專利名稱：一種工夾具清洗機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽電池制造領(lǐng)域，具體涉及一種工夾具清洗機(jī)。
背景技術(shù)：
在太陽電池或半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，通常會(huì)用氮化硅或二氧化硅作為掩模層或絕緣介質(zhì)層，相應(yīng)工序的工夾具在使用一段時(shí)間后均會(huì)沉積一定厚度的氮化硅或二氧化硅薄膜，例如等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)工序的石墨舟上會(huì)在長(zhǎng)時(shí)間鍍膜后其表面沉積一 厚層氮化硅，此時(shí)需將石墨舟放置在氫氟酸(HF)溶液中清洗以去除其表面的氮化硅。應(yīng)用于上述太陽電池或半導(dǎo)體領(lǐng)域的工夾具清洗機(jī)，一般是使用機(jī)械傳動(dòng)方式將石墨舟等工夾具傳送進(jìn)酸洗槽和水洗槽分別進(jìn)行酸洗、水洗。由于氫氟酸具有腐蝕性，導(dǎo)致傳動(dòng)部分易被腐蝕損壞進(jìn)而導(dǎo)致其性能不可靠；另外當(dāng)工夾具被從氫氟酸槽中撈取出來時(shí)，易發(fā)生氫氟酸液體四處滴濺，導(dǎo)致清洗機(jī)周圍槽體上到處是氫氟酸殘液，存在著很大的安全隱患。因此，如何提供一種工夾具清洗機(jī)以避免在氫氟酸溶液中傳送或撈取工夾具，從而提高清洗機(jī)的可靠性并清除安全隱患，已成為業(yè)界亟待解決的技術(shù)問題。
實(shí)用新型內(nèi)容本發(fā)明的目的是要提供一種工夾具清洗機(jī)，通過所述清洗機(jī)可以避免在氫氟酸溶液中傳送或撈取工夾具，從而提高清洗機(jī)的可靠性并清除安全隱患。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型將提供一種工夾具清洗機(jī)，包括用于清洗石墨舟的清洗槽，所述清洗機(jī)還包括儲(chǔ)液槽，用于儲(chǔ)存清洗工夾具的清洗液；液體驅(qū)動(dòng)模塊，用于驅(qū)動(dòng)清洗液在清洗槽和儲(chǔ)液槽間進(jìn)行交換，所述液體驅(qū)動(dòng)模塊分別通過第一管道和第二管道連接至清洗槽和儲(chǔ)液槽；以及控制模塊，用于依據(jù)工夾具的清洗狀況控制液體驅(qū)動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)清洗液在清洗槽和儲(chǔ)液槽間進(jìn)行交換。在上述工夾具清洗機(jī)中，所述液體驅(qū)動(dòng)模塊包括第一單向隔膜泵和第二單向隔膜泵，所述第一單向隔膜泵通過第一管道和第二管道連接至清洗槽和儲(chǔ)液槽，所述第二單向隔膜泵通過第三管道和第四管道連接至清洗槽和儲(chǔ)液槽。在上述工夾具清洗機(jī)中，所述第一管道、第二管道、第三管道和第四管道上分別設(shè)置有第一閥門、第二閥門、第三閥門和第四閥門。在上述工夾具清洗機(jī)中，所述第一閥門、第二閥門、第三閥門和第四閥門均為氣動(dòng)閥。在上述工夾具清洗機(jī)中，所述液體驅(qū)動(dòng)模塊為雙向隔膜泵，所述雙向隔膜泵通過第一管道和第二管道連接至清洗槽和儲(chǔ)液槽。在上述工夾具清洗機(jī)中，所述第一管道和第二管道上分別設(shè)置有第一閥門和第二閥門。在上述工夾具清洗機(jī)中，所述第一閥門和第二閥門均為氣動(dòng)閥。[0013]在上述工夾具清洗機(jī)中，所述工夾具清洗機(jī)還包括時(shí)間繼電器或/和設(shè)置在清洗槽和儲(chǔ)液槽中的液位開關(guān)，所述控制模塊依照液位開關(guān)和時(shí)間繼電器的動(dòng)作來控制液體驅(qū)動(dòng)模塊作動(dòng)。在上述工夾具清洗機(jī)中，所述清洗液為氫氟酸溶液，所述工夾具為石墨舟或石英舟。在上述工夾具清洗機(jī)中，所述工夾具清洗機(jī)還包括供水模塊，所述控制模塊還依據(jù)石墨舟的清洗狀況控制供水模塊向清洗槽供水。與現(xiàn)有技術(shù)中通過機(jī)械方式將工夾具傳送進(jìn)氫氟溶液及直接從氫氟酸溶液中撈取工夾具相比，本實(shí)用新型先將工夾具傳送進(jìn)清洗槽，然后通過控制模塊控制液體驅(qū)動(dòng)模塊將氫氟酸溶液傳送至清洗槽中對(duì)工夾具進(jìn)行清洗，在清洗結(jié)束后再控制液體驅(qū)動(dòng)模塊將氫氟酸溶液傳送至儲(chǔ)液槽中，之后再控制供水模塊向清洗槽中供水對(duì)工夾具進(jìn)行水洗，從而可提高清洗機(jī)的可靠性和安全性。
圖I為本實(shí)用新型的工夾具清洗機(jī)的第一實(shí)施例的組成結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型的工夾具清洗機(jī)的第二實(shí)施例的組成結(jié)構(gòu)示意圖；以及圖3為本實(shí)用新型的工夾具清洗機(jī)的第三實(shí)施例的組成結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方案下面結(jié)合具體實(shí)施例及附圖來詳細(xì)說明本實(shí)用新型的目的及功效。參見圖1，本實(shí)用新型的工夾具清洗機(jī)，包括清洗槽I、儲(chǔ)液槽2、液體驅(qū)動(dòng)模塊3、供水模塊4、液位開關(guān)5和控制模塊6。以下對(duì)本實(shí)用新型的各構(gòu)件進(jìn)行詳細(xì)說明。所述清洗液為氫氟酸溶液，所述工夾具為石墨舟或石英舟等。所述清洗槽I用于清洗石墨舟。所述儲(chǔ)液槽2用于儲(chǔ)存清洗工夾具的清洗液。所述液體驅(qū)動(dòng)模塊3用于驅(qū)動(dòng)清洗液在清洗槽I和儲(chǔ)液槽2間進(jìn)行交換。如圖I所示，在本實(shí)用新型第一實(shí)施例中，所述液體驅(qū)動(dòng)模塊3為雙向隔膜泵，所述雙向隔膜泵通過第一管道300和第二管道301連接至清洗槽I和儲(chǔ)液槽2，還通過第三管道310和第四管道311連接至清洗槽I和儲(chǔ)液槽2，所述第一管道300和第二管道301的液體流向?yàn)閮?chǔ)液槽2至清洗槽1，所述第三管道310和第四管道311的液體流向?yàn)榍逑床跧至儲(chǔ)液槽2。所述第一管道300、第二管道301、第三管道310和第四管道311上分別設(shè)置有第一閥門VI、第二閥門V2、第三閥門V3和第四閥門V4。所述第一閥門VI、第二閥門V2、第三閥門V3和第四閥門V4均為氣動(dòng)閥。如圖2所示，在本實(shí)用新型第二實(shí)施例中，所述液體驅(qū)動(dòng)模塊30為雙向隔膜泵，所述雙向隔膜泵通過第一管道300和第二管道301連接至清洗槽I和儲(chǔ)液槽2。所述第一管道300和第二管道301上分別設(shè)置有第一閥門Vl和第二閥門V2。所述第一閥門Vl和第二閥門V2均為氣動(dòng)閥。如圖3所示，在本實(shí)用新型第三實(shí)施例中，所述液體驅(qū)動(dòng)模塊3包括第一單向隔膜泵30和第二單向隔膜泵31，所述第一單向隔膜泵30通過第一管道300和第二管道301連接至清洗槽和儲(chǔ)液槽，所述第二單向隔膜泵31通過第三管道310和第四管道311連接至清洗槽I和儲(chǔ)液槽2。所述第一管道300和第二管道301的液體流向?yàn)閮?chǔ)液槽2至清洗槽1，所述第三管道310和第四管道311的液體流向?yàn)榍逑床跧至儲(chǔ)液槽2。所述第一管道300、第二管道301、第三管道310和第四管道311上分別設(shè)置有第一閥門VI、第二閥門V2、第三閥門V3和第四閥門V4。所述第一閥門Vl、第二閥門V2、第三閥門V3和第四閥門V4均為氣動(dòng)閥。所述供水模塊4用于向清洗槽I供水，所述水為去離子水。所述液位開關(guān)5用于在清洗槽I中的液位達(dá)到預(yù)設(shè)液位時(shí)停止向清洗槽I供液。所述控制模塊6用于依據(jù)工夾具的清洗狀況控制液體驅(qū)動(dòng)模塊3驅(qū)動(dòng)清洗液在清洗槽I和儲(chǔ)液槽2間進(jìn)行交換，當(dāng)工夾具設(shè)置在清洗槽I中時(shí)，控制模塊6控制液體驅(qū)動(dòng)模塊3將氫氟酸溶液從儲(chǔ)液槽2驅(qū)動(dòng)到清洗槽1，當(dāng)工夾具在氫氟酸溶液中浸泡足以將工夾具清洗干凈的時(shí)間后，控制模塊6控制液體驅(qū)動(dòng)模塊3將氫氟酸溶液從清洗槽I驅(qū)動(dòng)到儲(chǔ)液槽2 ;在將氫氟酸溶液全部轉(zhuǎn)移到儲(chǔ)液槽2后，所述控制模塊6還控制供水模塊4向清洗槽 I供水以對(duì)工夾具進(jìn)行水洗。在本實(shí)用新型其他實(shí)施例中，所述工夾具清洗機(jī)還包括時(shí)間繼電器，時(shí)間繼電器的作動(dòng)時(shí)間依據(jù)清洗槽I和儲(chǔ)液槽2的容量以及液體驅(qū)動(dòng)模塊3的驅(qū)動(dòng)能力來設(shè)定。所述控制模塊6依照液位開關(guān)5和時(shí)間繼電器的動(dòng)作來控制液體驅(qū)動(dòng)模塊作動(dòng)，例如當(dāng)液位開關(guān)5作動(dòng)時(shí)，控制模塊6控制液體驅(qū)動(dòng)模塊3停止驅(qū)動(dòng)，控制第一閥門VI、第二閥門V2、第三閥門V3和第四閥門V4關(guān)閉。綜上所述，本實(shí)用新型依據(jù)清洗需要將氫氟酸溶液在清洗槽I和儲(chǔ)液槽2間進(jìn)行交換，其先將工夾具傳送進(jìn)清洗槽I，然后通過控制模塊6控制液體驅(qū)動(dòng)模塊3將氫氟酸溶液傳送至清洗槽I中對(duì)工夾具進(jìn)行清洗，在清洗結(jié)束后再控制液體驅(qū)動(dòng)模塊3將氫氟酸溶液傳送至儲(chǔ)液槽2中，之后再控制供水模塊4向清洗槽I中供水對(duì)工夾具進(jìn)行水洗，從而可提高清洗機(jī)的可靠性和安全性。
權(quán)利要求1.一種工夾具清洗機(jī)，包括用于清洗石墨舟的清洗槽，其特征在于，所述清洗機(jī)還包括 儲(chǔ)液槽，用于儲(chǔ)存清洗工夾具的清洗液； 液體驅(qū)動(dòng)模塊，用于驅(qū)動(dòng)清洗液在清洗槽和儲(chǔ)液槽間進(jìn)行交換，所述液體驅(qū)動(dòng)模塊分別通過第一管道和第二管道連接至清洗槽和儲(chǔ)液槽；以及 控制模塊，用于依據(jù)工夾具的清洗狀況控制液體驅(qū)動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)清洗液在清洗槽和儲(chǔ)液槽間進(jìn)行交換。
2.按照權(quán)利要求I所述的工夾具清洗機(jī)，其特征在于，所述液體驅(qū)動(dòng)模塊包括第一單向隔膜泵和第二單向隔膜泵，所述第一單向隔膜泵通過第一管道和第二管道連接至清洗槽和儲(chǔ)液槽，所述第二單向隔膜泵通過第三管道和第四管道連接至清洗槽和儲(chǔ)液槽。
3.按照權(quán)利要求2所述的工夾具清洗機(jī)，其特征在于，所述第一管道、第二管道、第三管道和第四管道上分別設(shè)置有第一閥門、第二閥門、第三閥門和第四閥門。
4.按照權(quán)利要求3所述的工夾具清洗機(jī)，其特征在于，所述第一閥門、第二閥門、第三閥門和第四閥門均為氣動(dòng)閥。
5.按照權(quán)利要求I所述的工夾具清洗機(jī)，其特征在于，所述液體驅(qū)動(dòng)模塊為雙向隔膜泵，所述雙向隔膜泵通過第一管道和第二管道連接至清洗槽和儲(chǔ)液槽。
6.按照權(quán)利要求5所述的工夾具清洗機(jī)，其特征在于，所述第一管道和第二管道上分別設(shè)置有第一閥門和第二閥門。
7.按照權(quán)利要求6所述的工夾具清洗機(jī)，其特征在于，所述第一閥門和第二閥門均為氣動(dòng)閥。
8.按照權(quán)利要求I所述的工夾具清洗機(jī)，其特征在于，所述工夾具清洗機(jī)還包括時(shí)間繼電器或/和設(shè)置在清洗槽和儲(chǔ)液槽中的液位開關(guān)，所述控制模塊依照液位開關(guān)和時(shí)間繼電器的動(dòng)作來控制液體驅(qū)動(dòng)模塊作動(dòng)。
9.按照權(quán)利要求I所述的工夾具清洗機(jī)，其特征在于，所述清洗液為氫氟酸溶液，所述工夾具為石墨舟或石英舟。
10.按照權(quán)利要求I所述的工夾具清洗機(jī)，其特征在于，所述工夾具清洗機(jī)還包括供水模塊，所述控制模塊還依據(jù)石墨舟的清洗狀況控制供水模塊向清洗槽供水。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種工夾具清洗機(jī)?，F(xiàn)有技術(shù)通過機(jī)械方式將工夾具傳送進(jìn)氫氟溶液及直接從氫氟酸溶液中撈取工夾具，導(dǎo)致可靠性和安全性都較低。本實(shí)用新型先將工夾具傳送進(jìn)清洗槽，然后通過控制模塊控制液體驅(qū)動(dòng)模塊將氫氟酸溶液傳送至清洗槽中對(duì)工夾具進(jìn)行清洗，在清洗結(jié)束后再控制液體驅(qū)動(dòng)模塊將氫氟酸溶液傳送至儲(chǔ)液槽中，之后再控制供水模塊向清洗槽中供水對(duì)工夾具進(jìn)行水洗。本實(shí)用新型可提高清洗機(jī)的可靠性和安全性。
文檔編號(hào)B08B3/08GK202438487SQ201220078069
公開日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2012年3月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月1日
發(fā)明者姚小明 申請(qǐng)人:無錫尚德太陽能電力有限公司, 洛陽尚德太陽能電力有限公司