專利名稱：玻璃減薄方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種玻璃減薄方法，更具體地是涉及一種其中蝕刻溶 液依靠重力作用沿著玻璃基材的表面從所述玻璃基材的上部向下流到 下部，從而將玻璃基材蝕刻到所希望的厚度，由此在顯著減少顆粒產(chǎn) 生的同時將玻璃基材超薄化的玻璃減薄方法。
背景技術(shù)：
用于顯示器中的玻璃包括堿石灰玻璃，其是通過將堿離子按需要 加到二氧化硅(SK)2)中形成的，和無堿玻璃，其在髙溫下幾乎不發(fā) 生改變。堿石灰玻璃物性溫度轉(zhuǎn)變點低，但不責，因而用于采用低溫工藝的超扭轉(zhuǎn)向列液晶顯示器(STNLCD)或無源矩陣型有機發(fā)光二 級管(PMOLED)中，無堿玻璃物性溫度轉(zhuǎn)變點高，因而適宜用于形 成TFT陣列的高溫工藝中，并因而用于薄膜晶體管-液晶顯示器 (TFT-LCD)或有源矩陣型有機發(fā)光二級管(AMOLED)中。近來，為了滿足顯示設(shè)備工業(yè)的發(fā)展需要和顧客對輕、薄、短和 小的產(chǎn)品趨勢的需求，迫切需要一種用于減薄通過結(jié)合玻璃基材制得 的顯示面板的技術(shù).也就是說，要求減薄用于LCD中的玻璃基材以滿 足設(shè)備的薄輪廊趨勢需要。通過蝕刻顯示面板來實現(xiàn)玻璃基材的減薄。采用浸漬技術(shù)、噴霧技術(shù)和浸漬噴霧技術(shù)的常規(guī)玻璃減薄方法是 廣為人知的，下面，參考附困詳細描述這些常規(guī)的玻璃減薄方法.圖1A舉例說明了采用浸漬技術(shù)的常翔L^L璃減薄方法100。參考 困1A，通過隔膜120在外室150中彼此劃分出了單元區(qū)130，顯示面 板130分別設(shè)置在單元區(qū)130的各單元內(nèi)。蝕刻溶液裝在外室150中，并供給至各單元。其后，從室110的下端向上提供泡沫140，由此使 分別設(shè)置在各單元中的顯示面板減薄。該方法的優(yōu)點在于工藝簡單，
并且可以同時減薄多個玻璃基材.但是，該方法減薄坡璃基材所需 要的時間長，當泡沫產(chǎn)生時引起玻璃基材所產(chǎn)生的殘余物與玻璃基 材表面碰撞，或者產(chǎn)生各種顆粒，以致在玻璃基材的表面上形成劃 痕或者在玻璃M的內(nèi)表面上形成顆粒。圖1B舉例說明了采用噴M術(shù)的常規(guī)J^璃減薄方法200。參考 圖1B，噴嘴220設(shè)置在顯示面板210的兩側(cè)，所述噴嘴220將蝕刻溶 液噴射在顯示面板210的兩個表面上以蝕刻顯示面板210的表面，由 此減薄顯示面板210。該方法類似于采用浸漬技術(shù)的玻璃減薄方法， 有少量殘余物生成，并且對于減薄大尺寸的玻璃基材而言是有利的。 但是，由于噴射壓力高，會在玻璃基材表面產(chǎn)生酒窩形劃痕，并且要 求的工藝復(fù)雜。圖lC舉例說明采用浸漬噴f^L術(shù)的常M璃減薄方法300，其 中組^^吏用了浸漬和噴i^t術(shù)。參考困1C,將顯示面板310浸漬到 含有蝕刻溶液330的設(shè)備中后，設(shè)置在顯示面板310兩側(cè)的噴嘴將蝕 刻溶液330噴射到顯示面板310的兩個表面上，由此減薄顯示面板310. 該方法要求的工藝復(fù)雜，成本高，造成維護和修理困難，并且仍然會 在玻璃基材表面產(chǎn)生劃痕.盡管這些劃痕是細微的，但仍然會給高技術(shù)設(shè)備，例如給顯示 面板帶來致命的缺陷，從而顯著降低了設(shè)備的價值。因此，玻璃基材 上細微的劃痕會使得其被丟棄。也就是說，當采用上述任何一種方法通過在蝕刻溶液中產(chǎn)生泡 沫或噴射蝕刻溶液來蝕刻原玻璃基材時，細微劃痕或細小顆粒都會 對玻璃基材表面造成損害，從而給通過結(jié)合上M材制得并且要求 高精度的顯示面板帶來致命的質(zhì)量缺陷。盡管制得的顯示面板只有 細微的劃痕，但其必須被丟棄。因此，上述常規(guī)方法是不利的，因 為其導(dǎo)致顯示面板的生產(chǎn)成本增加。發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明是考慮到上述問趙而作出的，本發(fā)明的目的之一是 提供一種玻璃減薄方法，其中蝕刻溶液依靠重力作用沿著玻璃基材或
顯示面板的表面從所述玻璃基材或顯示面板的上部流到下部，從而將 玻璃基材或顯示面板蝕刻到所希望的厚度，由此在減少顆粒產(chǎn)生的同 時將玻璃基材或顯示面板超薄化.根據(jù)本發(fā)明，通過提供一種玻璃減薄方法能夠?qū)崿F(xiàn)上述或者其它 目的，其中蝕刻溶液沿著玻璃基材或顯示面板的表面從所述玻璃基材 或顯示面板的上部豎直向下流到下部以減薄玻璃基材或顯示面板，由 此防止了外部壓力對玻璃基材或顯示面板表面的損害，并且在沒有顆粒產(chǎn)生的情況下將玻璃基材或顯示面板減薄到所希望的厚度。所述蝕刻溶液以固定流速或可變流速沿著玻璃基材或顯示面板的 兩個側(cè)面從所述玻璃基材或顯示面板的上部流到下部，由此依靠重力 作用沿著玻璃基材或顯示面板的兩個側(cè)面均勻流動，并因此精確控制 蝕刻厚度。用HF溶液作為所述蝕刻溶液，由此降低了玻璃基材或顯示面板 的生產(chǎn)成本。提供用于固定玻璃基材或顯示面板的固定單元以及用于均勻控制 所述蝕刻溶液流速的流速控制單元，由此消除了由于玻璃基材或顯示 面板的移動帶來的蝕刻厚度改變，并將玻璃基材或顯示面板減薄到所 希望的厚度。通過用于調(diào)節(jié)出口寬度的通道部分調(diào)節(jié)蝕刻溶液流的寬度，其中 所述蝕刻溶液通過所述通道部分流出，由此根據(jù)顯示面板的寬度調(diào)節(jié) 蝕刻溶液流的寬度，并使得玻璃基材或顯示面板的整個表面能夠被同 時均勻地蝕刻。
結(jié)合附圖，由下列詳細描述可以更加清楚地理解本發(fā)明的上述和 其它目的、特征和其它優(yōu)點，其中圖1A為舉例說明采用浸漬技術(shù)的常規(guī)玻璃減薄方法的剖面示意困；圖1B為舉例說明采用噴霧技術(shù)的常規(guī)玻璃減薄方法的剖面示意困； 圖1C為舉例說明采用浸漬噴霧技術(shù)的常規(guī)玻璃減薄方法的剖面示意困；閨2為舉例說明根據(jù)本發(fā)明一個實施方案的玻璃減薄方法的側(cè)視 困；和圖3A至3C為分別舉例說明原玻璃基材表面、根據(jù)常規(guī)方法減薄 的玻璃基材表面和根據(jù)本發(fā)明方法減薄的玻璃基材表面的照片。
具體實施方式
現(xiàn)在，參考附困詳細描述本發(fā)明的優(yōu)選實施方案。 圖2為舉例說明根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施方案的玻璃減薄方法的側(cè)枧 困。參考圖2，蝕刻溶液30沿著要被減薄的顯示面板10的兩個側(cè)面 從所述顯示面板10的上部均勻流到所述顯示面板10的下部.盡管該 實施方案中僅公開了蝕刻溶液30沿著顯示面板10的兩個側(cè)面從所述 顯示面板10的上部流到下部，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當理解蝕刻溶液 可以依靠重力作用從所述顯示面板10的上部流到下部以減薄顯示面 板IO。更具體地，在顯示面板10或玻璃基材的上部設(shè)置一個噴嘴單元或 多個噴嘴單元以提供蝕刻溶液30。當使用一個噴嘴單元時，該噴嘴單 元在顯示面板10或玻璃基材的兩側(cè)支化為兩部分，以便從該兩部分噴 出的蝕刻溶液30沿著顯示面板10或玻璃基材的兩個側(cè)面流動。作為 替代方案，當使用多個噴嘴單元時，所述多個噴嘴單元分別設(shè)置在顯 示面板10或玻璃基材的兩側(cè)，以便從所述多個噴嘴單元噴出的蝕刻溶 液沿著顯示面板10或玻璃基材的兩個側(cè)面流動。沿顯示面板10的兩 個表面流動的蝕刻溶液30的流速可以是均一的，也可以是根據(jù)用戶搮 作需要改變的，以便有效減薄顯示面板10或玻璃基材?？梢允褂萌魏文軌蛭g刻玻璃的物質(zhì)作為蝕刻溶液30。優(yōu)選地，從 有利于經(jīng)濟成本的方面考慮，用HF溶液作為蝕刻溶液30。進一步優(yōu) 選地，提供根據(jù)用戶要求的蝕刻程度控制蝕刻溶液30流速的流速控制 單元(未示出)。更優(yōu)選地，流速控制單元連接到自動化設(shè)備上來控制 蝕刻時間和蝕刻厚度。
在該實施方案的方法中，蝕刻溶液30從所述顯示面板10的上部 向下流到所述顯示面板10的下部，優(yōu)選地，通道部分(未示出)設(shè)置 在流量控制單元的出口處，且蝕刻溶液30從其中流出，所述通道部分 具有可調(diào)寬度。通道部分的寬度根據(jù)顯示面板10的尺寸增加或減小， 由此實現(xiàn)有效通用的玻璃減薄方法，圖3A是原玻璃基材表面的照片，圖3B是按照常規(guī)方法減薄的玻 璃基材表面的照片，圖3C是按照本發(fā)明的方法減薄的玻璃基材表面 的照片。上述照片是用掃描電子顯微鏡(SEM:xlO，OOO)拍攝的。如 圖3B所示，在玻璃基材表面按照常規(guī)方法完成玻璃減薄工藝后，玻 璃基材表面上產(chǎn)生劃痕，即使這些劃痕是細微的，也會給高技術(shù)設(shè)備， 例如給顯示面板帶來致命的缺陷，從而顯著降低設(shè)備的價值。因此， 必須將具有細微劃痕的薄玻璃基材丟棄，另一方面，如圖3C所示， 在玻璃基材表面按照本發(fā)明的方法完成玻璃減薄工藝后，在玻璃基材 的表面上沒有劃痕產(chǎn)生。因此，區(qū)別于常規(guī)的玻璃減薄方法，本發(fā)明的玻璃減薄方法防止 了玻璃基材表面上劃痕的產(chǎn)生.因此，可以提高玻璃基材的質(zhì)量，并 可以修復(fù)因具有劃痕而通常必須被丟棄的玻璃基材，從而減少了不必 要的花費。從上述描述明顯可見，本發(fā)明提供了一種玻璃減薄的方法，其中 蝕刻溶液依靠重力作用從玻璃基材或顯示面板的上部向下流到下部， 從而將玻璃基材或顯示面板蝕刻到所希望的厚度，由此在減少顆粒產(chǎn) 生的同時將玻璃基材或顯示面板超薄化。當采用本發(fā)明的方法超薄化顯示面板時，顯示面板表面上沒有劃 痕產(chǎn)生。因此，本發(fā)明的方法能夠提供極高質(zhì)量的薄顯示面板。盡管出于舉例的目的，公開了本發(fā)明的優(yōu)選實施方案，但是本 領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當理解可以在不偏離本發(fā)明在所附權(quán)利要求書中所 公開的范圍和精神的情況下，對本發(fā)明進行各種改變、添加和代替。
權(quán)利要求
1. 一種玻璃減薄方法，其中蝕刻溶液以固定流速或可變流速沿著玻璃基材或顯示面板的表面從所述玻璃基材或顯示面板的上部豎直向下流到下部，從而使玻璃基材或顯示面板變薄。
2. 權(quán)利要求l所迷的玻璃減薄方法，其中在玻璃基材或顯示面板 的上部設(shè)置一個噴嘴單元或多個噴嘴單元以提供燭刻溶液，并且所述 一個噴嘴單元在玻璃基材或顯示面板的兩側(cè)支化為兩部分，或者所述 多個噴嘴單元分別設(shè)置在玻璃基材或顯示面板的兩側(cè)，使得蝕刻溶液 以固定流速或可變流速沿著玻璃基材或顯示面板的兩個側(cè)面流下。
3. 權(quán)利要求2所述的玻璃減薄方法，其中用HF溶液作為蝕刻溶液。
4. 權(quán)利要求2或3所迷的玻璃減薄方法，其中提供用于固定玻璃 基材或顯示面板的固定單元以及用于均勻控制蝕刻溶液流速的流速控 制單元。
5. 權(quán)利要求1或2所述的方法，其中通過用于調(diào)節(jié)出口寬度的通 道部分調(diào)節(jié)蝕刻溶液流的寬度，所述蝕刻溶液通過所述通道部分流出。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種玻璃減薄方法，其中蝕刻溶液以固定流速或可變流速沿著玻璃基材或顯示面板的表面從玻璃基材或顯示面板的上部豎直向下流到下部，從而使玻璃基材或顯示面板變薄。用HF溶液作為蝕刻溶液。由于蝕刻溶液依靠重力作用流下并將玻璃基材或顯示面板蝕刻到所希望的厚度，因而該方法減少了顆粒的產(chǎn)生，并且使得玻璃基材或顯示面板超薄化。進一步地，該方法防止了玻璃基材或顯示面板表面劃痕的產(chǎn)生，從而得到質(zhì)量極好的薄玻璃基材或顯示面板。
文檔編號C03C15/00GK101209902SQ20071007975
公開日2008年7月2日 申請日期2007年3月7日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月29日
發(fā)明者樸文泳 申請人:崔灒圭