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等離子體蝕刻裝置用電極上設(shè)置的氣體導(dǎo)入孔的測(cè)量方法、電極、電極的再生方法、再生電極、等離子體蝕刻裝置、氣體導(dǎo)入孔的狀態(tài)分布圖及其顯示方法與制造工藝發(fā)明人聯(lián)系方式登記

技術(shù)編號(hào):11161474

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