置中還包括第一定重壓塊。作為優(yōu)選方式,可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿上設(shè)有貫穿的工件固定螺桿。作為進(jìn)一步優(yōu)選方式,所述工件固定螺桿穿過可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿的端部設(shè)有尼龍帽。作為進(jìn)一步優(yōu)選方式,豎塊的上端具有控制可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿翻轉(zhuǎn)角度的平面
D ο作為進(jìn)一步優(yōu)選方式,工件連接件與切割墊塊粘合裝置中還包括第二定重壓塊。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果
1、將工件連接件與切割墊塊的粘合、工件墊塊與工件的粘合分為兩個(gè)裝置單獨(dú)來(lái)完成,采用一體式結(jié)構(gòu)對(duì)工件連接件進(jìn)行定位,保證了兩次粘接過程更換裝置定位的一致性, 同時(shí)因其采用不可調(diào)定位梯的面式定位的方式,定位精度更高;
2、采用可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿及工件固定螺桿對(duì)工件進(jìn)行固定,使該裝置的整個(gè)操作平臺(tái)與水平面之間保持平行,保證切割墊塊與工件之間的膠層厚度一致;
3、采用定重壓塊對(duì)粘合件進(jìn)行施壓,進(jìn)一步保證最終的膠層厚度可控及厚度均勻性一致,減少對(duì)切割質(zhì)量的影響;
4、采用整體式工件定位靠板對(duì)工件進(jìn)行定位,工件固定加壓后,切割墊塊與工件粘合縫四周無(wú)遮擋,方便對(duì)溢流出的粘合劑進(jìn)行清潔;
5、工件定位靠板及工件固定螺桿與工件接觸的地方均為尼龍材料,可防止裝置定位、 固定件對(duì)工件造成損傷;
6、采用兩個(gè)裝置單獨(dú)來(lái)完成工件連接件與切割墊塊的粘合、工件墊塊與工件的粘合, 兩粘合裝置均采用雙工位結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),使得兩錠工件能同時(shí)進(jìn)行粘合,保證同一臺(tái)多線切割設(shè)備切割兩錠工件的對(duì)中性一致性,操作更便捷,作業(yè)效率高。
圖1是現(xiàn)有技術(shù)中工件定位粘合裝置的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖2是現(xiàn)有技術(shù)中工件定位粘合裝置使用時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖3是本發(fā)明中工件連接件與切割墊塊粘合裝置的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖4是本發(fā)明中工件連接件與切割墊塊粘合裝置的使用示意圖; 圖5是本發(fā)明中工件連接件與切割墊塊粘合裝置結(jié)合定重壓塊的使用示意圖; 圖6是本發(fā)明中工件墊塊與工件粘合裝置的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖7是本發(fā)明中工件墊塊與工件粘合裝置展開的示意圖; 圖8是本發(fā)明中工件墊塊與工件粘合裝置的使用示意圖; 圖9是本發(fā)明中工件墊塊與工件粘合裝置使用時(shí)結(jié)合定重壓塊的示意圖; 圖10是本發(fā)明中圖6的側(cè)剖面結(jié)構(gòu)示意圖; 圖11是本發(fā)明中圖6的俯面結(jié)構(gòu)示意圖。其中工件連接件放置底座-1、工件連接件定位螺桿_2、切割墊塊定位螺桿-3、 定位靠板_4、工件固定加壓模塊-5 ;第一放置底座-11、第一定位靠梯-12、切割墊塊定位片-13、第一定重壓塊-14、螺桿-15 ;第二放置底座-21、第二定位靠梯-22、可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿-23、拉力桿-24、不可動(dòng)工件固定圍桿-25、工件定位靠板-26、工件固定螺桿-27、第二定重壓塊-28、豎塊-29、尼龍帽-30。
具體實(shí)施例方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明,并不用于限定本發(fā)明。本說明書中公開的所有特征,或公開的所有方法或過程中的步驟,除了相互排斥的特質(zhì)和/或步驟以外,均可以以任何方式組合,除非特別敘述,均可被其他等效或具有類似目的的替代特征加以替換,即,除非特別敘述,每個(gè)特征是一系列等效或類似特征中的一個(gè)實(shí)施例而已。圖3-圖11示出了本發(fā)明實(shí)施例提供的工件定位粘合裝置,為了便于說明,僅示出了與本發(fā)明實(shí)施例相關(guān)的部分。
實(shí)施例本發(fā)明工件定位粘合裝置包括工件連接件與切割墊塊粘合裝置和工件墊塊與工件粘合裝置,其中所述工件連接件與切割墊塊粘合裝置包括第一放置底座11、第一定位靠梯12、切割墊塊定位片13、第一定重壓塊14和豎向螺桿15,所述第一定位靠梯12與第一放置底座11所在平面垂直相交為一體,所述切割墊塊定位片13所在平面與第一放置底座 11平行,所述切割墊塊定位片13、第一定位靠梯12和第一放置底座11由螺桿15固連。所述工件墊塊與工件粘合裝置包括第二放置底座21、第二定位靠梯22、可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿 23、拉力桿24、不可動(dòng)工件固定圍桿25、工件定位靠板沈和第二定重壓塊28。所述第二定位靠梯22與第二放置底座21所在平面垂直相交為一體,第二定位靠梯22的兩側(cè)面及背面分別固定一與之相垂直的豎塊四,所述可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿23的兩端與兩側(cè)豎塊四的上端旋接,拉力桿M的一端與背面豎塊四的上端旋接,另一端與可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿23相扣。兩側(cè)豎塊四的上端具有控制可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿23翻轉(zhuǎn)角度的平面平臺(tái)??煞D(zhuǎn)工件固定圍桿23上設(shè)有貫穿的工件固定螺桿27,并且所述工件固定螺桿27穿過可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿23的端部設(shè)有尼龍帽30。所述不可動(dòng)工件固定圍桿25固定在兩側(cè)及背面豎塊四的上端且與第二放置底座21平行,工件定位靠板沈與不可動(dòng)工件固定圍桿25螺紋連接。在工件連接件與切割墊塊粘合裝置中,具體結(jié)構(gòu)及使用如圖3-圖5所示,第一放置底座11和第一定位靠梯12采用一體式鋼制體制成,兩工作面成90度垂直相交,第一放置底座U位于水平。在第一定位靠梯12的上平面等距并列固定兩顆鋼制螺桿15,總共設(shè)置八顆豎直放置的螺桿15,其豎立的方向既是與第一放置底座11工作平面相垂直的方向。 切割墊塊定位片13所在的平面與第一放置底座11的工作平面平行,設(shè)置四塊可矯正的切割墊塊定位片13,且分別通過兩根螺桿15固定。第一定重壓塊14為獨(dú)立體,起到加壓固定的作用。在工件墊塊與工件粘合裝置中,具體結(jié)構(gòu)及使用如圖6-圖11所示,第二放置底座21和第二定位靠梯22采用一體式鋼制體制成,兩工作面成90度垂直相交,第二定位靠梯22兩側(cè)面及背面分別固定一根鋼制豎塊四,豎塊四豎立方向與第二放置底座21工作平面垂直??煞D(zhuǎn)工件固定圍桿23通過兩顆帶帽的螺釘固定在兩側(cè)相對(duì)立的兩根豎塊四上,且與豎塊四的上端旋接,既是說,所述可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿23可沿固定處的螺釘進(jìn)行平面旋轉(zhuǎn)。豎塊四上端設(shè)置的水平平臺(tái)控制可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿23的翻轉(zhuǎn)角度。可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿23上間隔設(shè)置多個(gè)螺孔,工件固定螺桿27通過該螺孔擰入可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿23,且工件固定螺桿27穿過可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿23的端部會(huì)與工件接觸,因此,在此處設(shè)有進(jìn)行墊隔的尼龍帽30。拉力桿M的一端與背面豎塊四的上端旋接,另一端與可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿23相扣,形成可翻轉(zhuǎn)式拉力桿。鋼制的不可動(dòng)工件固定圍桿25固定在兩側(cè)及背面豎塊四的上端且與第二放置底座21平行,工件定位靠板沈與不可動(dòng)工件固定圍桿25螺紋連接。工件定位靠板沈采用整體式可更換尼龍材料制成。不可動(dòng)工件固定圍桿 25上設(shè)置多處螺孔,工件定位靠板沈利用螺釘配合螺孔與不可動(dòng)工件固定圍桿25螺紋連接。第二定重壓塊觀為獨(dú)立體,起到加壓固定的作用。該工件定位粘合裝置的使用方法如下
初次使用工件連接件與切割墊塊粘合裝置時(shí),需進(jìn)行校正、調(diào)整 工件連接件為標(biāo)準(zhǔn)件,其尺寸誤差可忽略不計(jì),將其緊靠第一定位靠梯12放置于第一放置底座11的一個(gè)工位上,采用量具找出工件連接件的中心線并作好標(biāo)記;切割墊塊為標(biāo)準(zhǔn)件,其尺寸誤差對(duì)切割質(zhì)量的影響極小,可忽略不計(jì),采用量具找出切割墊塊的中心線并作好標(biāo)記,將其放置于工件連接件上并使兩者的中心線重合,調(diào)整側(cè)面兩塊切割墊塊定位片13使其端部充分接觸切割墊塊的側(cè)面后鎖緊。采用相同方法對(duì)另外一個(gè)工位的兩塊切割墊塊定位片13進(jìn)行校正并鎖緊。工件連接件與切割墊塊的粘合分別清潔工件連接件及切割墊塊的粘合面;將工件連接件緊靠第一定位靠梯12放置于第一放置底座11上,混合粘合劑并均勻涂覆在工件連接件的粘合表面上;將切割墊塊粘合面與已涂覆好粘合劑的工件連接件的粘合面貼合,調(diào)整切割墊塊的位置使其側(cè)面充分接觸切割墊塊定位片13的定位端部,并采用第一定重壓塊14加壓固定,等待膠層固化。初次使用工件墊塊與工件粘合裝置時(shí),需進(jìn)行校正、調(diào)整
將工件連接件緊靠第二定位靠梯22放置于第二放置底座21上的一個(gè)工位上,采用量具找出工件連接件的中心線并作好標(biāo)記;需切割的工件為標(biāo)準(zhǔn)件,其尺寸誤差可忽略不計(jì), 采用量具找出工件中心線并作好標(biāo)記,將其放置于工件連接件上并使兩者的中心線重合, 選擇適當(dāng)厚度的工件定位靠板沈置于工件與不可動(dòng)工件固定圍桿25之間,使其兩側(cè)均充分接觸,將該工件定位靠板26通過螺釘固定在不可動(dòng)工件固定圍桿25上。工件墊塊與工件的粘合將拉力桿對(duì)、可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿23翻轉(zhuǎn),保證充分的操作空間;分別清潔各切割墊塊及工件的粘合面;將已清潔粘合面的兩塊工件連接件與切割墊塊粘合完成件緊靠第二定位靠梯22并排放置于第二定放置底座21上,利用第二定位靠梯22對(duì)下部的工件連接件定位即可完成工件連接件與切割墊塊粘合完成件的整體定位;混合粘合劑并均勻涂覆在兩切割墊塊的粘合表面上;將工件粘合面與已涂覆好粘合劑的切割墊塊粘合面貼合,調(diào)整工件的位置使其側(cè)面充分接觸工件定位靠板26的定位面;將可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿23沿與豎塊四的螺釘連接處翻轉(zhuǎn)致水平,使其與不可動(dòng)工件固定圍桿25形成圍繞工件四周的環(huán)繞體,環(huán)繞所形成的平面平行于第二放置底座21的工作面;旋轉(zhuǎn)拉力桿M使其端部與可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿23相扣;旋轉(zhuǎn)工件固定螺桿27使其端部充分接觸工件的側(cè)面將工件固定,工件固定螺桿27與工件接觸的端部設(shè)有尼龍帽30,起到墊隔的作用。采用第二定重壓塊觀加壓;此處根據(jù)實(shí)際使用的情況,可設(shè)置多個(gè)第二定重壓塊 28,例如三塊上下完全重疊的第二定重壓塊觀。清潔切割墊塊與工件粘合縫邊緣溢流出的粘合劑,等待膠層固化。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種工件定位粘合裝置,其特征在于包括工件連接件與切割墊塊粘合裝置和工件墊塊與工件粘合裝置,所述工件連接件與切割墊塊粘合裝置包括第一放置底座、第一定位靠梯和切割墊塊定位片,所述第一定位靠梯與第一放置底座所在平面垂直相交為一體, 所述切割墊塊定位片所在平面與第一放置底座平行;所述工件墊塊與工件粘合裝置包括第二放置底座、第二定位靠梯、可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿、拉力桿、不可動(dòng)工件固定圍桿和工件定位靠板;所述第二定位靠梯與第二放置底座所在平面垂直相交為一體,第二定位靠梯的兩側(cè)面及背面分別固定一與之相垂直的豎塊,所述可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿的兩端與兩側(cè)豎塊的上端旋接,拉力桿的一端與背面豎塊的上端旋接,另一端與可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿相扣,所述不可動(dòng)工件固定圍桿固定在兩側(cè)及背面豎塊的上端且與第二放置底座平行,工件定位靠板與不可動(dòng)工件固定圍桿螺紋連接。
2.如權(quán)利要求1所述的工件定位粘合裝置,其特征在于包括豎向螺桿,所述切割墊塊定位片、第一定位靠梯和第一放置底座由螺桿固連。
3.如權(quán)利要求1或2中任一權(quán)利要求所述的工件定位粘合裝置,其特征在于工件連接件與切割墊塊粘合裝置中還包括第一定重壓塊。
4.如權(quán)利要求1所述的工件定位粘合裝置,其特征在于可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿上設(shè)有貫穿的工件固定螺桿。
5.如權(quán)利要求4所述的工件定位粘合裝置,其特征在于所述工件固定螺桿穿過可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿的端部設(shè)有尼龍帽。
6.如權(quán)利要求1或5中任一權(quán)利要求所述的工件定位粘合裝置,其特征在于豎塊的上端具有控制可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿翻轉(zhuǎn)角度的平面平臺(tái)。
7.如權(quán)利要求6所述的工件定位粘合裝置,其特征在于工件連接件與切割墊塊粘合裝置中還包括第二定重壓塊。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種工件定位粘合裝置,包括工件連接件與切割墊塊粘合裝置和工件墊塊與工件粘合裝置,所述工件連接件與切割墊塊粘合裝置包括第一放置底座、第一定位靠梯和切割墊塊定位片,所述第一定位靠梯與第一放置底座所在平面垂直相交為一體,所述切割墊塊定位片所在平面與第一放置底座平行;所述工件墊塊與工件粘合裝置包括第二放置底座、第二定位靠梯、可翻轉(zhuǎn)工件固定圍桿、拉力桿、不可動(dòng)工件固定圍桿和工件定位靠板。采用兩個(gè)裝置單獨(dú)來(lái)完成工件連接件與切割墊塊的粘合、工件墊塊與工件的粘合,兩粘合裝置均采用雙工位結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),使得兩錠工件能同時(shí)進(jìn)行粘合,保證同一臺(tái)多線切割設(shè)備切割兩錠工件的對(duì)中性一致性,操作更便捷,作業(yè)效率高。
文檔編號(hào)B28D7/00GK102320083SQ20111029215
公開日2012年1月18日 申請(qǐng)日期2011年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月30日
發(fā)明者宋亞尼, 彭文, 楊蜀, 羅恩富, 陳琳 申請(qǐng)人:東方電氣集團(tuán)峨嵋半導(dǎo)體材料有限公司