專利名稱:硅片清洗周轉(zhuǎn)盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種硅片清洗輔助工具,尤其涉及一種硅片清洗周轉(zhuǎn)盒。
技術(shù)背景
目前,硅片清洗周轉(zhuǎn)盒是硅片清洗過程中用來暫時存放脫膠后硅片的輔助工具。 現(xiàn)有的硅片清洗周轉(zhuǎn)盒子為長方形塑料盒,使用時將塑料盒子中放滿水,然后直接將脫膠后的硅片豎直放入盒中,并將硅片的一面斜靠在塑料盒邊沿內(nèi)側(cè),硅片與塑料盒邊沿內(nèi)側(cè)呈線接觸,這種結(jié)構(gòu)堆疊硅片數(shù)量少還能使用,若堆疊的硅片數(shù)量較多,硅片疊在一起產(chǎn)生的壓力較大,作用在最底下緊靠塑料盒邊沿內(nèi)側(cè)的硅片上,容易造成硅片碎裂。同時由于塑料盒底部比較光滑,斜靠的硅片容易滑倒,從而使得硅片沉入塑料盒底部而難以取出,且容易產(chǎn)生碎片。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于針對上述問題,提供一種硅片清洗周轉(zhuǎn)盒,以解決傳統(tǒng)的硅片清洗周轉(zhuǎn)盒取放硅片不遍,且線接觸式堆疊對硅片產(chǎn)生壓力大,易造成硅片碎裂的問題,以及盒體底部比較光滑,斜靠硅片易滑倒,硅片沉入塑料盒底部難以取出,且容易產(chǎn)生碎片的問題。
本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)
一種硅片清洗周轉(zhuǎn)盒,包括盒體,所述盒體內(nèi)設(shè)置有托架,所述托架開有至少一個用于放置硅片的V字型槽。
進(jìn)一步的,所述托架開有4個V字型槽,且托架的寬度小于硅片的寬度,使得托架上的硅片兩邊留有握取空間,便于硅片的取放操作。
優(yōu)選的,所述托架通過螺栓可拆卸的固定于盒體內(nèi),托架可從盒體中取出,便于清理盒體中和托架上沉淀的碎硅屑。
優(yōu)選的,所述托架表面覆蓋有一層起防滑減震作用的橡膠墊,不僅有效減小硅片取放過程中受到的沖擊力和壓力,而且能防止硅片滑動,有效減少了硅片碎裂的幾率。
優(yōu)選的,所述盒體為長方形結(jié)構(gòu),由塑料制成。
本發(fā)明的有益效果為,所述硅片清洗周轉(zhuǎn)盒便于硅片的取放操作;托架表面覆蓋的橡膠墊可有效減小硅片取放過程中受到的沖擊力和壓力,同時,其配合托架V字型槽的設(shè)計,有效防止了硅片滑動,減少了硅片碎裂幾率;且托架的寬度小于硅片的寬度,使得托架上的硅片兩邊留有握取空間,便于硅片的取放操作;此外,托架可拆卸式的設(shè)計,無需更換盒體中的水,就可以直接清理托架表面殘留的碎硅屑,減少碎硅屑對硅片邊緣的破壞,工作效率高。
圖1為本發(fā)明硅片清洗周轉(zhuǎn)盒的結(jié)構(gòu)示意圖2為本發(fā)明硅片清洗周轉(zhuǎn)盒的俯視圖中
1、盒體;2、托架;3、橡膠墊;4、螺栓;5、硅片。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖并通過具體實施方式
來進(jìn)一步說明本發(fā)明的技術(shù)方案。
請參照圖1及圖2所示,于本實施例中,一種硅片清洗周轉(zhuǎn)盒,包括盒體1,所述盒體1為長方形結(jié)構(gòu),由塑料制成,其內(nèi)可拆卸的設(shè)置有托架2,所述托架2開有4個用于放置硅片5的V字型槽,且托架2的寬度小于硅片5的寬度,其表面覆蓋有一層起防滑減震作用的橡膠墊3。
實際使用時,先將托架2通過螺栓4固定在盒體1中,然后在盒體1中注滿水。放置硅片5時可將硅片5輕輕放到托架2上V字型槽內(nèi)的橡膠墊3上,硅片5的中心線與托架2的中心線基本對齊,使硅片5兩端留有足夠的握取空間,然后將硅片5緩緩平靠在托架 2V字型槽較長的一面上。V字形槽的構(gòu)造可使硅片5聚攏并平靠在托架2 —側(cè)的橡膠墊3 上而不易滑動。托架2開有4個V字型槽,其分格的構(gòu)造使得每格所放的硅片5數(shù)量有所限制,可有效減小硅片5之間的壓力及摩擦力。取硅片5時雙手握住硅片5左右兩端輕輕上提,等硅片5完全提出水面即改為水平,防止硅片5滑落。硅片5全部取出后檢查托架2 表面覆蓋的橡膠墊3上是否有碎硅屑等異物,一般情況下可直接在水中清理,如異物較多或難以清理,可松開螺栓4,將托架2從盒體1中取出清理,如有必要可更換橡膠墊3。
使用本發(fā)明硅片清洗周轉(zhuǎn)盒可將數(shù)百片硅片5分為數(shù)量比較均勻的四份放置于托架2的V字型槽內(nèi),且托架2寬度小于硅片5寬度使兩端留有握取空間,便于硅片5的取放操作;同時托架2表面覆蓋一層防滑減震的橡膠墊3,V字形槽的設(shè)計可使硅片5聚攏而不易滑動,能有效減小操作過程中硅片5所受壓力和沖擊力,從而降低操作過程中的碎片率。使用后無需清空盒體1中所盛放的水,可直接清理托架2上殘留的碎硅屑。使用一定周期后,可將托架2取出更換損壞的橡膠墊3并清理盒體1底部殘留的碎硅屑。
以上實施例只是闡述了本發(fā)明的基本原理和特性,本發(fā)明不受上述實施例限制, 在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下,本發(fā)明還有各種變化和改變,這些變化和改變都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求
1.一種硅片清洗周轉(zhuǎn)盒,包括盒體,其特征在于所述盒體內(nèi)設(shè)置有托架,所述托架開有至少一個用于放置硅片的V字型槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗周轉(zhuǎn)盒,其特征在于所述托架開有4個V字型槽,且托架的寬度小于硅片的寬度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片清洗周轉(zhuǎn)盒,其特征在于所述托架通過螺栓可拆卸的固定于盒體內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片清洗周轉(zhuǎn)盒,其特征在于所述托架表面覆蓋有一層起防滑減震作用的橡膠墊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片清洗周轉(zhuǎn)盒,其特征在于所述盒體為長方形結(jié)構(gòu),由塑料制成。
全文摘要
本發(fā)明公開一種硅片清洗周轉(zhuǎn)盒,包括盒體,所述盒體內(nèi)設(shè)置有托架,所述托架開有至少一個用于放置硅片的V字型槽;所述硅片清洗周轉(zhuǎn)盒便于硅片的取放操作;托架表面覆蓋的橡膠墊可有效減小硅片取放過程中受到的沖擊力和壓力,同時,其配合托架V字型槽的設(shè)計,有效防止了硅片滑動,減少了硅片碎裂幾率;且托架的寬度小于硅片的寬度,使得托架上的硅片兩邊留有握取空間,便于硅片的取放操作;此外,托架可拆卸式的設(shè)計,無需更換盒體中的水,就可以直接清理托架表面殘留的碎硅屑,減少碎硅屑對硅片邊緣的破壞,工作效率高。
文檔編號B08B13/00GK102553874SQ20121004170
公開日2012年7月11日 申請日期2012年2月23日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月23日
發(fā)明者何晉康, 王欣, 王秦偉, 藺雷亭 申請人:高佳太陽能股份有限公司