專利名稱：平板玻璃基板減薄夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種平板玻璃基板減薄夾具，尤其涉及一種應(yīng)用于顯示裝置 面板制造工藝中，對(duì)平板玻璃基板進(jìn)行浸泡蝕刻減薄時(shí)所采用的減薄夾具。
背景技術(shù)：
隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，圖像顯示產(chǎn)品的發(fā)展也進(jìn)入了一個(gè)嶄新 的階段。人們對(duì)圖像顯示的追求更加時(shí)尚化，外形超薄化正成為顯示終端產(chǎn) 品發(fā)展的主流。顯示面板作為顯示終端的核心部件，顯示面板的薄型化是顯 示終端能否實(shí)現(xiàn)薄型化的關(guān)鍵。顯示面板可以有多種，以液晶顯示裝置的顯示面板為例，通常包括對(duì)盒 設(shè)置的彩膜基板和陣列基板，在兩基板之間設(shè)置液晶層等相關(guān)結(jié)構(gòu)。彩膜基 板和陣列基板一般都是以玻璃基板作為基礎(chǔ)來制造的，所以玻璃基板的厚度 是決定顯示面板整體厚度的一個(gè)關(guān)鍵因素。目前，玻璃基板廠家所能提供的玻璃基板厚度最薄只能達(dá)到0. 5tnm,這與終端顯示產(chǎn)品要求基板厚度達(dá)到 0. 3mm甚至更薄的要求有一定差距。所以在制造顯示面板的過程中，需要采 用平板玻璃減薄工藝來減小玻璃基板的厚度，即將已成盒后的雙面基板通 過物理或化學(xué)方法，將玻璃基板去除一層而實(shí)現(xiàn)減薄。其中的物理方法可以 是機(jī)械研磨，但是因?yàn)槲锢矸椒ǖ漠a(chǎn)能底、良品率低，所以化學(xué)刻蝕方式減 薄方法是目前常采用的技術(shù)手段。浸泡蝕刻作為化學(xué)蝕刻中的一種，在國(guó)內(nèi)的顯示裝置面板制造過程中尚 未見被采用。所謂浸泡刻蝕工藝，筒單而言就是將平板玻璃產(chǎn)品浸泡到藥劑 中進(jìn)行蝕刻，達(dá)到減薄玻璃基板的目的。在浸泡蝕刻過程中，對(duì)蝕刻效果起 關(guān)鍵作用的是夾持平板玻璃產(chǎn)品所使用的夾具。夾具的設(shè)計(jì)對(duì)于蝕刻后的厚材料的粘接力。然而，不是任何的等離子體都適用于處理彈性體膜，因此應(yīng) 當(dāng)仔細(xì)選擇該等離子體。如上所述，優(yōu)選氬等離子體。已知等離子體在彈性 體界面上形成薄而非常硬的硅酸鹽"玻璃態(tài)'，層。當(dāng)隨后施加了導(dǎo)電層時(shí)， 所得的是具有有限柔性的波紋狀的電極和由于剛性電極產(chǎn)生裂紋的危險(xiǎn)而 不能很大拉伸的復(fù)合物。我們選擇非反應(yīng)性的氬等離子體處理，因?yàn)闅鍨槎?性氣體。然而，在真空沉積室內(nèi)氧氣和其它反應(yīng)氣體的殘留且與氬等離子體 的結(jié)合可能對(duì)于小的反應(yīng)性負(fù)責(zé)。我們優(yōu)化了真空室中的氬的壓強(qiáng)和溫和輝 光放電的參數(shù)，以及處理的時(shí)間，使得被沉積的金屬涂層非常好地粘貼到彈 性體膜上。根據(jù)在前述段落中所述的設(shè)計(jì)原則，所得的波紋狀的電極非常柔 順且該復(fù)合物可以盡可能被拉伸而不損傷電極。粘接促進(jìn)劑在等離子體處理后被施加在膜上。該粘接促進(jìn)劑可包括一層 鉻或一層鈦。該粘接促進(jìn)劑可在物理氣相沉積工藝中被施加到膜上。在一可選的工藝中， 一液態(tài)聚合物成分直接提供到第 一膜上或?qū)щ妼?上，從而通過成型或涂布將第二膜直接提供到第一膜上。在該情形，該復(fù)制 圖案可通過采一沖壓工具同時(shí)壓印到該還尚未固化或部分固化的聚合物中 而提供。當(dāng)聚合物被固化后，其圖案的至少一部分用第二導(dǎo)電層涂布。該工 藝能被重復(fù)以提供具有大量層數(shù)的多層復(fù)合物。
現(xiàn)將參考附圖進(jìn)一步詳細(xì)描述本發(fā)明，在附圖中圖la和lb示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例示意了巻軸復(fù)合物的連續(xù)巻， 圖1 c是根據(jù)本發(fā)明的 一個(gè)實(shí)施例的復(fù)合物的 一部分的透視圖， 圖2a _ 2f是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的復(fù)合物的一部分的橫截面圖， 圖2g為圖2a/2b/2c/2d/2e/2f的方文大截面，圖3a和3b顯示了暴露于零電位差和暴露于高電位差的電活性復(fù)合物， 圖4a-4c示出了將圖3a中的電活性復(fù)合物暴露于圖3b中所示的高電 位差的效果，圖5a和5b示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的復(fù)合物疊層的一個(gè)例子，由此 形成了電活性多層復(fù)合物，圖5c和5d示出了暴露于零電位差和暴露于高電位差的電活性多層復(fù)合物，圖1為本發(fā)明平板玻璃基板減薄夾具具體實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本發(fā)明平板玻璃基板減薄夾具具體實(shí)施例一中的卡條結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明平板玻璃基板減薄夾具具體實(shí)施例一中卡條軸向截面的局 部結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明平板玻璃基板減薄夾具具體實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例一如圖1所示為本發(fā)明平板玻璃基板減薄夾具具體實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意 圖，本實(shí)施例的平板玻璃基板減薄夾具包括如下結(jié)構(gòu)相互間隔設(shè)置的兩個(gè) 框架11和12，框架11和12可以為兩塊鏤空的平板，或者可以是由數(shù)根條 棱拼合而成的框體，兩個(gè)框架11和12相互平行，且其間具有一定的間隔距 離；設(shè)置在框架11和12之間的六根卡條21 ~26,卡條21 26之間相互平 行，卡條21~26的兩端分別連接在兩個(gè)框架11和12上，其中，兩根卡條 21、 22連接在兩個(gè)框架11和12底邊的中部，兩根卡條23、 24連接在兩個(gè) 框架11和12側(cè)邊的中部，剩余兩根卡條25、 26連接在兩個(gè)框架11和12側(cè) 邊的上部；各卡條21~26的形狀相同，以其中一根卡條21為例，如圖2所 示為卡條21的結(jié)構(gòu)示意圖，在卡條21的表面上周向開設(shè)有多個(gè)凹槽3，較 佳的是設(shè)置20~ 30個(gè)凹槽，可同時(shí)加工20~ 30片玻璃基板。如圖3所示為 卡條軸向橫截面的局部結(jié)構(gòu)示意圖，凹槽3的橫截面形狀為倒梯形。六根卡 條用于將待減薄玻璃基板5的邊緣卡設(shè)在其上的凹槽內(nèi)，從而通過六根卡條 的相互配合將待減薄玻璃基板5固定在卡條之間，如圖l所示。在對(duì)本發(fā)明 技術(shù)方案的描述中，對(duì)盒設(shè)置好的顯示面板也可稱為玻璃基板，因?yàn)橹饕?理的是顯示面板外側(cè)的玻璃基板。在本實(shí)施例中，框架的作用是固定卡條，其具體的結(jié)構(gòu)形狀也可以為條棱組成的三維結(jié)構(gòu)，只要兩框架之間留有容納卡條和待減薄玻璃基板的空間即可。框架的結(jié)構(gòu)采用鏤空面板的優(yōu)勢(shì)在于當(dāng)待減薄玻璃基板隨同夾具浸 泡到藥液中時(shí)，鏤空的框架幾乎不會(huì)對(duì)藥液的流動(dòng)構(gòu)成影響，因此避免了因 藥液流動(dòng)不均而導(dǎo)致玻璃基板浸泡刻蝕不均勻現(xiàn)象的發(fā)生?？蚣艿臄?shù)量并不 限于兩個(gè)，可以設(shè)置多個(gè)相互平行的框架，在其間分別設(shè)置卡條，該技術(shù)方 案能夠增加整個(gè)夾具的承重能力。本實(shí)施例中的卡條具體可以為圓柱體、長(zhǎng)方體、棱柱體或其他形狀，卡 條的形狀并不影響其對(duì)待減薄玻璃基板的承載。采用長(zhǎng)條形狀的卡條來固定 玻璃基板，其作用也是能夠最大限度的減小對(duì)藥液流動(dòng)的影響?？l對(duì)玻璃 基板的承載作用通過六根卡條相互配合來實(shí)現(xiàn)的，框架底邊中部連接的兩根 卡條用于承載玻璃基板的重力，框架側(cè)邊連接的四根卡條用于固定玻璃基板 的位置，在框架頂邊不設(shè)置卡條，是為了便于玻璃基板從上部放入框架之間。 本實(shí)施例為一種較佳的實(shí)施方式，但卡條的數(shù)量和位置并不限于此，只要能 夠?qū)崿F(xiàn)將玻璃基板固定在數(shù)根卡條所圍成的范圍內(nèi)即可。本實(shí)施例中，設(shè)置在卡條表面的凹槽是本發(fā)明的關(guān)鍵。在采用藥液浸泡 玻璃基板的過程中，要保證玻璃基板的表面能夠充分接觸到足夠的藥液，否 則刻蝕作用不均勻會(huì)導(dǎo)致玻璃基板表面存在凸起。這種凸起現(xiàn)象在夾具夾持 玻璃基板的部位尤其容易出現(xiàn)。本實(shí)施例中凹槽的設(shè)計(jì)是一種較佳的技術(shù)方 案，通過設(shè)置倒梯形橫截面的凹槽，既實(shí)現(xiàn)了將玻璃基板嵌設(shè)固定在凹槽中， 也實(shí)現(xiàn)玻璃基板嵌設(shè)部位的表面不與凹槽相接觸，從而避免了刻蝕后出現(xiàn)凸 起?，F(xiàn)有的液晶顯示器(Liquid Crystal Display,以下簡(jiǎn)稱LCD)、等離 子顯示屏(Plasma Display Panel ，簡(jiǎn)稱PDP )、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(Organic Light Emitting Diode,筒稱OLED)等產(chǎn)品，其玻璃基板的常見厚度一般為 1.4毫米或以下，本實(shí)施例中的凹槽，較佳的是設(shè)置倒梯形截面的底邊長(zhǎng)度 LI為2毫米以適應(yīng)待減薄玻璃基板的厚度，設(shè)置倒梯形頂邊長(zhǎng)度L2為3 ~ 5 毫米以及設(shè)置倒梯形高度L3為3~5毫米，從而實(shí)現(xiàn)玻璃基板在該處與藥液的充分接觸，避免出現(xiàn)凸起，該技術(shù)方案能夠普遍適應(yīng)厚度為L(zhǎng)4毫米及以 下的玻璃基板的刻蝕夾持。當(dāng)然，凹槽的橫截面形狀、開設(shè)位置和數(shù)量并不 限于上述技術(shù)方案，還可以有多種具體設(shè)置方式。凹槽的橫截面形狀并不限于倒梯形，還可以為半圓形或其他形狀，只要 其橫截面的寬度在卡條表面至卡條軸心方向上遞減即可，且凹槽在卡條表面 的開口寬度應(yīng)適應(yīng)于待減薄玻璃基板的厚度，要大于待減薄玻璃基板的厚度。凹槽的開設(shè)數(shù)量決定了 一個(gè)玻璃基板減薄工具在 一 次加工時(shí)所能夾持的 玻璃基板的數(shù)量，本實(shí)施例中在每根卡條上分別開設(shè)了多個(gè)凹槽，則能夠同 時(shí)夾持多塊玻璃基板，大大提高了產(chǎn)品的加工效率。夾持玻璃基板的數(shù)量取 決于夾持時(shí)玻璃基板之間的間隔距離，間隔距離小，則可夾持的數(shù)量就能增 加，但是，藥液浸泡方式?jīng)Q定了玻璃基板之間不能相隔太近，否則玻璃基板 表面將不會(huì)充分的與足夠的藥液接觸，也就無法達(dá)到良好的刻蝕效果。在本 實(shí)施例中，凹槽之間的間隔距離，即凹槽軸線間的距離L4較佳的是不小于 25毫米。每條卡條上凹槽的開設(shè)位置應(yīng)相互對(duì)應(yīng)，達(dá)到相互配合卡設(shè)玻璃基板的 目的。在本實(shí)施例中，各卡條上凹槽的開設(shè)位置是相同的。在一根卡條上， 每個(gè)凹槽較佳的是環(huán)繞卡條表面一周，即開設(shè)360度成為一個(gè)環(huán)形槽，可以 完全不阻礙藥液的流動(dòng)，使刻蝕效果更加?；蛘甙疾劭梢詢H在卡條間相對(duì)的 表面上開設(shè)一段或半圈凹槽，也能實(shí)現(xiàn)夾持玻璃基板的功能。即凹槽繞開條 表面周向開設(shè)的角度180度，或者為鈍角或銳角。本實(shí)施例的平板玻璃基板減薄夾具作為顯示裝置所用玻璃基板在浸泡刻 蝕減薄工藝中所專用的夾持工具，充分考慮了玻璃基板的性能特點(diǎn)和浸泡刻 蝕工藝的特性要求，適應(yīng)其夾持要求，具有多項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)第一、采用數(shù)根卡條 相互配合夾持玻璃基板，并在夾持處設(shè)置凹槽，可以有效避免在玻璃基板與 夾具的接觸點(diǎn)處藥液接觸不充分，從而避免了在接觸點(diǎn)處蝕刻后形成凸起； 第二、采用鏤空的框架、卡條，對(duì)藥液的流動(dòng)影響微小，能夠有效避免夾具對(duì)液體流動(dòng)的阻止，避免因液體流動(dòng)不暢而導(dǎo)致蝕刻后的玻璃厚度不均；第 三、以數(shù)根卡條相互卡持的方式，使得可以在卡條上設(shè)置多個(gè)凹槽，同時(shí)固 定平行的多個(gè)玻璃基板，因此能夠提高夾具的承載能力， 一次可蝕刻多個(gè)產(chǎn) 品，大大提高了加工效率。經(jīng)試驗(yàn)，采用本實(shí)施例的平板玻璃基板減薄夾具 可以同時(shí)夾持多片厚度在1. 4毫米或以下的、已成盒的LCD玻璃基板，進(jìn)行 浸泡刻蝕后，在玻璃基板上均不會(huì)出現(xiàn)凸起，且厚度均勻性均小于2%,遠(yuǎn) 遠(yuǎn)優(yōu)于LCD允許的5%的厚度均勻度指標(biāo)。再經(jīng)過后續(xù)的切割、IC B/D工序 驗(yàn)證，采用本實(shí)施例的平板玻璃基板減薄夾具夾持刻蝕的產(chǎn)品，在這兩個(gè)工 序中的合格率為100%。 實(shí)施例二如圖4所示為本發(fā)明平板玻璃基板減薄夾具具體實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意 圖，本實(shí)施例與實(shí)施例一的夾具結(jié)構(gòu)大致相同，區(qū)別在于卡條23 26與框架 11和12的連接關(guān)系不同。如圖4所示，在本實(shí)施例中，在框架11和12與 卡條23~26端部的連接處開設(shè)有定位槽4，以一根卡條23為例，其端部6 滑動(dòng)嵌設(shè)在定位槽4內(nèi)。具體可以在卡條端部設(shè)置螺紋，用防藥液腐蝕的螺母配合螺紋進(jìn)行固定， 使得卡條端部可相對(duì)于定位槽作橫向運(yùn)動(dòng)，而不會(huì)伸出或脫離定位槽。在本實(shí)施例中，僅在框架側(cè)邊設(shè)置定位槽，對(duì)應(yīng)的卡條可以在定位槽范 圍內(nèi)調(diào)節(jié)位置，因此可以根據(jù)待減薄玻璃基板的長(zhǎng)度調(diào)節(jié)卡條的位置，較佳 的是設(shè)置定位槽的長(zhǎng)度范圍不超過60毫米，以滿足對(duì)不同待減薄玻璃基板寬 度的適應(yīng)調(diào)整。較佳的能夠?qū)崿F(xiàn)適應(yīng)夾持240 300毫米長(zhǎng)的玻璃基板。因?yàn)?玻璃基板的上端并沒有用卡條固定，所以并不需要調(diào)整框架底邊上連接的卡 條的位置。定位槽的可調(diào)節(jié)范圍過大，可能會(huì)導(dǎo)致調(diào)節(jié)不精確而導(dǎo)致產(chǎn)品產(chǎn) 生凸起現(xiàn)象。在具體應(yīng)用中，根據(jù)卡條的相對(duì)位置，可以靈活的設(shè)置定位槽 的位置和方向，以能實(shí)現(xiàn)卡條位置調(diào)節(jié)為準(zhǔn)。采用上述:l支術(shù)方案，可以適應(yīng)于同時(shí)夾持多片長(zhǎng)x寬x厚為300 x 351 x1毫米或280 x 350 x 1. 4毫米的、已成盒的LCD玻璃基板進(jìn)行浸泡刻蝕，并 且能達(dá)到良好的蝕刻效果。本實(shí)施例的技術(shù)方案改進(jìn)了平板玻璃基板減薄夾 具的可調(diào)節(jié)性，這一點(diǎn)對(duì)于實(shí)際生產(chǎn)尤為重要。平板玻璃減薄夾具的材料價(jià) 格昂貴，若夾具僅能適合夾持單一、特定尺寸的顯示面板，那么在產(chǎn)品尺寸 改進(jìn)時(shí)，或需要加工多型號(hào)產(chǎn)品時(shí)必須更換夾具，這樣會(huì)增加投入的成本。 本實(shí)施例的技術(shù)方案通過設(shè)置定位槽，使夾具可適應(yīng)多種型號(hào)尺寸的產(chǎn)品， 從而降低了生成成本。最后應(yīng)說明的是以上實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對(duì)其 限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù) 人員應(yīng)當(dāng)理解其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或 者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
權(quán)利要求
1、一種平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于包括至少兩個(gè)框架，所述框架相互間隔設(shè)置；數(shù)根卡條，設(shè)置在所述框架之間，每根所述卡條的兩端分別連接在不同的框架上；在所述卡條的表面上周向開設(shè)有一個(gè)或一個(gè)以上凹槽，所述凹槽橫截面的寬度在卡條表面至卡條軸心方向上遞減，所述數(shù)根卡條上的凹槽用于將待減薄玻璃基板卡設(shè)固定在所述數(shù)根卡條之間。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于所述凹 槽的橫截面形狀為倒梯形或半圓形。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于所述凹 槽繞卡條表面周向開設(shè)的角度為360度或180度。
4、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于所述倒 梯形的底邊長(zhǎng)度為2毫米。
5、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于所述倒 梯形的頂邊長(zhǎng)度范圍為3-5毫米。
6、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于所述倒 梯形的高度范圍為3~5毫米。
7、 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于每 根所述卡條上各凹槽間的間隔距離不小于25毫米。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于 在所述框架與所述卡條端部的連接處開設(shè)有定位槽，所述卡條的端部滑動(dòng)嵌 設(shè)在所述定位槽內(nèi)。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于所述定 位槽的長(zhǎng)度不超過60毫米。
10、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于所述卡條的數(shù)量為六根，兩根所述卡條連接在所述框架底邊的中部，兩根所述卡 條連接在所述框架側(cè)邊的中部，兩根所述卡條連接在所述框架側(cè)邊的上部。
11、 根據(jù)權(quán)利要求1或10所述的平板玻璃a減薄夾具，其特征在于 所述框架為鏤空的平板。
12、 根據(jù)權(quán)利要求1或10所述的平板玻璃基板減薄夾具，其特征在于 所述卡條為圓柱體或棱柱體。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種平板玻璃基板減薄夾具，包括至少兩個(gè)框架，各框架相互間隔設(shè)置；數(shù)根卡條，設(shè)置在框架之間，每根卡條的兩端分別連接在不同的框架上；在卡條的表面上周向開設(shè)有一個(gè)或一個(gè)以上凹槽，該凹槽橫截面的寬度在卡條表面至卡條軸心方向上遞減，數(shù)根卡條上的凹槽用于將待減薄玻璃基板卡設(shè)固定在數(shù)根卡條之間。本發(fā)明的平板玻璃基板減薄夾具在實(shí)現(xiàn)了夾持玻璃基板進(jìn)行藥液浸泡刻蝕達(dá)到減薄目的的前提下，能夠消除玻璃基板與夾具接觸點(diǎn)處出現(xiàn)的凸起，改善玻璃基板的減薄效果，提高玻璃基板刻蝕后的均勻度，保證后續(xù)工序的執(zhí)行。
文檔編號(hào)C03C15/00GK101215101SQ200810056268
公開日2008年7月9日 申請(qǐng)日期2008年1月16日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月16日
發(fā)明者史華威, 朱墨雨, 王乾旭, 王道鵬 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司;京東方(河北)移動(dòng)顯示技術(shù)有限公司;京東方現(xiàn)代(北京)顯示技術(shù)有限公司